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本实用新型公开了一种扫描电子显微镜,该扫描电子显微镜包括钨灯丝电子枪、电压管、磁透镜和样品台。钨灯丝电子枪包括阴极,阴极连接负电位,负电位为对地负电压;电压管与钨灯丝电子枪间隔设置,电压管内形成有通道,通道供钨灯丝电子枪发出的电子束通过,电...该专利属于国仪量子(合肥)技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过国仪量子(合肥)技术有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种扫描电子显微镜,该扫描电子显微镜包括钨灯丝电子枪、电压管、磁透镜和样品台。钨灯丝电子枪包括阴极,阴极连接负电位,负电位为对地负电压;电压管与钨灯丝电子枪间隔设置,电压管内形成有通道,通道供钨灯丝电子枪发出的电子束通过,电...