本实用新型专利技术涉及一种用于离子注入机的检验校对装置，包括：壳体，壳体内设有安装腔，壳体上设有与安装腔联通的开口；夹持机构，夹持机构包括：夹持块，夹持块对称设置，夹持块底部设有驱动齿条，夹持块通过开口延时至安装腔外；驱动齿轮，驱动齿轮对称设置，驱动齿轮转动连接于壳体内壁上，驱动齿轮与驱动齿条相啮合，驱动齿轮的端面设有向外周延伸的连接部；推动机构，推动机构与连接部转动连接，推动机构通过推动以带动驱动齿轮转动。本实用新型专利技术具有以下优点和效果：能够快速的对待注入件进行夹持或释放，且操作较为方便。且操作较为方便。且操作较为方便。
【技术实现步骤摘要】
用于离子注入机的检验校对装置
[0001]本技术涉及离子注入机
，具体涉及一种用于离子注入机的检验校对装置。
技术介绍
[0002]离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制，克服了常规工艺的限制，提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗。离子注入机广泛用于掺杂工艺，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。
[0003]离子注入机在使用的过程中一般需要对待注入件进行定位校正，现有的离子注入机在对待注入件进行定位校正时，一般通过转动螺栓进行，导致在对待注入件进行夹持或释放时所需时间较长，且操作较为不便。
技术实现思路
[0004]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种用于离子注入机的检验校对装置，能够快速的对待注入件进行夹持或释放，且操作较为方便。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种用于离子注入机的检验校对装置，其特征在于，包括：
[0006]壳体，所述壳体内设有安装腔，所述壳体上设有与安装腔联通的开口；
[0007]夹持机构，所述夹持机构包括：
[0008]夹持块，所述夹持块对称设置，所述夹持块底部设有驱动齿条，所述夹持块通过开口延时至安装腔外；
[0009]驱动齿轮，所述驱动齿轮对称设置，所述驱动齿轮转动连接于壳体内壁上，所述驱动齿轮与驱动齿条相啮合，所述驱动齿轮的端面设有向外周延伸的连接部；
[0010]推动机构，所述推动机构与连接部转动连接，所述推动机构通过推动以带动驱动齿轮转动。
[0011]本技术进一步设置为：所述推动机构包括：
[0012]推杆，所述推杆一端作为连接端，另一端延伸至安装腔外作为延伸端；
[0013]连接块，所述连接块对称设置在推杆两侧，所述连接块一端与连接端转动连接，另一端与连接部转动连接；
[0014]把手，所述把手对称设置在推杆两侧，所述把手固定连接在延伸端上。
[0015]本技术进一步设置为：所述驱动齿轮为全齿结构。
[0016]本技术进一步设置为：所述安装腔内设有导向段，所述导向段的宽度与推杆的宽度相适配。
[0017]本技术进一步设置为：还包括锁紧件，所述推杆上设有贯穿的螺纹孔，所述锁紧件与螺纹孔构成螺纹配合。
[0018]本技术进一步设置为：所述壳体两侧内壁分别设有对称的限位凸起，所述夹持块两侧分别设有凹陷形成的限位凹槽，所述限位凹槽与限位凸起相适配。
[0019]本技术进一步设置为：所述把手上套装有橡胶套。
[0020]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0021]由于设置了夹持机构和推动机构，当需要对待注入的工件进行夹持或释放时，通过朝不同方向推动推动机构，使得驱动齿轮随着推动机构不同方向的推动能够以不同的方向进行转动，从而带动通过驱动齿条与驱动齿轮啮合的夹持块相向移动或相背移动，以实现对待注入件的夹持或释放，所以，有效解决了现有的离子注入机在对待注入件进行定位校正时，对待注入件进行夹持或释放时所需时间较长，且操作较为不便的技术问题，进而仅需通过以不同的方向推动推动机构便能快速的对待注入件进行夹持或释放，使得操作更加方便。
附图说明
[0022]图1为本技术对待注入工件释放时的内部结构示意图；
[0023]图2为本技术对待注入工件夹持时的内部结构示意图。
具体实施方式
[0024]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0025]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0026]如图1至图2所示，本技术公开了一种用于离子注入机的检验校对装置，包括：
[0027]壳体1，壳体1内设有安装腔2，壳体1上设有与安装腔2联通的开口3；
[0028]夹持机构4，夹持机构4包括：
[0029]夹持块41，夹持块41对称设置，夹持块41底部设有驱动齿条411，夹持块41通过开口3延时至安装腔2外；
[0030]驱动齿轮42，驱动齿轮42对称设置，驱动齿轮42转动连接于壳体1内壁上，驱动齿轮42与驱动齿条411相啮合，驱动齿轮42的端面设有向外周延伸的连接部421；
[0031]推动机构5，推动机构5与连接部421转动连接，推动机构5通过推动以带动驱动齿轮42转动。
[0032]当需要对待注入的工件进行夹持或释放时，通过朝不同方向推动推动机构5，使得驱动齿轮42随着推动机构5不同方向的推动能够以不同的方向进行转动，从而带动通过驱动齿条411与驱动齿轮42啮合的夹持块41相向移动或相背移动，以实现对待注入件的夹持
或释放，从而仅需通过以不同的方向推动推动机构5便能快速的对待注入件进行夹持或释放，使得操作更加方便。
[0033]推动机构5包括：
[0034]推杆51，推杆51一端作为连接端，另一端延伸至安装腔2外作为延伸端；
[0035]连接块52，连接块52对称设置在推杆51两侧，连接块52一端与连接端转动连接，另一端与连接部421转动连接；
[0036]把手53，把手53对称设置在推杆51两侧，把手53固定连接在延伸端上。
[0037]当需要推动机构5推动驱动齿轮42转动时，通过推动推杆51，使得一端与推杆51的连接端转动连接，另一端与驱动齿轮42上的连接部421转动连接的连接块52能够在推杆51推动的过程中带动驱动齿轮42转动，从而在驱动齿轮42的转动下，使得通过驱动齿条411与驱动齿轮42相互啮合的夹持块41能够进行移动，并且通过设置把手53能够便于施力，从而在推动推杆51时更加方便。
[0038]其中，通过将夹持机构4和推动机构5全部设置成机械配合的方式，能够提高运行的稳定性，延长使用寿命。
[0039]驱动齿轮42为全齿结构。
[0040]通过将驱动齿轮42设置为全齿结构，能够增加驱动齿轮42与驱动齿条411啮合的行程，从而增大了对称设置的夹持块41之间的间距，进而能够对长度更长的待注入件进行夹持，扩大了适用范本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于离子注入机的检验校对装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体内设有安装腔，所述壳体上设有与安装腔联通的开口；夹持机构，所述夹持机构包括：夹持块，所述夹持块对称设置，所述夹持块底部设有驱动齿条，所述夹持块通过开口延时至安装腔外；驱动齿轮，所述驱动齿轮对称设置，所述驱动齿轮转动连接于壳体内壁上，所述驱动齿轮与驱动齿条相啮合，所述驱动齿轮的端面设有向外周延伸的连接部；推动机构，所述推动机构与连接部转动连接，所述推动机构通过推动以带动驱动齿轮转动。2.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的检验校对装置，其特征在于，所述推动机构包括：推杆，所述推杆一端作为连接端，另一端延伸至安装腔外作为延伸端；连接块，所述连接块对称设置在推杆两侧，所述连接块一端与连接端转动连接，另一端与连接部转动连接；把手，所述把...
【专利技术属性】
技术研发人员：彭强祥，刘仁杰，
申请(专利权)人：浙江中科尚弘离子装备工程有限公司，
类型：新型
国别省市：
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