【技术实现步骤摘要】
光催化制备四氟化碳的方法
[0001]本专利技术属于化工领域,尤其涉及一种光催化制备四氟化碳的方法。
技术介绍
[0002]甲烷氟化通常是一个常见且易实现的过程,其氟化产物通常包括一氟甲烷(CH3F,甲基氟)、二氟甲烷(CH2F2,HFC
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32)、三氟甲烷(CHF3,氟仿)和四氟甲烷(CF4,全氟甲烷)等,以及其余的杂化副产物,在不同的工艺中容易出现氟化烯类化合物等杂质。
[0003]因而,实际是其氟化过程虽然是易实现的,但对于精准获取目标产物而言,目前并未有一个有效或高效的方法进行实现。
[0004]而四氟甲烷作为甲烷氟化的一种重要产物,其广泛被用于集成电路的等离子蚀刻、激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料以及冷却剂等领域中,具有非常广泛的使用价值。
[0005]现有的四氟甲烷制备工艺通常采用中间体甲烷氟氯化物进行制备,如常见的是二氯二氟甲烷或氯三氟甲烷与氟气进行混合反应制备,也有以碳成分和非碳成分进行置换反应制备,如由一氧化碳或二氧化碳或碳酰氯与四氟化硫进行置换氟化制备 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光催化制备四氟化碳的方法,其特征在于,所述方法包括:1)将TO
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PTC催化剂填充于列管式反应器的反应列管中,所述反应列管为透明材质;2)对列管式反应器进行升温预热至达到反应温度;3)向列管式反应器中通入反应气,控制反应气的流量进行催化氟化反应;所述步骤1)至步骤3)中在任一阶段对列管式反应器施加光照激发TO
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PTC催化剂的光催化活性,并在步骤3)的全部反应过程中保持光照。2.根据权利要求1所述的一种光催化制备四氟化碳的方法,其特征在于,步骤1)所述TO
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PTC催化剂为钛基过氧化钛络合颗粒材料;所述钛基过氧化钛络合颗粒材料微观形貌表现为球形或类球形颗粒状结构,颗粒结构表面生长有绒毛状纳米结构和/或量子点纳米结构。3.根据权利要求1所述的一种光催化制备四氟化碳的方法,其特征在于,步骤2)所述反应温度为160~360 ℃。4.根据权利要求1所述的一种光催化制备四氟化碳的方法,其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄媛玲,周文平,张前臻,
申请(专利权)人:福建省杭氟电子材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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