一种光刻胶中重氮萘醌类感光剂含量的测定方法技术

本申请涉及分析化学的技术领域，具体公开了一种光刻胶中重氮萘醌类感光剂含量的测定方法。本申请公开的测定方法，具体包括以下步骤：利用有机溶剂将待测样品和重氮萘醌类感光剂标准品进行稀释，过滤，获得待测样品溶液和标准溶液；利用高效液相色谱仪测试所述待测样品溶液和所述标准溶液，计算得到所述待测样品中重氮萘醌类感光剂的含量。本申请提供的测定方法操作简单，检测效率高，且该测定方法具有线性良好、实验重复性好、测定结果精确度较高和准确度较高的优点。和准确度较高的优点。和准确度较高的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶中重氮萘醌类感光剂含量的测定方法


[0001]本申请涉及分析化学的
，具体涉及一种光刻胶中重氮萘醌类感光剂含量的测定方法。

技术介绍

[0002]光刻胶，又称光致抗蚀剂，是一种由感光树脂、感光剂(PAC)和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。其中，含有重氮萘醌基的感光剂和碱溶性树脂的光刻胶可用作正性光致抗蚀剂。因为暴露于紫外线时，重氮萘醌基分解形成羧基，使原本不溶于碱的组合物变成碱溶性的，加快光刻胶组合物的碱溶解速率；未曝光区域重氮萘醌基会与树脂发生某种程度的结合，从而降低光刻胶组合物的碱溶速率，利用曝光区与非曝光区的溶解速率差来实现图形的转移。
[0003]在面板光刻胶中，常用的PAC为重氮萘醌基类化合物，一般由重氮萘(苯)醌磺酰氯与酚类化合物酯化反应制备，工业合成的重氮萘醌类PAC达上百种，典型的如式(III)所示：结构式中D代表重氮萘醌基(DNQ)：
[0004][0005]在面板光刻胶中，叠氮萘醌基
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2,3,4
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三羟基二苯甲酮PAC
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶中重氮萘醌类感光剂含量的测定方法，其特征在于，具体包括以下步骤：利用有机溶剂将待测样品和重氮萘醌类感光剂标准品进行稀释，过滤，获得待测样品溶液和标准溶液；利用高效液相色谱仪测试所述待测样品溶液和所述标准溶液，计算得到所述待测样品中重氮萘醌类感光剂的含量；其中，所述高效液相色谱的测试条件为：色谱柱填料为烷基键合相；柱温20
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45℃；流动相为：体积比为（46
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58）：（7
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13）：（34
‑
42）的1
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2v/v%酸水溶液
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甲醇
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四氢呋喃混合溶液；洗脱方式为等度洗脱；流速为0.5
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2mL/min；进样体积为5
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50μL。2.根据权利要求1所述光刻胶中重氮萘醌类感光剂含量的测定方法，其特征在于，所述有机溶剂选自烷类、酮类、呋喃类中的一种或多种。3.根据权利要求2所述光刻胶中重氮萘醌类感光剂含量的测定方法，其特征在于，所述有机溶剂选自三氯甲烷、N
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甲基吡咯烷酮、四氢呋喃中的一种或多种。4.根据权利要求1所述光刻胶中重氮萘醌类感光剂含量的测定方法，其特征在于，所述色谱柱填料选自C4、C8、C12、C18烷基键合相的一种；规格为：长度为10
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25cm，内径为3.2
‑
4.6mm，粒径...

【专利技术属性】
技术研发人员：李秋荣，马明强，高剑琴，胡小娜，刁良强，鲁代仁，董栋，张宁，
申请(专利权)人：上海彤程电子材料有限公司彤程新材料集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：