用于离子注入机的离子轰击碰撞装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于离子注入机的离子轰击碰撞装置，包括：离子注入机外防护筒；固定板，固定板对称设置于离子注入机外防护筒两侧；支撑机构，支撑机构对称设置于离子注入机外防护筒两侧，并分别于对应固定板连接；往复摆动机构，往复摆动机构对称设置于离子注入机外防护筒两侧，并彼此相向固定在两侧固定板端面上；延长臂，延长臂一端与往复摆动机构固定连接，另一端转动连接于离子注入机外防护筒的外壁，以增加离子注入机外防护筒与往复摆动机构之间的连接距离，往复摆动机构用于驱动延长臂往复摆动，以带动离子注入机外防护筒往复摆动。本实用新型专利技术具有以下优点和效果：能够增加摆动幅度，使得离子的轰击碰撞更充分，提高轰击碰撞的效果。击碰撞的效果。击碰撞的效果。

【技术实现步骤摘要】
用于离子注入机的离子轰击碰撞装置


[0001]本技术涉及离子注入机
，具体涉及一种用于离子注入机的离子轰击碰撞装置。

技术介绍

[0002]离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制，克服了常规工艺的限制，提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗。离子注入机广泛用于掺杂工艺，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。
[0003]在使用离子注入机时，需要使其对其内部的电离子进行轰击碰撞，以产生电流分子，从而使得在使用时的传输更加稳定。现有的离子注入机一般通过摆动装置带动离子注入机进行摆动，使得其内部的离子能够进行轰击碰撞。但是现有的摆动装置在带动离子注入机时产生的摆动幅度较小，从而导致其内部的离子轰击碰撞不充分，效果较差。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于离子注入机的离子轰击碰撞装置，其特征在于，包括：离子注入机外防护筒；固定板，所述固定板对称设置于离子注入机外防护筒两侧；支撑机构，所述支撑机构对称设置于离子注入机外防护筒两侧，并分别于对应固定板连接，所述支撑机构用于对固定板进行支撑；往复摆动机构，所述往复摆动机构对称设置于离子注入机外防护筒两侧，并彼此相向固定在两侧固定板端面上；延长臂，所述延长臂一端与往复摆动机构固定连接，另一端转动连接于离子注入机外防护筒的外壁，以增加离子注入机外防护筒与往复摆动机构之间的连接距离，所述往复摆动机构用于驱动延长臂往复摆动，以带动离子注入机外防护筒往复摆动。2.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的离子轰击碰撞装置，其特征在于，所述往复摆动机构包括：主动齿轮，所述主动齿轮转动连接于固定板端面，所述主动齿轮背向连接梁侧壁的一侧设有凸起的第一啮合部，所述第一啮合部为多个并按圆周均匀分布；从动齿轮，所述从动齿轮转动连接于固定板端面，所述从动齿轮与主动齿轮成中心对称并与主动齿轮相互啮合，所述从动齿轮背向连接梁侧壁的一侧设有凸起的第二啮合部，所述第二啮合部为多个并按圆周均匀分布，所述第二啮合凸起与...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭强祥，刘仁杰，
申请(专利权)人：浙江中科尚弘离子装备工程有限公司，
类型：新型
国别省市：