下载测量辅助结构、晶棒检测装置和蓝宝石晶片生产系统的技术资料

文档序号:37794328

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本实用新型涉及蓝宝石晶片的生产加工领域,公开了一种测量辅助结构、晶棒检测装置和蓝宝石晶片生产系统,该测量辅助结构包括固定支架、设置在固定支架上的晶棒装载导轨和半圆卡扣,以及半圆柱填充块,晶棒装载导轨和半圆卡扣围合形成用于装载晶棒和半圆柱填充...
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