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本实用新型提供了一种机械手臂临时夹持装置，用于固定一反应腔内的机械手臂，所述机械手臂具有至少一个待夹持部，包括：支撑架，所述待夹持部位于所述支撑架上；两个水平夹紧机构，分别设置在所述支撑架的两端，两个所述水平夹紧机构能够相背运动以抵接所述反...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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