机械手臂临时夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种机械手臂临时夹持装置，用于固定一反应腔内的机械手臂，所述机械手臂具有至少一个待夹持部，包括：支撑架，所述待夹持部位于所述支撑架上；两个水平夹紧机构，分别设置在所述支撑架的两端，两个所述水平夹紧机构能够相背运动以抵接所述反应腔的内壁；至少一个竖向夹紧机构，设置在所述支撑架上，所述竖向夹紧机构能够沿竖向移动以将所述待夹持部压紧在所述支撑架上。通过驱使两个水平夹紧机构相背运动能够保证整个机械手臂临时夹持装置的稳固性，通过驱使竖向夹紧机构沿竖向移动能够实现对机械手臂的临时固定，进而能够方便快捷的拆除所述机械手臂上的密封圈，且不会破坏所述机械手臂的基准位置，更不会损坏所述机械手臂。会损坏所述机械手臂。会损坏所述机械手臂。

【技术实现步骤摘要】
机械手臂临时夹持装置


[0001]本技术涉及半导体制备
，尤其涉及一种机械手臂临时夹持装置。

技术介绍

[0002]目前，在集成电路制造
中，需要使用大量的反应腔进行各种工艺制程。在对某些特定反应腔的保养过程中，需要对机反应腔内的机械手臂上的密封圈进行定时更换保养。目前在拆除机械手臂上的密封圈时，机械手臂容易发生晃动，并破坏机械手臂的基准位置，严重的话甚至会损坏机械手臂。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种机械手臂临时夹持装置，至少解决了现有的铂电阻测温探头安装方式存在的技术问题之一。
[0004]为达到上述目的，本技术提供一种机械手臂临时夹持装置，用于固定一反应腔内的机械手臂，所述机械手臂具有至少一个待夹持部，包括：
[0005]支撑架，所述待夹持部位于所述支撑架上；
[0006]两个水平夹紧机构，分别设置在所述支撑架的两端，两个所述水平夹紧机构能够相背运动以抵接所述反应腔的内壁；
[0007]至少一个竖向夹紧机构，设置在所述支撑架上，所述竖向夹紧机构能够沿竖向移动以将所述待夹持部压紧在所述支撑架上。
[0008]可选的，所述水平夹紧机构包括第一安装座和水平旋钮，所述第一安装座开设有一沿水平方向延伸的水平通孔，所述水平旋钮与所述水平通孔螺纹连接并贯穿所述水平通孔，通过旋转所述水平旋钮能够使所述水平旋钮相对所述第一安装座移动以抵接所述反应腔的内壁。
[0009]可选的，所述水平旋钮靠近所述反应腔的一端设置有第一垫片。
[0010]可选的，所述第一垫片呈圆形。
[0011]可选的，所述第一垫片的材质为橡胶。
[0012]可选的，所述竖向夹紧机构包括第二安装座及竖向旋钮，所述第二安装座与所述支撑架之间具有间距并形成一用于容纳所述待夹持部的夹持槽，所述第二安装座上设置有一沿竖向延伸的竖向通孔，所述竖向旋钮与所述竖向通孔螺纹连接并贯穿所述竖向通孔旋合至所述夹持槽内，通过旋转所述竖向旋钮以使所述竖向旋钮相对所述第二安装座移动以将所述待夹持部压紧在所述支撑架上。
[0013]可选的，所述竖向旋钮靠近所述待夹持部的一端设置有第二垫片。
[0014]可选的，所述第二垫片呈圆形。
[0015]可选的，所述第二垫片的材质为橡胶。
[0016]可选的，所述支撑架为桥架结构，且所述支撑架的材质为不锈钢。
[0017]在本技术提供的机械手臂临时夹持装置中，当需要拆卸所述机械手臂上的密
封圈时，可将所述机械手臂临时夹持装置放置在所述反应腔内，并使所述待夹持部位于所述竖向夹紧机构与所述支撑架之间，然后通过驱使所述两个所述水平夹紧机构相背运动以抵接所述反应腔的内壁，能够保证整个机械手臂临时夹持装置的稳固性，然后再通过驱使所述竖向夹紧机构沿竖向移动以将所述待夹持部压紧在所述支撑架上，实现对所述机械手臂的临时固定。如此配置，能够方便快捷的拆除所述机械手臂的密封圈，且不会破坏所述机械手臂的基准位置，更不会损坏所述机械手臂。
附图说明
[0018]本领域的普通技术人员将会理解，提供的附图用于更好地理解本技术，而不对本技术的范围构成任何限定。其中：
[0019]图1为本技术一实施例提供的机械手臂临时夹持装置的结构示意图。
[0020]附图中：
[0021]1‑
支撑架；2
‑
水平夹紧机构；3
‑
竖向夹紧机构；
[0022]21
‑
第一安装座；22
‑
水平旋钮；31
‑
第二安装座；32
‑
竖向旋钮；33
‑
夹持槽；
[0023]221
‑
第一垫片；321
‑
第一垫片。
具体实施方式
[0024]为使本技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。需要说明的是，附图采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施方式的目的。为了使本技术的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术实施的限定条件，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在与本技术所能产生的功效及所能达成的目的相同或近似的情况下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
能涵盖的范围内。
[0025]如在本技术中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，除非内容另外明确指出外。如在本技术中所使用的，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本技术中所使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本技术中所使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征。
[0026]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是通信连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]请参照图1，图1为本技术一实施例提供的机械手臂临时夹持装置的结构示意
图。本实施例提供了一种机械手臂临时夹持装置，用于固定一反应腔内的机械手臂，所述机械手臂具有至少一个待夹持部，包括：
[0028]支撑架1，所述待夹持部位于所述支撑架1上；
[0029]两个水平夹紧机构2，分别设置在所述支撑架1的两端，两个所述水平夹紧机构2能够相背运动以抵接所述反应腔的内壁；
[0030]至少一个竖向夹紧机构3，设置在所述支撑架1上，所述竖向夹紧机构3能够沿竖向移动以将所述待夹持部压紧在所述支撑架1上。
[0031]当需要拆卸所述机械手臂上的密封圈时，可将所述机械手臂临时夹持装置放置在所述反应腔内，并使所述待夹持部位于所述竖向夹紧机构3与所述支撑架1之间，然后通过驱使所述两个所述水平夹紧机构2相背运动以抵接所述反应腔的内壁，以保证整个机械手臂临时夹持装置的稳固性，然后再通过驱使所述竖向夹紧机构3沿竖向移动以将所述待夹持部压紧在所述支撑架1上，实现对所述机械手臂的临时固定。如此配置，能够方便快捷的拆除所述机械手臂的密封圈，且不会破本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手臂临时夹持装置，用于固定一反应腔内的机械手臂，所述机械手臂具有至少一个待夹持部，其特征在于，包括：支撑架，所述待夹持部位于所述支撑架上；两个水平夹紧机构，分别设置在所述支撑架的两端，两个所述水平夹紧机构能够相背运动以抵接所述反应腔的内壁；至少一个竖向夹紧机构，设置在所述支撑架上，所述竖向夹紧机构能够沿竖向移动以将所述待夹持部压紧在所述支撑架上。2.根据权利要求1所述的机械手臂临时夹持装置，其特征在于，所述水平夹紧机构包括第一安装座和水平旋钮，所述第一安装座开设有一沿水平方向延伸的水平通孔，所述水平旋钮与所述水平通孔螺纹连接并贯穿所述水平通孔，通过旋转所述水平旋钮能够使所述水平旋钮相对所述第一安装座移动以抵接所述反应腔的内壁。3.根据权利要求2所述的机械手臂临时夹持装置，其特征在于，所述水平旋钮靠近所述反应腔的一端设置有第一垫片。4.根据权利要求3所述的机械手臂临时夹持装置，其特征在于，所述第一垫片呈圆形。5.根据权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建龙，李建冲，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：