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特斯坎布尔诺公司专利技术
特斯坎布尔诺公司共有3项专利
操控台的倾斜元件制造技术
本发明的目标是一种操控台(15)的倾斜装置(1),所述倾斜装置(1)使用包括线性致动器的移动器件,所述线性致动器附接到固定零件(2)并连接到叶片(8),所述叶片(8)在其另一端处附接到可移动零件(3)的底侧,以使所述可移动零件(3)相对...
用于制作和放置薄片的装置制造方法及图纸
一种用于制作和放置薄片的装置包含聚焦离子束、扫描电子显微镜和用于放置至少两个样品的工作台,所述工作台实现所述样品的倾斜、旋转和移动,所述装置还包含由用于附接和传送所述样品的针终止的机械手。所述机械手定位于垂直于所述样品的倾斜的轴线的平面...
蚀刻半导体器件的一个或多个混合金属和电介质层的方法技术
本发明是一种对由类似金属和电介质的不同材料的多个层构成的半导体器件进行平面和横截面蚀刻的方法。所述方法导致多个层的移除,其目的是暴露感兴趣的单个层或暴露若干层的横截面以执行各种应用,包括但不限于:纳米探测、电路编辑和故障分析。所述方法包...
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