操控台的倾斜元件制造技术

本发明专利技术的目标是一种操控台(15)的倾斜装置(1)，所述倾斜装置(1)使用包括线性致动器的移动器件，所述线性致动器附接到固定零件(2)并连接到叶片(8)，所述叶片(8)在其另一端处附接到可移动零件(3)的底侧，以使所述可移动零件(3)相对于所述固定零件(2)倾斜。通过延伸和缩回所述线性致动器的所述可移动零件并因此将所述叶片(8)在所述可移动零件(3)的所述底侧上卷绕和解绕来改变所述可移动零件(3)相对于所述固定零件(2)的倾斜角度。于所述固定零件(2)的倾斜角度。于所述固定零件(2)的倾斜角度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】操控台的倾斜元件


[0001]本专利技术涉及一种操控台的倾斜装置，所述倾斜装置用于倾斜放置在倾斜装置上的样本，确切来说用于显微术、显微分析或微切削加工的操控台。

技术介绍

[0002]当尤其是通过显微术观察、检查、或处理样本时，通常将样本放置在各种操控台上以确保平缓地操控正在观察的样本。显微镜的放大率越高，平缓地操控样本的需要越大，原因在于在高放大率下太粗糙地操控样本将使样本的被观察、检查或切削加工区域移出显微镜的视域。在例如通过电子显微镜达成在高放大率下的平缓操控的情形下，操控台的移动也必须足够精确以避免操控台的寄生移动。
[0003]显微术中所使用的操控台通常至少允许沿着两条轴平移移动、绕一条轴旋转和绕一条轴倾斜，其中由于所使用的轴承的径向和轴向寄生移动或提供倾斜的其他类型的配接，在操控台倾斜期间会发生操控台的最大寄生移动。例如由于需要从多个角度观察样本或当从样本制备薄体层(所谓的TEM体层)时，操控台可倾斜非常重要。
[0004]例如专利申请JPH09223477A中描述了具有倾斜可能性的可倾斜操控台。专利申请描述操控台的两种可能的实施方案。操控台的第一可能的实施方案是使得操控台的提供在两条轴上的平移移动和绕一条轴的旋转移动的零件放置在操控台的提供倾斜的零件上。然而，所述实施方案容易发生寄生移动，原因在于当由于操控台的提供平移移动和旋转移动的零件放置在操控台的提供倾斜的零件上而致使倾斜角度改变时，操控台的大部分以及因此大的质量会倾斜。因此，在此种情形下，提供样本的倾斜的零件必须具有大的稳健性，这致使操控台更昂贵并且也增大对显微镜的其余部分的要求。专利申请所述的操控台的另一个实施方案描述操控台的提供倾斜的零件放置在提供在x轴方向上的平移移动的零件上。操控台的提供旋转和在y轴方向上的平移移动的零件也放置在操控台的提供倾斜的零件上，所述y轴方向垂直于x轴。类似于操控台的先前实施方案，当由于操控台的提供在y轴方向上的平移移动和旋转移动的零件放置在操控台的提供倾斜的零件上而致使倾斜角度改变时，操控台的大部分且因此大质量倾斜，并且因此此实施方案中也可发生寄生移动。在两种情形下，通过弧形引导件蜗杆驱动件提供操控台的倾斜，其中此中引导件和驱动件是不适合的，原因在于其在生产准确性上要求苛刻、成本高并且可导致锯齿形装置之间的振动传输。
[0005]例如日本专利JP5278858B2中描述了具有倾斜可能性的当倾斜角度改变时将寄生移动最小化的可倾斜操控台的倾斜装置。所述专利描述的操控台的倾斜装置包括固定零件和倾斜零件，其中两个零件的侧面彼此接触，具有提供倾斜零件的倾斜的弧形轮廓。其他示例性实施方案还描述利用凹槽或鸠尾凹槽来减小倾斜零件的寄生移动。根据此专利，利用放置在倾斜零件中的控制杆手动地执行倾斜零件的倾斜，所述倾斜零件在固定零件的弧形导槽中移动，其中通过锁定在形成在导槽中的凹部的控制杆设定不同的倾斜角度。所述解决方案的缺点是不能设定任意倾斜角度且不能机器倾斜。操控台的倾斜装置的所述解决方
案的另一个缺点是设定所期望倾斜角度的复杂性。
[0006]文献EP 2 573 795 B1中也描述了具有可在X轴方向、Y轴方向和Z轴方向上移位的台的扫描电子显微镜。所述台可枢转且可倾斜。步进电动机提供此台的移动。台的移动机构还包括板弹簧。
[0007]描述具有可枢转且可倾斜操控台的扫描电子显微镜的另一个文献是日本专利JPH 11213932 A。此文献解决使用激光干涉仪测量台位置的问题。
[0008]因此将适合于提供将允许自动倾斜而不存在不期望寄生移动的操控台的倾斜装置的解决方案。

技术实现思路

[0009]通过操控台的倾斜装置达成前述目标，所述倾斜装置包括固定零件、适于放置至少一个样本的可移动零件和移动器件，其中所述可移动零件可枢转地安装在所述固定零件上，本质在于所述移动器件包括叶片和线性致动器的事实，其中所述叶片在一端处附接到所述可移动零件的底侧并且在相对端处连接到所述线性致动器，所述线性致动器进一步连接到所述固定零件。所述操控台的所述倾斜装置通过利用减小在平行于倾斜轴的方向上的不期望寄生移动的量的叶片来实现前述目标，原因在于所述叶片通过将所述叶片的一端附接到所述可移动零件的所述底侧而减小了在所述方向上移动的可能性。
[0010]在优选实施方案中，所述可移动零件的所述底侧的至少一部分在平行于倾斜轴的方向上具有弧形轮廓，其中所述叶片在附接到所述可移动零件的所述底侧的所述一端处附接到所述可移动零件的所述底侧的具有所述弧形轮廓的所述部分。由于所述叶片均匀地卷绕在所述可移动零件的所述底侧上，因此将所述叶片附接到所述可移动零件的所述底侧的具有所述弧形轮廓的所述部分提高了设定所期望倾斜角度的准确性。
[0011]在优选实施方案中，所述移动器件还包括连接装置和至少一个线性引导件，其中所述连接装置将所述线性致动器连接到所述叶片，其中所述连接装置同时连接到被定向成平行于所述线性致动器轴的所述线性引导件并且固定地连接到所述固定零件。使用将所述叶片连接到所述线性致动器并同时连接到所述线性引导件的连接装置有助于通过限制叶片的端部在倾斜轴方向上移动的可能性来抑制在倾斜轴方向上的寄生移动。
[0012]在优选实施方案中，所述移动器件还包括至少一个扭转弹簧，所述至少一个扭转弹簧的绕线放置在所述连接装置上，其中所述至少一个扭转弹簧的第一臂固定地连接到所述连接装置并且所述至少一个扭转弹簧的第二臂与所述可移动零件接触。使用扭转弹簧对可移动零件施加压力提高了将所述叶片正确卷绕在可移动零件上的可靠性，原因在于所述扭转弹簧始终使所述叶片拉紧。
[0013]在优选实施方案中，所述移动器件还包括至少一个扭转弹簧，所述至少一个扭转弹簧的绕线放置在固定零件上，其中所述至少一个扭转弹簧的第一臂固定地连接到所述固定零件并且所述至少一个扭转弹簧的第二臂与所述可移动零件接触。使用扭转弹簧对可移动零件施加压力提高了将所述叶片正确卷绕在可移动零件上的可靠性，原因在于所述扭转弹簧始终使所述叶片拉紧。
[0014]在所述操控台的所述倾斜装置的一个变型中，所述可移动零件在所述固定零件上的所述可枢转安装被实施成使得所述固定零件的所述顶侧的至少一部分在平行于所述倾
斜轴的方向上具有弧形轮廓，其中所述操控台的所述倾斜装置还包括至少一个弧形引导件，所述至少一个弧形引导件放置在所述固定零件的所述顶侧的具有弧形轮廓的所述部分上，其中所述弧形引导件的所述外半径对应于所述固定零件的顶侧的弧形轮廓的半径，并且同时弧形引导件的内侧的半径对应于所述可移动零件的所述底侧的所述弧形轮廓的半径，其中所述可移动零件的所述底侧的具有所述弧形轮廓的一部分放置在所述弧形引导件上。
[0015]在所述弧形引导件的一个变型中，所述弧形引导件由滚珠保持架和至少两个滚动装置构成，所述至少两个滚动装置插入到所述滚珠保持架。
[0016]在所述可移动部分的一个变型中，所述可移动部分还包括旋转零件，所述旋转零件适于绕垂直于所述可移动零件的顶侧的轴旋转，其中所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种操控台(15)的倾斜装置(1)，所述倾斜装置(1)包括固定零件(2)、适于放置至少一个样本的可移动零件(3)和移动器件，其中所述可移动零件(3)可枢转地安装在所述固定零件(2)上，所述倾斜装置(1)的特征在于所述移动器件包括叶片(8)和线性致动器，其中所述叶片(8)在一端处附接到所述可移动零件(3)的底侧并且在相对端处连接到所述线性致动器，所述线性致动器进一步连接到所述固定零件(2)。2.如权利要求1所述的操控台(15)的倾斜装置(1)，其特征在于所述可移动零件(3)的所述底侧的至少一部分在平行于倾斜轴(21)的方向上具有弧形轮廓。3.如权利要求2所述的操控台(15)的倾斜装置(1)，其特征在于所述叶片(8)在附接到所述可移动零件(3)的所述底侧的所述一端处附接到所述可移动零件(3)的所述底侧的具有所述弧形轮廓的一部分。4.如前述权利要求中任一项所述的操控台(15)的倾斜装置(1)，其特征在于所述移动器件还包括连接装置(10)和至少一个线性引导件(11)，其中所述连接装置(10)将所述线性致动器连接到所述叶片(8)，其中所述连接装置(10)同时连接到被定向成平行于线性致动器轴(22)的所述线性引导件(11)并且固定地连接到所述固定零件(2)。5.如前述权利要求中任一项所述的操控台(15)的倾斜装置(1)，其特征在于所述移动器件还包括至少一个扭转弹簧(12、13)，所述至少一个扭转弹簧(12、13)的绕线放置在所述连接装置(10)上，其中所述至少一个扭转弹簧(12、13)的第一臂固定地连接到所述连接装置(10)并且所述至少一个扭转弹簧(12、13)的第二臂与所述可移动零件(3)接触。6.如权利要求1至4中任一项所述的操控台(15)的倾斜装置(1)，其特征在于所述移动器件还包括至少一个扭转弹簧(12、13)，所述至少一个扭转弹簧(12、13)的绕线放置在所述固定零件(2)上，其中所述至少一个扭转...

【专利技术属性】
技术研发人员：J，
申请(专利权)人：特斯坎布尔诺公司，
类型：发明
国别省市：