一种全固态薄膜锂电池的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种全固态薄膜锂电池的制备方法，解决了现有全固态薄膜锂电池的制备工艺复杂且需要高温退火过程的技术问题。包括以下步骤：１．在基片表面沉积氮化钴薄膜；２．在氮化钴薄膜上沉积氮化的磷酸锂薄膜；３．在氮化的磷酸锂薄膜上沉积金属锂薄膜。具有结构简单，制备过程简单，比容量高，充放电循环性能良好的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属电化学
，具体涉及一种以氮化钴为正极的全固态薄膜锂 电池的制备方法。
技术介绍
随着动态随机储存器(DRAMS)、微传感器以及微电机械系统(MEMS)等微 电子器件朝微型化方向的发展，对支撑电源的体积、功率和工作电流都提出了 特殊的要求，迫切要求有体积小、重量轻、比容量高的微型致密电源与其相匹 配。以无机化合物材料作为电解质的全固态薄膜锂电池可以很好的满足这一要 求。全固态薄膜锂电池一般是由阴极薄膜、电解质薄膜和阳极薄膜三部分组成。 其中部分氮化的磷酸锂薄膜(LiP0N)由于具有较高的锂离子电导率、良好的电 化学稳定性成为当前应用最为广泛地无机锂离子导体薄膜材料。根据采用阳极 薄膜的不同，可将全固态薄膜锂电池分为三类，第一类为传统意义上的薄膜锂 电池，以金属锂薄膜作阳极；第二类为薄膜锂离子电池，以氧化物或氮化物薄 膜作阳极；第三类为薄膜"无锂"(Li-Free)电池，直接以集电极作为"阳极"， 通过首次充电在集电极上形成金属锂阳极薄膜。其中，以金属锂薄膜作阳极的 全固态薄膜锂电池以其循环性能优越受到了普遍关注。然而，当前的全固态薄 膜锂电池中的阴极薄膜材料一般采本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种全固态薄膜锂电池的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：　１］在基片（１）表面沉积氮化钴薄膜：　采用金属钴作为靶材，通过射频磁控溅射的方法沉积氮化钴薄膜，沉积时基片（１）温度小于１００℃，直至氮化钴薄膜的厚度为１００ｎｍ～２．０ μｍ；　２］在氮化钴薄膜上沉积氮化的磷酸锂薄膜：　采用磷酸锂作为靶材，通过射频磁控溅射的方法沉积氮化的磷酸锂薄膜，直至氮化的磷酸锂薄膜的厚度为１．０～２．５μｍ；　３］在氮化的磷酸锂薄膜上沉积金属锂薄膜：　采用真空热蒸发 沉积，本底压力为１×１０－４Ｐａ，基片温度为室温，蒸发速率５００～１０００ｎｍ／ｍｉｎ，直...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘文元，
申请(专利权)人：刘文元，
类型：发明
国别省市：87[中国|西安]