本实用新型涉及真空阀技术领域，具体涉及一种气动真空阀，包括阀体，其内部设有贯通两端的第一凹槽，阀体的侧壁上设有开口，开口的内部装设有控制阀，控制阀的内部设有第二凹槽，控制阀的一端架设有气缸，第二凹槽的内部设有支撑杆，支撑杆的一端设有弹性...

本实用新型公开了一种RF连接器，包括公头和母头、以及设置在公头和母头上的线缆，还包括至少一个定位柱，所述定位柱固定连接在母头上，所述公头上开设有用于对定位柱进行限位固定的锁槽，所述公头的内部设置有弹性部，所述弹性部有推动母头移动的趋势，...

本实用新型涉及半导体制备设备技术领域，具体涉及一种半导体真空设备的腔室结构，包括真空腔室、升降杆、与真空腔室连接的抽真空管道，所述真空腔室的底部设有真空密封机构，所述真空密封机构通过真空连接管与抽真空管道连接，所述真空密封机构包括真空密...

本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种晶圆机械手，包括控制模组、机械手臂组件和手叉组件，所述晶圆机械手还包括伸缩杆组，所述手叉组件包括手叉本体、弧形弹件和弹性杆，所述手叉本体的顶面设有第一凹槽，第一凹槽的两侧面对称设有第二凹...

本发明涉及晶圆储存技术领域，具体涉及一种具有自除湿功能的晶圆盒存储装置，包括有底座，所述底座外周套接有外壳，所述外壳内周开设有固定槽，所述底座上部开设有弧形凹槽，外壳内周设置有密封块且密封块与弧形凹槽搭接。本发明通过将固定杆插入外壳内周...

本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种气动真空阀，包括阀体，阀体的底面向内开设有第一凹槽，所述阀体的上下端分别设有驱动机构和第一法兰接口，阀体的侧面设有开口和设于开口上的管道，所述第一凹槽靠近第一法兰接口的一端设有第一出气挡风组...