扫描电子显微镜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜包括钨灯丝电子枪、电压管、磁透镜和样品台。钨灯丝电子枪包括阴极，阴极连接负电位，负电位为对地负电压；电压管与钨灯丝电子枪间隔设置，电压管内形成有通道，通道供钨灯丝电子枪发出的电子束通过，电压管连接正电位，正电位为对地正电压；磁透镜环绕在电压管外，用于对电子束进行会聚；样品台用于承载样品以使样品与电子束作用。电压管连接正电位，电压管和阴极之间形成较大的电场，使得钨灯丝电子枪的灯丝尖端表面的具有较高的场强，从而克服空间电荷效应对束流亮度的限制，从而显著地提高束流亮度，进而提升基于钨灯丝作为电子源的扫描电子显微镜的分辨率。电子源的扫描电子显微镜的分辨率。电子源的扫描电子显微镜的分辨率。

【技术实现步骤摘要】
扫描电子显微镜


[0001]本技术涉及显微镜
，尤其涉及一种扫描电子显微镜。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜是用会聚成极细的电子束探针来扫描样品，通过收集电子束与样品相互作用后产生的信号电子，并通过信号采集时序和扫描时序同步，来实现样品的成像的电子光学显微成像设备。扫描电子显微镜工作时，电子束流的能量一般在30kV以下的范围内可调节。其中，3kV以下的低着陆电压条件，是最为重要和广泛应用的工作条件之一。然而，在低着陆电压下，电子束流的亮度、能散带来的色差和衍射像差会限制扫描电子显微镜的成像分辨率。根据发射机制不同，扫描电子显微镜的电子源可以分为热发射电子源和场发射电子源。其中，钨灯丝电子枪是一种热发射电子源，钨灯丝的工作温度在2600K到2800K范围之间。钨灯丝扫描电子显微镜的分辨率瓶颈主要受限于束流亮度和色差等因素。现有的钨灯丝扫描电子显微镜在低着陆电压下的分辨率较低。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种扫描电子显微镜。
[0004]本技术实施方式的扫描电子显微镜包括：
[0005]钨灯丝电子枪本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电子显微镜，其特征在于，包括：钨灯丝电子枪，所述钨灯丝电子枪包括阴极，所述阴极连接负电位，所述负电位为对地负电压；电压管，所述电压管与所述钨灯丝电子枪间隔设置，所述电压管内形成有通道，所述通道供所述钨灯丝电子枪发出的电子束通过，所述电压管连接正电位，所述正电位为对地正电压；磁透镜，所述磁透镜环绕在所述电压管外，用于对所述电子束进行会聚；样品台，所述样品台用于承载样品以使所述样品与所述电子束作用。2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜，其特征在于，所述电压管与所述钨灯丝电子枪均处于真空环境中，所述电压管内形成的通道为真空通道。3.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜，其特征在于，所述正电位的范围为不低于8kV。4.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜，其特征在于，所述负电位的范围为
‑
100V至
‑
30kV。5.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜，其特征在于，沿所述电压管的轴向，所述电压管为连续结构。6.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜，其特征在于，所述磁透镜的数量为多个，所述磁透镜包括第一通电线圈，所述第一通电线圈产生的磁场，能够通过调节电流的大小控制磁场的强弱，所述第一通电线圈环绕所述电压管。7.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜，其特征在于，所述扫描电子显微镜还包括设置在所述样品台和所述磁透镜之间的物镜，所述物镜环绕所述电压管，所述电压管上的远离所述钨灯丝电子枪的一端与所述物镜之间形成有减速场。8.根据权利要求7所述的扫描电子显微镜，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：阴达，张伟，尹朋飞，卢志钢，
申请(专利权)人：国仪量子合肥技术有限公司，
类型：新型
国别省市：