靶材模具制造技术

本实用新型专利技术涉及靶材成形技术领域，公开一种靶材模具。包括模具套、密封部和模具轴，模具套开设有定位槽和容纳腔，容纳腔开设有开口，容纳腔的至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小，密封部可拆卸安装于模具套且能够封闭开口，模具轴具有第一端和第二端，上模垫限位第一端使第二端能够伸入定位槽，上模垫、模具轴和模具套围成模具腔，模具轴至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小。其有益效果在于：容纳腔的至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小，以缓解靶材烧结后的“喇叭口”现象；模具轴的横截面面积从上至下逐渐减小，可以与容纳腔的形状相配合，使靶材成型后的形状易于处理，也可以减少原靶材成型所需的模具腔容积，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
靶材模具


[0001]本技术涉及靶材成形
，特别是涉及一种靶材模具。

技术介绍

[0002]ITO粉体CIP成型需承受200MPa以上的全方位压力，在烧结后靶材底部出现“喇叭口”现象，此现象会进一步导致加工时因靶材底部内径偏大而造成的底部靶材切割浪费情况出现。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是：靶材成型时，其底部容易出现“喇叭口”现象
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种靶材模具，包括模具套、密封部和模具轴，所述模具套开设有相连通的定位槽和容纳腔，所述容纳腔开设有开口，所述容纳腔的至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小，所述密封部可拆卸安装于所述模具套且能够封闭所述开口，所述模具轴具有第一端和第二端，所述第一端设置有上模垫，所述上模垫限位所述第一端，以使所述第二端能够经所述开口和所述容纳腔伸入所述定位槽，所述上模垫、所述模具轴和所述模具套围成模具腔，所述模具轴至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小。
[0005]在上述技术方案中，所述模具轴包括依次相接的第一配合段、成型段和第二配合段，所述第一配合段安装有所述密封部和所述上模垫，所述上模垫的边缘处处均与所述容纳腔的内侧壁抵接，所述成型段的至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小。
[0006]在上述技术方案中，所述成型段的横截面面积自靠近所述第一配合段的一端至靠近所述第二配合段的一端逐渐减少。
[0007]在上述技术方案中，所述成型段包括相接的第一段和第二段，所述第一段与所述第一配合段相接，所述第二段与所述第二配合段相接，所述第一段的横截面面积处处相等，所述第二段的横截面面积自靠近所述第一段的一端至靠近所述第二配合段的一端逐渐减少。
[0008]在上述技术方案中，所述容纳腔包括相连通的上段和中段，所述上段开设有所述开口，所述上模垫的边缘处处与所述上段的内侧壁抵接，所述中段的横截面面积从上至下逐渐减小。
[0009]在上述技术方案中，所述上段的内侧壁竖直设置。
[0010]在上述技术方案中，所述模具套包括套体和下模垫，所述套体开设有所述容纳腔，所述下模垫开设有所述定位槽,所述容纳腔包括与所述中段连通的下段，所述下模垫的边缘处处与所述下段的内侧壁抵接。
[0011]在上述技术方案中，所述下段的内侧壁竖直设置。
[0012]在上述技术方案中，所述模具套与所述模具腔同轴设置。
[0013]在上述技术方案中，所述模具轴的外表面设有阳极氧化层。
[0014]本技术实施例的靶材模具与现有技术相比，其有益效果在于：开口可以供模具轴和原料放入容纳腔，并通过密封部对开口进行密封，以有利于原料烧结形成靶材；通过上模垫限位模具轴，并通过定位槽对第二端起限位作用，模具轴在模具腔内具有较好的稳定性，以有利于原料烧结形成靶材；容纳腔的至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小，可以缓解靶材烧结后的“喇叭口”现象；模具轴至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小，可以与容纳腔的形状相配合，使靶材成型后的形状易于处理，也可以减少原靶材成型所需的模具腔容积，提高靶材产率，降低生产成本。
附图说明
[0015]图1是本技术实施例靶材模具的剖视示意图；
[0016]图2是本技术实施例模具套的剖视示意图；
[0017]图3是本技术其中一个实施例的模具轴的剖视示意图；
[0018]图4是本技术又一实施例的模具轴的剖视示意图；
[0019]图中，100、模具腔；1、模具套；11、套体；12、下模垫；101、容纳腔；1011、上段；1012、中段；1013、下段；2、密封部；3、模具轴；31、第一配合段；32、成型段；321、第一段；322、第二段；33、第二配合段；4、上模垫。
具体实施方式
[0020]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0021]在本技术的描述中，应当理解的是，本技术中采用术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0022]在本技术的描述中，应当理解的是，本技术中采用术语“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是焊接连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0024]如图1和图2所示，本技术实施例优选实施例的一种靶材模具，包括模具套1、密封部2和模具轴3，模具套1开设有相连通的定位槽和容纳腔101，容纳腔101开设有开口，容纳腔101的至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小，密封部2可拆卸安装于模具套1且能够封闭开口，模具轴3具有第一端和第二端，第一端设置有上模垫4，上模垫4限位第一端，以使第二端能够经开口和容纳腔101伸入定位槽，上模垫4、模具轴3和模具套1围成模具腔100，模具轴3至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小。
[0025]可以理解的是，开口可以供模具轴3和原料放入容纳腔101，并通过密封部2对开口
进行密封，以有利于原料烧结形成靶材；通过上模垫4限位模具轴3，并通过定位槽对第二端起限位作用，模具轴3在模具腔100内具有较好的稳定性，以有利于原料烧结形成靶材；容纳腔101的至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小，可以缓解靶材烧结后的“喇叭口”现象；模具轴3至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小，可以与容纳腔101的形状相配合，使靶材成型后的形状易于处理，也可以减少原靶材成型所需的模具腔100容积，提高靶材产率，降低生产成本。
[0026]如图3所示，进一步地，模具轴3包括依次相接的第一配合段31、成型段32和第二配合段33，第一配合段31安装有密封部2和上模垫4，上模垫4的边缘处处均与容纳腔101的内侧壁抵接，成型段32的至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小。
[0027]可以理解的是，第一配合段31为上模垫4起限位作用提供了空间，上模垫4通过边缘处处均与容纳腔101的内侧壁抵接，对模具轴3起限位作用，而有利于提高模具轴3的稳定性。成型段32的至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小，可以使烧结形成的靶材形状与实际所需的形状相贴近，缓解“喇叭口”的现象出现。
[0028]如图3所示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材模具，其特征在于，包括模具套、密封部和模具轴，所述模具套开设有相连通的定位槽和容纳腔，所述容纳腔开设有开口，所述容纳腔的至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小，所述密封部可拆卸安装于所述模具套且能够封闭所述开口，所述模具轴具有第一端和第二端，所述第一端设置有上模垫，所述上模垫限位所述第一端，以使所述第二端能够经所述开口和所述容纳腔伸入所述定位槽，所述上模垫、所述模具轴和所述模具套围成模具腔，所述模具轴至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小。2.根据权利要求1所述的靶材模具，其特征在于，所述模具轴包括依次相接的第一配合段、成型段和第二配合段，所述第一配合段安装有所述密封部和所述上模垫，所述上模垫的边缘处处均与所述容纳腔的内侧壁抵接，所述成型段的至少一部分的横截面面积从上至下逐渐减小。3.根据权利要求2所述的靶材模具，其特征在于，所述成型段的横截面面积自靠近所述第一配合段的一端至靠近所述第二配合段的一端逐渐减少。4.根据权利要求2所述的靶材模具，其特征在于，所述成型段包括相接的第一段和第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：高日旭，刘文杰，李帅，余芳，李明鸿，李叶，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：新型
国别省市：