一种气动真空阀制造技术

本发明专利技术涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种气动真空阀，包括阀体，阀体的底面向内开设有第一凹槽，所述阀体的上下端分别设有驱动机构和第一法兰接口，阀体的侧面设有开口和设于开口上的管道，所述第一凹槽靠近第一法兰接口的一端设有第一出气挡风组件，所述第一出气挡风组件上设有储能装置，所述阀体内设有支撑杆，支撑杆的一端穿过第一凹槽顶面的密封过孔结构与驱动机构连接，支撑杆的另一端与第一出气挡风组件连接，所述管道靠近开口的一端设有第二出气挡风组件。本发明专利技术能够有效避免了漏气，尤其是内漏现象的发生。尤其是内漏现象的发生。尤其是内漏现象的发生。

【技术实现步骤摘要】
一种气动真空阀


[0001]本专利技术涉及半导体制造设备
，尤其涉及一种气动真空阀。

技术介绍

[0002]在真空泵和真空腔室之间的连接管道上通常安装有真空阀，用于保障负压且自动开启或关闭，气动真空阀在半导体生产设备中普遍使用。然而，当前真空阀门普遍存在使用寿命较短，尤其是容易发生内漏问题，且由于内漏不易检测，容易导致产品质量不合格，甚至发生安全事故，给安全生产带来较大隐患。
[0003]现有技术中，申请号为201710100518.6，名称为气动真空阀的专利技术专利，其包括阀体，阀体上设有进气口与出气口，进气口与出气口连通并构成抽气通道，阀体内设有与抽气通道连通的开关通道，开关通道内设有阀芯与活塞，活塞与开关通道的壁滑动相连，阀芯插装在活塞的端部，抽气通道内与开关通道相交位置设有控制通道，阀芯上设有开关部，开关部处于抽气通道与开关通道相交位置，开关部在阀芯滑动过程中控制控制通道导通或封堵，阀芯上设有能够隔离活塞与抽气通道的隔离部。其是通过将阀芯与活塞设置为整体结构，提高了阀芯工作的稳定性和可靠性，同时将活塞与抽气通道隔离起来，提高了真空阀在恶劣条件下的适应能力。但是其并未解决容易发生内漏的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术的目的在于提出一种气动真空阀，以解决真空阀容易内漏的问题，延长使用寿命。
[0005]基于上述目的，本专利技术提供了一种气动真空阀，包括阀体，阀体的底面向内开设有第一凹槽，所述阀体的上下端分别设有驱动机构和第一法兰接口，阀体的侧面设有开口和设于开口上的管道，所述第一凹槽靠近第一法兰接口的一端设有第一出气挡风组件，所述第一出气挡风组件上设有储能装置，所述阀体内设有支撑杆，支撑杆的一端穿过第一凹槽顶面的密封过孔结构与驱动机构连接，支撑杆的另一端与第一出气挡风组件连接，所述管道靠近开口的一端设有第二出气挡风组件，所述阀体内还设有与支撑杆连接的连杆连动机构和弧形弹件，弧形弹件的两端分别与支撑杆和连杆连动机构连接，所述连杆连动机构通过与支撑杆连动以带动第一出气挡风组件及第二出气挡风组件压接密封。
[0006]所述第一出气挡风组件包括设于第一凹槽靠近第一法兰接口一端的第一出气口和压接于第一出气口上的第一挡风口，所述储能装置设于第一挡风口上；所述第二出气挡风组件包括第二出气口和压接于第二出气口靠近开口一端的第二挡风口。
[0007]所述连杆连动机构包括连接杆、第一辅助杆、固定杆、套接于固定杆上的圆环、对称设于固定杆两侧且一端与圆环连接的第二辅助杆，所述第一辅助杆与第一凹槽的侧面活动连接，所述固定杆的两端分别与第二挡风口和第一辅助杆连接，所述连接杆的两端分别与支撑杆和第一辅助杆连接，所述第二辅助杆的另一端与开口的侧面连接，所述弧形弹件的一端与支撑杆固定连接，弧形弹件的另一端与第一辅助杆远离第一凹槽侧面的一端连
接。
[0008]所述第一辅助杆包括第一辅助杆本体和对称设于第一辅助杆本体两侧面的弧形卡槽，所述固定杆包括固定杆本体和设于固定杆本体侧面的第一球体卡块，所述连接杆包括连接杆本体，连接杆本体侧面设有第二球体卡块，第一球体卡块和第二球体卡块分别与两个弧形卡槽卡接。
[0009]所述圆环包括圆环本体，圆环本体套接有滚珠套，所述滚珠套与固定杆套接。
[0010]所述支撑杆包括支撑杆本体，支撑杆本体的底端设有第二凹槽、设于第二凹槽内的第一弹簧和与第二凹槽套接的套接杆，所述第一弹簧的两端分别与第二凹槽的底面和套接杆的顶面固定连接，所述套接杆与储能装置连接。优选的，所述套接杆为圆柱体杆。
[0011]所述储能装置包括储能本体、设于储能本体顶面的第三凹槽、设于第三凹槽内的弧形弹片、设于弧形弹片两端的活塞块和对称设于第三凹槽两侧面内的固定座，所述固定座设有第四凹槽和设于第四凹槽内的第二弹簧，所述第二弹簧的两端分别与第四凹槽底面和活塞块连接，所述套接杆的底端设有压块，所述压块的底面设有半球形凸起，半球形凸起与弧形弹片压接。
[0012]所述密封过孔结构包括设于第一凹槽顶面用于穿过支撑杆的通孔和设于通孔内的第一密封圈。
[0013]所述第一挡风口为圆柱形挡风口，所述第一出气口包括第一圆环出气口本体和设于第一圆环出气口本体顶面且横截面为半圆形的第一圆形凹槽，所述第一圆形凹槽内设有第二密封圈，所述第二密封圈与第一挡风口压接。
[0014]所述第二挡风口为圆柱形挡风口，所述第二出气口包括第二圆环出气口本体和设于第二圆环出气口本体顶面且横截面为半圆形的第二圆形凹槽，所述第二圆形凹槽内设有第三密封圈，所述第三密封圈与第二挡风口压接。
[0015]所述驱动机构为气缸。
[0016]所述管道远离开口的一端安装有第二法兰接口。
[0017]优选的，所述阀体为圆柱体阀体，所述第一凹槽为第一圆柱体凹槽，所述第二凹槽为第二圆柱体凹槽，所述开口为圆形开口，所述管道为圆柱体管道，所述第一出气口和第二出气口均为圆柱形出气口，所述第一挡风口和第二挡风口均为圆柱形挡风口，所述通孔为圆柱体通孔，所述支撑杆为圆柱体支撑杆，所述连接杆为圆柱体连接杆，所述固定杆为圆柱体固定杆，所述第一辅助杆为长方体辅助杆，所述第二辅助杆为圆柱体辅助杆。
[0018]本专利技术的有益效果：
[0019]1、本专利技术通过圆柱体支撑杆带动连接杆并推动长方体辅助杆，通过其连动传动，圆柱体支撑杆本体压缩第一弹簧存储弹性势能的同时，继续推动储能装置运动，进而使第一圆柱形挡风口与第一圆环出气口提高接触度。
[0020]2、圆柱体支撑杆带动圆柱体连接杆并推动长方体辅助杆，并促使弧形弹件弹性变形，该形变在垂直方向上继续抑制第一弹簧回弹，促使第二密封圈与第一圆柱形挡风口压接实现紧密密封。在水平方向上，该形变抑制了圆柱体固定杆反作用于长方体辅助杆，从而使第三密封圈与第二圆柱形挡风口保持压接，实现密封，当第一弹簧有回弹趋势时，弧形弹件便具备了形变趋势，抑制第一弹簧回弹，而弧形弹件垂直方向的作用力又抑制了第一弹簧回弹。
[0021]3、由于第一弹簧弹性势能和弧形弹件弹性变形两者能量同时存在，相互作用，保障了第二密封圈与第一圆柱形挡风口、第三密封圈与第二圆柱形挡风口两者的充分压接密封，从而有效避免了漏气，尤其是内漏现象的发生。反之，当需要抽真空时，气缸回程，同时由于弹性势能的存在，使第二密封圈与第一圆柱形挡风口、第三密封圈与第二圆柱形挡风口迅速解除密封。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本专利技术的结构示意图；
[0024]图2为本专利技术储能装置的结构示意图；
[0025]图3为本专利技术第二圆环出气口的结构示意图；
[0026]图4为本专利技术第一圆环出气口的结构示意图；
[0027]图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气动真空阀，包括阀体(1)，阀体(1)的底面向内开设有第一凹槽(2)，其特征在于，所述阀体(1)的上下端分别设有驱动机构和第一法兰接口(12)，阀体(1)的侧面设有开口(8)和设于开口(8)上的管道(9)，所述第一凹槽(2)靠近第一法兰接口(12)的一端设有第一出气挡风组件，所述第一出气挡风组件上设有储能装置(17)，所述阀体(1)内设有支撑杆(6)，支撑杆(6)的一端穿过第一凹槽(2)顶面的密封过孔结构与驱动机构连接，支撑杆(6)的另一端与第一出气挡风组件连接，所述管道(9)靠近开口(8)的一端设有第二出气挡风组件，所述阀体(1)内还设有与支撑杆(6)连接的连杆连动机构和弧形弹件(18)，弧形弹件(18)的两端分别与支撑杆(6)和连杆连动机构连接，所述连杆连动机构通过与支撑杆(6)连动以带动第一出气挡风组件及第二出气挡风组件压接密封。2.根据权利要求1所述气动真空阀，其特征在于，所述第一出气挡风组件包括设于第一凹槽(2)靠近第一法兰接口(12)一端的第一出气口(20)和压接于第一出气口(20)上的第一挡风口(19)，所述储能装置(17)设于第一挡风口(19)上；所述第二出气挡风组件包括第二出气口(11)和压接于第二出气口(11)靠近开口(8)一端的第二挡风口(13)。3.根据权利要求2所述气动真空阀，其特征在于，所述连杆连动机构包括连接杆(7)、第一辅助杆(21)、固定杆(16)、套接于固定杆(16)上的圆环(15)、对称设于固定杆(16)两侧且一端与圆环(15)连接的第二辅助杆(14)，所述第一辅助杆(21)与第一凹槽(2)的侧面活动连接，所述固定杆(16)的两端分别与第二挡风口(13)和第一辅助杆(21)连接，所述连接杆(7)的两端分别与支撑杆(6)和第一辅助杆(21)连接，所述第二辅助杆(14)的另一端与开口(8)的侧面连接，所述弧形弹件(18)的一端与支撑杆(6)固定连接，弧形弹件(18)的另一端与第一辅助杆(21)远离第一凹槽(2)侧面的一端连接。4.根据权利要求3所述气动真空阀，其特征在于，所述第一辅助杆(21)包括第一辅助杆本体(211)和对称设于第一辅助杆本体(211)两侧面的弧形卡槽(212)，所述固定杆(16)包括固定杆本体(161)和设于固定杆(161)本体侧面的第一球体卡块(162)，所述连接杆(7)包括连接杆本体(71)，连接杆本体(71)侧面设有第二球体卡...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐会杰，孙晓东，顾勇，叶首宝，许浩宾，闫学军，程飞，尤扬，
申请(专利权)人：宣城开盛半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：