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本实用新型提供了一种离子注入机离子源室有毒物质隔离防护装置，包括弯头连接件、离子源室面罩、面罩连接头、收纳管以及分别套设在收纳管两端的上部连接头和下部连接头，收纳管内设置有波纹伸缩软管，下部连接头上套设有伸缩管连接头，波纹伸缩软管的两端分别...
该专利属于北京芯源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京芯源科技有限公司授权不得商用。

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