测量辅助结构、晶棒检测装置和蓝宝石晶片生产系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及蓝宝石晶片的生产加工领域，公开了一种测量辅助结构、晶棒检测装置和蓝宝石晶片生产系统，该测量辅助结构包括固定支架、设置在固定支架上的晶棒装载导轨和半圆卡扣，以及半圆柱填充块，晶棒装载导轨和半圆卡扣围合形成用于装载晶棒和半圆柱填充块的填充空间，晶棒能够由半圆柱填充块支撑为与晶棒装载导轨和/或半圆卡扣抵接固定；晶棒装载导轨包括第一端和第二端，第一端用于置入/取出晶棒，第二端靠近定向测量仪测量台设置，以允许晶棒紧贴定向仪测量台进行晶向测量。本实用新型专利技术解决了由于现有的测量蓝宝石晶棒的晶向主要靠操作员用手拖着晶棒使晶棒M面紧贴定向仪测量台进行测量，导致影响晶片良品率且生产效率低的技术问题。产效率低的技术问题。产效率低的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
测量辅助结构、晶棒检测装置和蓝宝石晶片生产系统


[0001]本技术涉及蓝宝石晶片的生产加工领域，具体地涉及一种测量辅助结构、晶棒检测装置和蓝宝石晶片生产系统。

技术介绍

[0002]蓝宝石晶片的加工工艺流程包括粘棒、切片、研磨、倒角、清洗、退火、上蜡、铜抛、软抛、和检测。在对蓝宝石晶棒粘棒之前需要确定一个M面并以M面为基准测试蓝宝石晶棒上、下、左、右四个方向的晶向角度，用于计算蓝宝石晶棒水平方向和竖直方向的角度，便于后续粘棒操作。因此，晶棒的晶向对粘棒工序尤为重要，而目前测量蓝宝石晶棒的晶向主要靠操作员用手拖着晶棒使晶棒M面紧贴定向仪测量台进行测量，测量误差大、影响晶片良品率且费时费力。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了克服现有技术存在的由于现有的测量蓝宝石晶棒的晶向主要靠操作员用手拖着晶棒使晶棒M面紧贴定向仪测量台进行测量，测量误差大，导致影响晶片良品率且生产效率低的技术问题。
[0004]为了实现上述目的，本技术一方面提供一种测量辅助结构
[0005]所述测量辅助结构用于晶棒晶向测量的位置固定，该测量本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量辅助结构，其特征在于，所述测量辅助结构用于晶棒晶向测量的位置固定，该测量辅助结构包括固定支架(1)、设置在所述固定支架(1)上的晶棒装载导轨(2)和半圆卡扣(3)，以及半圆柱填充块(4)，所述晶棒装载导轨(2)和所述半圆卡扣(3)围合形成用于装载晶棒和所述半圆柱填充块(4)的填充空间(5)，所述晶棒能够由所述半圆柱填充块(4)支撑为与所述晶棒装载导轨(2)和/或所述半圆卡扣(3)抵接固定；所述晶棒装载导轨(2)包括第一端(201)和第二端(202)，所述第一端(201)用于置入/取出所述晶棒，所述第二端(202)靠近定向测量仪测量台设置，以允许所述晶棒紧贴所述定向测量仪测量台进行晶向测量。2.根据权利要求1所述的测量辅助结构，其特征在于，所述半圆柱填充块(4)包括贴合晶棒装载导轨(2)的内表面设置的弧面和贴合所述晶棒设置的平面。3.根据权利要求2所述的测量辅助结构，其特征在于，所述平面上设有用于固定所述晶棒的限位槽。4.根据权利要求1所述的测量辅助结构，其特征在于，所述测量辅助结构包括设置在所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙健，宋亚滨，翟虎，陆继波，周文辉，
申请(专利权)人：甘肃旭晶新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：