一种离子注入机离子源室有毒物质隔离防护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种离子注入机离子源室有毒物质隔离防护装置，包括弯头连接件、离子源室面罩、面罩连接头、收纳管以及分别套设在收纳管两端的上部连接头和下部连接头，收纳管内设置有波纹伸缩软管，下部连接头上套设有伸缩管连接头，波纹伸缩软管的两端分别连接在上部连接头和伸缩管连接头上，离子源室面罩安装在伸缩管连接头上，弯头连接件可安装在伸缩管连接头上，面罩连接头的一端用于连接弯头连接件，面罩连接头的另一端用于安装离子源室面罩，伸缩管连接头上还设置有通气阀门，本新型能够在对离子注入机的离子源进行维护时，有效防止离子源室内部有毒气体的外泄，保护操作人员的安全，避免环境受到污染。避免环境受到污染。避免环境受到污染。

【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机离子源室有毒物质隔离防护装置


[0001]本技术涉及离子注入机离子源拆装维护领域，特别是一种离子注入机离子源室有毒物质隔离防护装置。

技术介绍

[0002]离子注入机利用特定元素和特定能量的离子束，对硅晶片进行扫描，完成芯片制造过程中的掺杂工序。目前已广泛用于各类芯片的制造。离子源是产生特定元素离子的核心装置，安装在离子源室内。离子源的各种组件在使用过程中容易受到沾污，其中的灯丝及各种石墨件属于易耗品，有使用寿命限制。这些因素会导致系统性能衰退，需要通过预防性维护定期进行清理或更换。此时需要拆下离子源进行相关处理操作。拆下离子源后，附着在离子源室内的掺杂剂残留会与空气发生反应，释放出类似砷化氢、磷化氢这样的毒性极强的气体，有可能造成人身伤害和环境污染。为了避免这种情况的发生，除了要求操作人员遵循严格的防护措施外，需要一种易于配置的有毒物质隔离防护装置，以确保维护操作过程中的人员和环境安全，同时对设备的常规运行不造成任何影响。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种离子注入机离子源室有毒物质隔离防护装置，以解决上述
技术介绍
中所提出的技术问题。
[0004]本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0005]一种离子注入机离子源室有毒物质隔离防护装置，包括弯头连接件、离子源室面罩、面罩连接头、收纳管以及分别套设在所述收纳管两端的上部连接头和下部连接头，收纳管内设置有波纹伸缩软管，所述下部连接头上套设有伸缩管连接头，所述波纹伸缩软管的两端分别连接在上部连接头和伸缩管连接头上，所述离子源室面罩安装在伸缩管连接头上，所述弯头连接件可安装在伸缩管连接头上，所述面罩连接头的一端用于连接弯头连接件，面罩连接头的另一端用于安装离子源室面罩，伸缩管连接头上还设置有通气阀门。
[0006]上述
技术实现思路
中，进一步的，所述上部连接头上设置有法兰件，上部连接头可通过所述法兰件与废气集中排放共用管路固定连接。
[0007]上述
技术实现思路
中，进一步的，所述伸缩管连接头包括互相连通的套装部、启闭部以及连接部，伸缩管连接头通过所述套装部套设在下部连接头上，通气阀门设置在所述启闭部上，所述连接部用于连接离子源室面罩或弯头连接件。
[0008]上述
技术实现思路
中，进一步的，所述下部连接头包括上套环部和下套环部，下部连接头通过所述上套环部套设在收纳管上，伸缩管连接头的套装部套设在所述下套环部上，波纹伸缩软管依次穿过上套环部和下套环部与伸缩管连接头连接。
[0009]上述
技术实现思路
中，进一步的，所述防护装置整体采用PVC材料制成。
[0010]本技术的有益效果是：
[0011]本技术能够在对离子注入机的离子源进行维护时，有效防止离子源室内部有
毒气体的外泄，保护操作人员的安全，避免环境受到污染。
附图说明
[0012]图1为本技术的结构示意图；
[0013]图2为本技术的另一结构示意图。
[0014]图中，1
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弯头连接件，2
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离子源室面罩，3
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面罩连接头，4
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收纳管，5
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上部连接头，6
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下部连接头，7
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波纹伸缩软管，8
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伸缩管连接头，9
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通气阀门，6.1
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上套环部，6.2
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下套环部，8.1
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套装部，8.2
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启闭部，8.3
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连接部。
具体实施方式
[0015]以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0016]需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，遂图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0017]实施例：
[0018]一种离子注入机离子源室有毒物质隔离防护装置，请参阅附图1和附图2所示，包括弯头连接件1、离子源室面罩2、面罩连接头3、收纳管4以及分别套设在所述收纳管4两端的上部连接头5和下部连接头6，收纳管4内设置有波纹伸缩软管7，所述下部连接头6上套设有伸缩管连接头8，所述波纹伸缩软管7的两端分别连接在上部连接头5和伸缩管连接头8上，所述离子源室面罩2安装在伸缩管连接头8上，所述弯头连接件1可安装在伸缩管连接头8上，所述面罩连接头3的一端用于连接弯头连接件1，面罩连接头3的另一端用于安装离子源室面罩2，伸缩管连接头8上还设置有通气阀门9。
[0019]具体的，伸缩管连接头8包括互相连通的套装部8.1、启闭部8.2以及连接部8.3，伸缩管连接头8通过所述套装部8.1套设在下部连接头6上，通气阀门9设置在所述启闭部8.2上，所述连接部8.3用于连接离子源室面罩2或弯头连接件1，下部连接头6包括上套环部6.1和下套环部6.2，下部连接头6通过所述上套环部6.1套设在收纳管4上，伸缩管连接头8的套装部8.1套设在所述下套环部6.2上，波纹伸缩软管7依次穿过上套环部6.1和下套环部6.2与伸缩管连接头8连接。
[0020]本技术具体在使用过程中，通过上部连接头5将本隔离防护装置与废气集中排放共用管路固定连接，在安装过程中，可以在上部连接头5上设置有法兰件，通过法兰件与废气集中排放共用管路固定连接，波纹伸缩软管7收缩收纳置于收纳管4中，离子源室面罩2与伸缩管连接头8连接，通过通气阀门9关闭伸缩管连接头8，避免增加废气集中排放共用管路的负压排风负荷，在进行离子源维护的拆卸和安装过程中需要排出有毒气体时，打开通气阀门9，利用废气集中排放共用管路的负压将离子源室内的有毒气体排出，离子源维
护完成后，将伸缩管连接头8从下部连接头6取下，并将波纹伸缩软管7从收纳管4中拉出，弯头连接件1安装在伸缩管连接头8上，再将面罩连接头3安装在弯头连接件1上，最后将离子源室面罩2安装在面罩连接头3上，通过面罩连接头3改变离子源室面罩2的开口朝向，将离子源室面罩2对准离子源室固定法兰，利用法兰上原有的固定卡具卡紧离子源室面罩，使离子源室处于密封负压排气状态。通过上述操作，能够在对离子注入机的离子源进行维护时，有效防止离子源室内部有毒气体的外泄，保护操作人员的安全，避免环境受到污染。
[0021]上述实施例中，最为优选，所述防护装置整体采用PVC材料制成，使得整个装置更为轻便，方便操作。
[002本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子注入机离子源室有毒物质隔离防护装置，其特征在于，包括弯头连接件、离子源室面罩、面罩连接头、收纳管以及分别套设在所述收纳管两端的上部连接头和下部连接头，收纳管内设置有波纹伸缩软管，所述下部连接头上套设有伸缩管连接头，所述波纹伸缩软管的两端分别连接在上部连接头和伸缩管连接头上，所述离子源室面罩安装在伸缩管连接头上，所述弯头连接件可安装在伸缩管连接头上，所述面罩连接头的一端用于连接弯头连接件，面罩连接头的另一端用于安装离子源室面罩，伸缩管连接头上还设置有通气阀门。2.根据权利要求1所述的一种离子注入机离子源室有毒物质隔离防护装置，其特征在于，所述上部连接头上设置有法兰件，上部连接头可通过所述法兰件与废气集中排放共用管路固定连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫占忠，张晓宁，王岩，王志军，
申请(专利权)人：北京芯源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：