一种传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种传输装置，属于电镜设备技术领域，能够解决取放样品时开闭仓门对样品仓造成的污染以及真空度降低的问题，增加设备的使用寿命；该装置包括预抽室、动力设备、第一定滑轮、第二定滑轮、弹性伸缩组件、拉绳和传送组件；所述预抽室为设有仓门的内空结构，所述预抽室设置在扫描电镜的主真空腔室的仓门外侧；所述第一定滑轮设置在所述预抽室内，所述第二定滑轮设置在所述第一定滑轮正下方；所述动力设备与所述第二定滑轮连接；所述弹性伸缩组件设置在所述预抽室的内底面上，且一端与所述预抽室固定连接，另一端与所述传送组件连接；所述拉绳的一端与所述传送组件固接，另一端经过所述第一定滑轮后绕设在所述第二定滑轮上。轮上。轮上。

【技术实现步骤摘要】
一种传输装置


[0001]本技术涉及电镜设备
，尤其涉及一种传输装置。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜是利用聚焦很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质之间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大，再成像以达到物质对微观形貌表征的目的。这也就需要扫描电子显微镜对真空条件有要求，这样才能得到好的图片从而得出准确的分析结果。而且，真空度高，阴极的寿命才会长，高压电源也才不容易出现问题，整机才会可靠、耐用。
[0003]实际使用过程中有打开样品仓取放样品两个操作步骤，而取放样品时又需要放入气体然后再重新抽真空。这一操作，一方面会增加时间成本；另一方面会使环境中的大气进入样品仓，随着使用时间的增长与使用次数的增加必然会对样品仓造成污染，也会导致样品仓内真空度的下降，明显缩短扫描电子显微镜的使用寿命。
[0004]因此，有必要研究一种传输装置来应对现有技术的不足，以解决或减轻上述一个或多个问题。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术提供了一种传输装置，能够解决取放样品时开闭仓门对样品仓造成的污染以及真空度降低的问题，增加设备的使用寿命。
[0006]本技术提供一种传输装置，包括预抽室、动力设备、第一定滑轮、第二定滑轮、弹性伸缩组件、拉绳和传送组件；
[0007]所述预抽室为设有仓门的内空结构，所述预抽室设置在扫描电镜的主真空腔室的仓门外侧；
[0008]所述第一定滑轮可转动的设置在所述预抽室内，所述第二定滑轮设置在所述第一定滑轮正下方；所述动力设备与所述第二定滑轮连接；
[0009]所述弹性伸缩组件设置在所述预抽室的内底面上，且一端与所述预抽室固定连接，另一端与所述传送组件连接；
[0010]所述拉绳的一端与所述传送组件固接，另一端经过所述第一定滑轮以及密封性穿过所述预抽室底面后绕设在所述第二定滑轮上。
[0011]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述弹性伸缩组件包括：滑轨组、若干滑轨固定座和若干弹力件；
[0012]所述滑轨组包括两根以上依次滑动连接的滑轨；所述滑轨下方设置有所述滑轨固定座，所述滑轨固定座固定设于所述预抽室的内底面；
[0013]所述弹力件的两端分别与相邻两滑轨固定连接。
[0014]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，相邻两滑轨滑动连接具体为：一个滑轨为横截面为方形的长条状，另一个滑轨为横截面为类C形的长条
状；
[0015]方形的所述滑轨的上下两侧面分别设有凹型槽条；
[0016]类C形的所述滑轨的开口两端分别嵌设在所述凹型槽条中。
[0017]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，相邻两滑轨滑动连接具体为：一个滑轨为横截面为方形的长条状，另一个滑轨为横截面为类C形的长条状；
[0018]方形的所述滑轨的上下两侧面分别设有凹型槽条；所述凹型槽条中设有若干滚珠；
[0019]类C形的所述滑轨的开口套设在所述滚珠外周；
[0020]方形和/或类C形滑轨的两端设有防止滚珠滑落的挡板。
[0021]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，靠近所述主真空腔室一端的滑轨的长度大于所述滑轨组的整体伸缩长度。
[0022]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述滑轨组中滑轨滑动连接具体为：所述预抽室内底面上固定设有长条状的框件；所述框件为两端开口的方形结构；
[0023]所述滑轨组中所有滑轨设于所述框件内，相邻两滑轨的光滑侧面接触连接。
[0024]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述滑轨组中滑轨滑动连接具体为：所述预抽室内底面上固定设有长条状的框件；所述框件为两端开口的方形结构；
[0025]所述滑轨组中所有滑轨设于所述框件内，相邻两滑轨的接触面之间设有若干滚珠；所述滑轨的两端均设有防止滚珠滚落的挡板。
[0026]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述框件和所述传送组件的长度之和小于所述预抽室的长度；
[0027]靠近所述主真空腔室一端的滑轨的长度大于所述滑轨组的整体伸缩长度。
[0028]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述滑轨固定座的横截面为类U形，且两端设有对滑轨移动范围进行限定的端面。
[0029]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述预抽室罩设在所述主真空腔室的仓门上；所述预抽室的仓门设于预抽室顶面。
[0030]与现有技术相比，上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：本技术在主真空腔室侧面设置预抽室，样品的取放都在预抽室内完成，从而能确保主真空腔室的真空状态，避免其被大气污染；
[0031]上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：本技术取放样品后仅需对预抽室进行抽真空，预抽室体积小，大大缩短抽真空时间；
[0032]上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：本技术通过拉绳和弹性件的双重作用实现滑轨组的收缩和伸长，从而实现样品在主真空腔室和预抽室之间的位移，结构简单，可靠性高。
[0033]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有技术效果。
附图说明
[0034]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0035]图1是本技术一个实施例提供的传输装置应用在扫描电子显微镜中的整体结构；
[0036]图2是本技术一个实施例提供的传输装置伸长状态侧视结构示意图；
[0037]图3是本技术一个实施例提供的传输装置收缩状态侧视结构示意图；
[0038]图4是本技术一个实施例提供的传输装置伸长状态俯视结构示意图；
[0039]图5是本技术一个实施例提供的传输装置收缩状态俯视结构示意图；
[0040]图6是本技术一个实施例提供的滑轨连接结构示意图。
[0041]其中，图中：
[0042]1、主真空腔室；2、预抽室；3、滑轨组件；4、第一定滑轮；5、第二定滑轮；6、滑轨组；61、第一滑轨；62、第二滑轨；63、第三滑轨；64、滚珠；71、第一滑轨固定座；72、第二滑轨固定座；73、第三滑轨固定座；8、钢丝绳；9、弹簧；10、第一固定座；11、第二固定座；12、传送台；13、电机。
具体实施方式
[0043]为了更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
[0044]应当明确，所描述的实施例仅仅是本实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传输装置，为扫描电镜传输样品，其特征在于，包括预抽室、动力设备、第一定滑轮、第二定滑轮、弹性伸缩组件、拉绳和传送组件；所述预抽室为设有仓门的内空结构，所述预抽室设置在扫描电镜的主真空腔室的仓门外侧；所述第一定滑轮设置在所述预抽室内，所述第二定滑轮设置在所述第一定滑轮正下方；所述动力设备与所述第二定滑轮连接；所述弹性伸缩组件设置在所述预抽室的内底面上，且一端与所述预抽室固定连接，另一端与所述传送组件连接；所述拉绳的一端与所述传送组件固接，另一端经过所述第一定滑轮以及密封性穿过所述预抽室底面后绕设在所述第二定滑轮上。2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述弹性伸缩组件包括：滑轨组、若干滑轨固定座和若干弹力件；所述滑轨组包括两根以上依次滑动连接的滑轨；所述滑轨下方设置有所述滑轨固定座，所述滑轨固定座固定设于所述预抽室的内底面；所述弹力件的两端分别与相邻两滑轨固定连接。3.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，相邻两滑轨滑动连接具体为：一个滑轨为横截面为方形的长条状，另一个滑轨为横截面为类C形的长条状；方形的所述滑轨的上下两侧面分别设有凹型槽条；类C形的所述滑轨的开口两端分别嵌设在所述凹型槽条中。4.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，相邻两滑轨滑动连接具体为：一个滑轨为横截面为方形的长条状，另一个滑轨为横截面...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛敬宇，张子豪，郝荣帅，刁铭，李静逸，请求不公布姓名，张月新，
申请(专利权)人：纳克微束北京有限公司，
类型：新型
国别省市：