【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机辅助工具进行离子源阴极安装校准装置
[0001]本技术涉及定位装配
，具体为一种离子注入机辅助工具进行离子源阴极安装校准装置。
技术介绍
[0002]离子注入是用于将更改电导率的杂质引入或掺杂于半导体硅晶片中的标准IC芯片制造技术。典型的离子注入制程使用高能离子束，将杂质引入半导体硅晶片。
[0003]在离子注入机的现有设备中，通过定期的预维护，拆卸离子源组件，更换耗损的部件，清洁其它部件。在重新安装过程中所述离子源阴极与灯丝固定夹具之间要保持一个恰当的间隙。常规操作是，在安装离子源阴极之前，用欧姆表测量阴极安装板和灯丝固定夹具之间的电阻，显示为开路，把离子源阴极旋入阴极安装板，直到欧姆表测量的阴极安装板和灯丝固定夹具之间显示为短路。随后反向旋转一个固定的角度，同时确保欧姆表测量的阴极安装板和灯丝固定夹具之间显示为开路。在没有辅助工具的情况下，所述旋转的固定角度无法精确实现。在此情况下，可能缩短所述离子源组件的使用寿命。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种离子注入机辅助...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种离子注入机辅助工具进行离子源阴极安装校准装置，其特征在于：包括旋转盘(4)、刻度盘(1)、转动轴(6)和轴套(10)，所述轴套(10)顶部设置有底盘(7)，所述底盘(7)顶部中间的位置设置有刻度盘(1)，所述轴套(10)穿过底盘(7)并固定连接有刻度盘(1)，所述刻度盘(1)采用三百六十度刻度，所述刻度盘(1)上方设置有旋转盘(4)，所述旋转盘(4)一侧设置有指针(5)，所述旋转盘(4)顶部连接有转动柱(2)，所述转动柱(2)两侧靠近顶部的位置对称固定连接有把手(3)，所述轴套(10)内部套设有转动轴(6)，所述转动轴(6)一端穿过刻度盘(1)并连接有旋转盘(4)，所述转动轴(6)与轴套(10)之间采用转动连接，所述刻度盘(1)顶部于转动轴(6)外侧固定连接有齿盘(14)。2.根据权利要求1所述的一种离子注入机辅助工具进行离子源阴极安装校准装置，其特征在于：所述旋转盘(4)底部靠近一侧的位置固定连接有活动槽(9)，所述活动槽(9)一侧设置有插杆(16)，所述插杆(16)穿过活动槽(9)并连接有连接块(19)，所述活动槽(9)内套设有第一弹簧(13)，所述第一弹...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫占忠，王岩，王瑞东，
申请(专利权)人：北京芯源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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