一种倒梯形正性光刻胶制造技术

本申请提供一种倒梯形正性光刻胶，属于光刻技术领域。倒梯形正性光刻胶按质量百分比计包括：20％～40％的线性酚醛树脂、≤5％的重氮萘醌类感光剂、≥1.5％的溶解促进剂以及50％～80％的溶剂；其中，线性酚醛树脂为聚合单体包括间甲酚、对甲酚和3,5

【技术实现步骤摘要】
一种倒梯形正性光刻胶


[0001]本申请涉及光刻
，具体而言，涉及一种倒梯形正性光刻胶。

技术介绍

[0002]剥离工艺(又称Lift Off工艺)，是指通过蒸镀法在基片上引入金属电极的工艺，其工艺流程为：首先将光刻胶涂布在基片上，经过曝光、显影后得到图形；之后将有光刻胶图形的基片进行金属的溅射蒸镀，没有光刻胶保护的部分金属可以溅射到基片上，有光刻胶的部分金属溅射到光刻胶上；溅射完成后将基片放入剥离液中进行剥离，光刻胶及其表面的金属被剥离掉，这样就在基片的设定区域中引入了金属电极。
[0003]为实现在光刻胶剥离时剥离液可以与光刻胶发生反应，并且快速将光刻胶及其上面的金属去除。剥离工艺使用的光刻胶一般都被设计成具有倒梯形形貌的光刻胶，如图1所示。
[0004]目前，剥离工艺的光刻胶是基于化学放大体系的负性光刻胶。这种光刻胶的非曝光区光刻胶未发生交联反应而被显影液溶解；而曝光区域树脂与交联剂发生交联反应形成交联网络很难被显影液溶解，留在基板上，而形成图案。但这种负性光刻胶由于形成了交联网络型的酚醛树脂，在去胶时必须要使用具有解交联能力的去胶液(如加入添加剂的NMP)在较高温度下(通常在80℃)才能够实现去胶干净。

技术实现思路

[0005]本申请的目的在于提供一种倒梯形正性光刻胶，在室温下通过丙酮、丙二醇甲醚醋酸酯等一般的有机溶剂即可有效实现去胶，使得去胶的工艺更简单、成本更低。
[0006]本申请的实施例是这样实现的：
[0007]本申请实施例提供一种倒梯形正性光刻胶，其按质量百分比计包括：20％～40％的线性酚醛树脂、≤5％的重氮萘醌类感光剂、≥1.5％的溶解促进剂以及50％～80％的溶剂；
[0008]其中，线性酚醛树脂为聚合单体包括间甲酚、对甲酚和3,5
‑
二甲酚的酚醛树脂，线性酚醛树脂的结构式如以下式I所示；
[0009][0010]在一些可能的实施方案中，其按质量百分比计包括：20％～25％的线性酚醛树脂、1％～5％的重氮萘醌类感光剂、1.5％～5％的溶解促进剂以及65％～80％的溶剂。
[0011]在一些可能的实施方案中，在倒梯形正性光刻胶中，重氮萘醌类感光剂的质量百
分比为4％～5％。
[0012]在一些可能的实施方案中，在倒梯形正性光刻胶中，溶解促进剂的质量百分比为3％～4.5％。
[0013]在一些可能的实施方案中，重氮萘醌类感光剂包括如以下式II所示的2,1,5类重氮萘醌；
[0014][0015]其中，R1为H基或者R2为H基或者
‑
CH3。
[0016]在一些可能的实施方案中，溶解促进剂包括如以下式III所示的化合物；
[0017][0018]其中，R为H基或者
‑
CH3。
[0019]在一些可能的实施方案中，溶解促进剂包括1,1,1
‑
三(4
‑
羟基苯基)乙烷和三(4
‑
羟基苯基)甲烷中的至少一种。
[0020]在一些可能的实施方案中，线性酚醛树脂中，间甲酚结构单元、对甲酚结构单元和3,5
‑
二甲酚结构单元的质量比依次为4～6:1～3:2～4。
[0021]在一些可能的实施方案中，线性酚醛树脂的重均分子量为3000～6000。
[0022]在一些可能的实施方案中，溶剂包括质量比为3.5～4.5:0.5～1.5的乳酸乙酯和
醋酸丁酯。
[0023]本申请实施例提供的倒梯形正性光刻胶，有益效果包括：
[0024]本申请提出的光刻胶，采用特定结构的线性酚醛树脂，配合特定质量比例的溶解促进剂和具有强抑制性的重氮萘醌类感光剂，能够有效地形成易于剥离的、倒梯形的正性光刻胶，光刻胶在室温下通过丙酮、丙二醇甲醚醋酸酯等一般的有机溶剂即可有效实现去胶，使得去胶的工艺更简单、成本更低。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0026]图1为倒梯形的光刻胶的形貌结构示意图，其中，A为基片，B为光刻胶，α为光刻胶的侧壁角角度；
[0027]图2为对比例3中光刻胶的形貌结构示意图，其中，A为基片，B为光刻胶。
具体实施方式
[0028]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。
[0029]需要说明的是，本申请中的“和/或”，如“特征1和/或特征2”，均是指可以单独地为“特征1”、单独地为“特征2”、“特征1”加“特征2”，该三种情况。
[0030]另外，在本申请的描述中，除非另有说明，“一种或多种”中的“多种”的含义是指两种及两种以上；“数值a～数值b”的范围包括两端值“a”和“b”，“数值a～数值b+计量单位”中的“计量单位”代表“数值a”和“数值b”二者的“计量单位”。
[0031]下面对本申请实施例的酚醛树脂及光刻胶进行具体说明。
[0032]本申请实施例提供一种倒梯形正性光刻胶，其按质量百分比计包括：20％～40％的线性酚醛树脂、≤5％的重氮萘醌类感光剂、≥1.5％的溶解促进剂以及50％～80％的溶剂；
[0033]其中，线性酚醛树脂为聚合单体包括间甲酚、对甲酚和3,5
‑
二甲酚的酚醛树脂，线性酚醛树脂的结构式如以下式I所示；
[0034][0035]本申请中，重氮萘醌类感光剂、溶解促进剂和溶剂的种类不限，可以参照本领域常
规的种类进行选择。
[0036]其中，重氮萘醌类感光剂例如包括2,1,5类重氮萘醌、2,1,4类重氮萘醌等中的至少一种。溶解促进剂例如包括多羟基烷基中的一种或多种。溶剂例如包括二醇甲醚醋酸酯、2
‑
庚酮、乳酸乙酯、醋酸丁酯等有机溶剂中的一种或多种。
[0037]在线性酚醛树脂的结构式中，n1、n2和n3均大于0，n1、n2和n3三者可以相同也可以不同。
[0038]申请人研究发现，若采用其他线性酚醛树脂代替如式I所示的线性酚醛树脂，例如n3等于0时，则难以得到倒梯形的光刻胶，光刻胶的形貌通常为两端大、两侧向内凹陷的形式，如图2所示；若重氮萘醌类感光剂的用量过大，光刻胶的形貌通常为底端大、顶端小的正梯形；若溶解促进剂的用量过小，光刻胶的形貌同样通常为底端大、顶端小的正梯形。基于上述非倒梯形的形式，光刻胶与基片的接触面积大，均不利于剥离。
[0039]本申请提出的光刻胶，采用特定结构的线性酚醛树脂，配合特定质量比例的溶解促进剂本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种倒梯形正性光刻胶，其特征在于，其按质量百分比计包括：20％～40％的线性酚醛树脂、≤5％的重氮萘醌类感光剂、≥1.5％的溶解促进剂以及50％～80％的溶剂；其中，所述线性酚醛树脂为聚合单体包括间甲酚、对甲酚和3,5
‑
二甲酚的酚醛树脂，所述线性酚醛树脂的结构式如以下式I所示；2.根据权利要求1所述的倒梯形正性光刻胶，其特征在于，其按质量百分比计包括：20％～25％的所述线性酚醛树脂、1％～5％的所述重氮萘醌类感光剂、1.5％～5％的所述溶解促进剂以及65％～80％的所述溶剂。3.根据权利要求2所述的倒梯形正性光刻胶，其特征在于，在所述倒梯形正性光刻胶中，所述重氮萘醌类感光剂的质量百分比为4％～5％。4.根据权利要求2所述的倒梯形正性光刻胶，其特征在于，在所述倒梯形正性光刻胶中，所述溶解促进剂的质量百分比为3％～4.5％。5.根据权利要求1～4中任一项所述的倒梯形正性光刻胶，其特征在于，所述重氮萘醌类感光剂包括如以下式II所示的2,1,5类重氮萘醌；其中，R1为H基或者R2为H基或...

【专利技术属性】
技术研发人员：于晓伟，刁翠梅，张咪，詹捷，李冰，陈昕，董栋，张宁，
申请(专利权)人：上海彤程电子材料有限公司彤程新材料集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：