温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种气动真空阀，包括阀体，阀体的底面向内开设有第一凹槽，所述阀体的上下端分别设有驱动机构和第一法兰接口，阀体的侧面设有开口和设于开口上的管道，所述第一凹槽靠近第一法兰接口的一端设有第一出气挡风组件，...
该专利属于宣城开盛半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宣城开盛半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。