机械手臂临时夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种机械手臂临时夹持装置，用于固定一反应腔内的机械手臂，所述机械手臂具有至少一个待夹持部，包括：支撑架，所述待夹持部位于所述支撑架上；两个水平夹紧机构，分别设置在所述支撑架的两端，两个所述水平夹紧机构能够相背运动以抵接所述反应腔的内壁；至少一个竖向夹紧机构，设置在所述支撑架上，所述竖向夹紧机构能够沿竖向移动以将所述待夹持部压紧在所述支撑架上。通过驱使两个水平夹紧机构相背运动能够保证整个机械手臂临时夹持装置的稳固性，通过驱使竖向夹紧机构沿竖向移动能够实现对机械手臂的临时固定，进而能够方便快捷的拆除所述机械手臂上的密封圈，且不会破坏所述机械手臂的基准位置，更不会损坏所述机械手臂。会损坏所述机械手臂。会损坏所述机械手臂。

【技术实现步骤摘要】
机械手臂临时夹持装置


[0001]本技术涉及半导体制备
，尤其涉及一种机械手臂临时夹持装置。

技术介绍

[0002]目前，在集成电路制造
中，需要使用大量的反应腔进行各种工艺制程。在对某些特定反应腔的保养过程中，需要对机反应腔内的机械手臂上的密封圈进行定时更换保养。目前在拆除机械手臂上的密封圈时，机械手臂容易发生晃动，并破坏机械手臂的基准位置，严重的话甚至会损坏机械手臂。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种机械手臂临时夹持装置，至少解决了现有的铂电阻测温探头安装方式存在的技术问题之一。
[0004]为达到上述目的，本技术提供一种机械手臂临时夹持装置，用于固定一反应腔内的机械手臂，所述机械手臂具有至少一个待夹持部，包括：
[0005]支撑架，所述待夹持部位于所述支撑架上；
[0006]两个水平夹紧机构，分别设置在所述支撑架的两端，两个所述水平夹紧机构能够相背运动以抵接所述反应腔的内壁；
[0007]至少一个竖向夹紧机构，设置在所述支撑架上，所述竖向夹紧机构能够沿竖向移动以将所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手臂临时夹持装置，用于固定一反应腔内的机械手臂，所述机械手臂具有至少一个待夹持部，其特征在于，包括：支撑架，所述待夹持部位于所述支撑架上；两个水平夹紧机构，分别设置在所述支撑架的两端，两个所述水平夹紧机构能够相背运动以抵接所述反应腔的内壁；至少一个竖向夹紧机构，设置在所述支撑架上，所述竖向夹紧机构能够沿竖向移动以将所述待夹持部压紧在所述支撑架上。2.根据权利要求1所述的机械手臂临时夹持装置，其特征在于，所述水平夹紧机构包括第一安装座和水平旋钮，所述第一安装座开设有一沿水平方向延伸的水平通孔，所述水平旋钮与所述水平通孔螺纹连接并贯穿所述水平通孔，通过旋转所述水平旋钮能够使所述水平旋钮相对所述第一安装座移动以抵接所述反应腔的内壁。3.根据权利要求2所述的机械手臂临时夹持装置，其特征在于，所述水平旋钮靠近所述反应腔的一端设置有第一垫片。4.根据权利要求3所述的机械手臂临时夹持装置，其特征在于，所述第一垫片呈圆形。5.根据权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建龙，李建冲，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：