本实用新型专利技术属于测量技术领域，具体公开了离子注入机中晶片承载器卡臂水平位置的检测装置，包括真空制程舱本体和水平仪检测探头，所述真空制程舱本体的正面设置调整板，所述调整板两端对称固定连接有连接板，所述连接板一侧设置有拉块，所述拉块一侧固定连接有拉杆，所述拉杆一端穿过连接板并连接有夹持块，所述夹持块一侧与真空制程舱本体相互贴合，所述拉杆外侧套设有夹紧弹簧，所述夹紧弹簧两端分别连接有连接板和夹持块，所述调整板正面中间的位置开设有贯通的滑槽，所述滑槽上方均匀开设有多个固定螺孔，本实用新型专利技术有效的解决了晶片承载器中的传感器所测量的数据与实际晶片的位置状况不一致，不便于安装测量探头的问题。不便于安装测量探头的问题。不便于安装测量探头的问题。
【技术实现步骤摘要】
离子注入机中晶片承载器卡臂水平位置的检测装置
[0001]本技术涉及测量
，具体为离子注入机中晶片承载器卡臂水平位置的检测装置。
技术介绍
[0002]离子注入是用于将更改电导率的杂质引入或掺杂于半导体硅晶片中的标准 IC芯片制造技术。典型的离子注入制程使用高能离子束，将杂质引入半导体硅晶片。以均一的深度和掺杂剂量将杂质引入硅晶片，对确保所形成的半导体器件的正常工作十分重要。
[0003]在离子注入机的现有设备中，通过专用装置对拆卸下来的晶片承载器进行事先校准，确保两对晶片卡臂夹持晶片后与校准面保持平行。晶片承载器的两对晶片卡臂位于真空制程舱内，背面安装有一块厚的亚克力板，可以观察到晶片卡臂的状况。在设备正常使用过程中，必须在停机的情况下，才能通过亚克力板观察到晶片承载器的两对卡臂是否平直且互相保持平行。在设备长时间运行后，晶片承载器的两对晶片卡臂会出现松动的情况，导致卡臂发生偏移；另外两对卡臂端部的四个晶片定位卡头也会发生磨损。由此导致晶片承载器中的传感器所测量的数据与实际晶片的位置状况不一致。在此情况下，可能影响芯片制造的良率，并且测量时的检测探头不便安装固定。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供离子注入机中晶片承载器卡臂水平位置的检测装置以解决上述
技术介绍
中所提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：离子注入机中晶片承载器卡臂水平位置的检测装置，其特征在于：包括固定装置、真空制程舱本体和水平仪检测探头，所述真空制程舱本体的正面设置有固定装置，所述固定装置包括连接板、弹簧、拉杆、夹持块、拉块和调整板，所述调整板两端对称固定连接有连接板，所述连接板一侧设置有拉块，所述拉块一侧固定连接有拉杆，所述拉杆一端穿过连接板并连接有夹持块，所述拉杆与连接板之间采用滑动连接，所述夹持块一侧设置有与真空制程舱本体相互配合的弧度，所述夹持块一侧设置有防滑塑胶，所述夹持块一侧与真空制程舱本体相互贴合，所述拉杆外侧套设有夹紧弹簧，所述夹紧弹簧两端分别连接有连接板和夹持块，所述调整板正面中间的位置开设有贯通的滑槽，所述滑槽上方均匀开设有多个固定螺孔，所述调整板顶部于滑槽上方设置有与固定螺孔相互配合的刻度，所述水平仪检测探头设置在真空制程舱本体的中间的位置，所述水平仪检测探头尾部设置的安装座穿过滑槽中间的位置。
[0006]优选的，所述安装座两侧于调整板两侧对称连接有固定块，所述固定块夹持在调整板上并采用滑动连接，所述固定块一侧开设有贯通的连接插孔，所述连接插孔与固定螺孔所属同一轴心，所述连接插孔一侧设置有固定螺栓，所述固定螺栓穿过连接插孔并插入固定螺孔中固定水平仪检测探头。
[0007]优选的，所述水平仪检测探头连接有精密水平测量仪，所述精密水平测量仪连接
有信号转换器，所述信号转换器连接有PLC系统。
[0008]优选的，所述精密水平测量仪与水平仪检测探头之间采用电性连接，所述精密水平测量仪与信号转换器之间采用电性连接，所述PLC系统与精密水平测量仪之间采用电性连接。
[0009]优选的，所述信号转换器和PLC系统均连接有控制盒，所述控制盒与信号转换器和PLC系统采用电性连接，所述控制盒连接有HML系统，所述HML系统与控制盒之间采用电性连接。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术通过设置的固定装置将水平仪检测探头固定在真空制程舱本体上，然后对水平仪检测探头进行调整，通过水平仪检测探头检测到的信息由精密水平测量仪接收后反馈给信号转换器，然后由信号转换器反馈给PLC系统，然后再由PLC系统进行储存，HML提供操作界面，控制盒为各系统提供电源和通讯连接，本技术有效的解决了晶片承载器中的传感器所测量的数据与实际晶片的位置状况不一致的问题，提高了芯片制造的良率。
附图说明
[0011]图1为本技术固定装置结构示意图；
[0012]图2为本技术整体结构示意图。
[0013]图中：1、真空制程舱本体；2、调整板；3、夹持块；4、连接板；5、拉块；6、刻度；7、固定块；8、固定螺栓；9、固定螺孔；10、水平仪检测探头；11、滑槽；12、夹紧弹簧；13、拉杆；14、精密水平测量仪；15、信号转换器；16、PLC系统；17、HML系统；18、控制盒。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0016]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0017]请参阅图1
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2，本技术提供一种技术方案：离子注入机中晶片承载器卡臂水平位置的检测装置，包括固定装置、真空制程舱本体1和水平仪检测探头10，所述真空制程舱本体1的正面设置有固定装置，所述固定装置包括连接板4、夹紧弹簧12、拉杆13、夹持块3、拉块5和调整板2，所述调整板2两端对称固定连接有连接板4，所述连接板4一侧设置有拉块
5，所述拉块5一侧固定连接有拉杆13，所述拉杆13一端穿过连接板4并连接有夹持块3，所述拉杆13与连接板4之间采用滑动连接，所述夹持块3一侧设置有与真空制程舱本体1相互配合的弧度，所述夹持块3一侧设置有防滑塑胶，所述夹持块3一侧与真空制程舱本体1相互贴合，所述拉杆13外侧套设有夹紧弹簧12，所述夹紧弹簧12两端分别连接有连接板4和夹持块3，所述调整板2正面中间的位置开设有贯通的滑槽11，所述水平仪检测探头10设置在滑槽11内，所述滑槽11上方均匀开设有多个固定螺孔9，所述调整板2顶部于滑槽11上方设置有与固定螺孔9相互对应的刻度6，所述水平仪检测探头10设置在真空制程舱本体1的中间的位置，所述水平仪检测探头10尾部设置的安装座穿过滑槽11。
[0018]进一步的，所述安装座两侧于调整板2两侧对称连接有固定块7，所述固定块7夹持在调整板2上并采用滑动连接，所述固定块7一侧开设有贯通的连接插孔，所述连接插孔与固定螺孔9所属同一轴心，所述连接插孔一侧设置有固定螺栓8，所述固定本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.离子注入机中晶片承载器卡臂水平位置的检测装置，其特征在于：包括固定装置、真空制程舱本体（1）和水平仪检测探头（10），所述真空制程舱本体（1）的正面设置有固定装置，所述固定装置包括连接板（4）、夹紧弹簧（12）、拉杆（13）、夹持块（3）、拉块（5）和调整板（2），所述调整板（2）两端对称固定连接有连接板（4），所述连接板（4）一侧设置有拉块（5），所述拉块（5）一侧固定连接有拉杆（13），所述拉杆（13）一端穿过连接板（4）并连接有夹持块（3），所述拉杆（13）与连接板（4）之间采用滑动连接，所述夹持块（3）一侧设置有与真空制程舱本体（1）相互配合的弧度，所述夹持块（3）一侧设置有防滑塑胶，所述夹持块（3）一侧与真空制程舱本体（1）相互贴合，所述拉杆（13）外侧套设有夹紧弹簧（12），所述夹紧弹簧（12）两端分别连接有连接板（4）和夹持块（3），所述调整板（2）正面中间的位置开设有贯通的滑槽（11），所述水平仪检测探头（10）设置在滑槽（11）内，所述滑槽（11）上方均匀开设有多个固定螺孔（9），所述调整板（2）顶部于滑槽（11）上方设置有与固定螺孔（9）相互对应的刻度（6），所述水平仪检测探头（10）设置在真空制程舱本体（1）的中间的位置，所述水平仪检测探头（10）尾部设置的安装座穿过滑槽（11）。2.根据权利要求1所述的离子注入机中晶片承载器卡臂水平位置...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫占忠，张晓宁，王志军，
申请(专利权)人：北京芯源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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