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晶圆盒夹持装置和晶圆盒搬运复合机器人制造方法及图纸
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文档序号:37801761
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本实用新型公开了一种晶圆盒夹持装置,包括夹具本体,夹具本体包括支撑板,支撑板上设有前端开口并用于让位晶圆盒的连接块的让位槽;让位槽的两侧和后侧分别设有导向块,导向块面向让位槽的内侧面包括位于上部的导向面和位于下部的定位面;导向块的导向面之间...
该专利属于苏州兰里智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州兰里智能科技有限公司授权不得商用。
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