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本实用新型属于装配定位技术领域，具体公开了一种离子注入机辅助工具进行离子源阴极安装校准装置，包括旋转盘、刻度盘、转动轴和轴套，所述轴套顶部设置有底盘，所述底盘顶部中间的位置设置有刻度盘，所述轴套穿过底盘并固定连接有刻度盘，所述刻度盘采用三百...
该专利属于北京芯源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京芯源科技有限公司授权不得商用。

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