本发明专利技术公开了用于电子级六氟乙烷制备的废气回收再利用装置，涉及废气回收再利用技术领域，包括主舱体，主舱体为不锈钢材质，且主舱体的外表面设置有隔热层，主舱体的下方焊接有底座，主舱体的上方右侧安装有压力表，主舱体的下方设置有注气旋转吸附机构，利用引风叶轮旋转的同时带动主吸附舱和副吸附舱旋转，而在副吸附舱旋转后便会使其内部存放的活性炭颗粒吸附剂得到充分的搅拌，进而在废气进入到副吸附舱内腔的过程中，副吸附舱内部的活性炭颗粒会不断地进行搅拌，以此提高活性炭颗粒与废气的接触面，并在活性炭颗粒的不断搅拌的情况下，最大限度地保证活性炭颗粒与废气的接触，从而能够提升副吸附舱内部活性炭的利用效率。从而能够提升副吸附舱内部活性炭的利用效率。从而能够提升副吸附舱内部活性炭的利用效率。
【技术实现步骤摘要】
用于电子级六氟乙烷制备的废气回收再利用装置
[0001]本专利技术涉及废气回收再利用
，具体是涉及用于电子级六氟乙烷制备的废气回收再利用装置。
技术介绍
[0002]中国专利“CN112899707B”中公布了一种六氟乙烷的制备方法，其提出：在现有技术制备电子级六氟乙烷气体过程中副产物多，且制备后的六氟乙烷粗品不易提纯的缺陷，于是其提出方法为使用碱金属丙酸盐为原料，氟化氢为氟化试剂，碱金属氟化物为导电介质，使用电解氟化方法制备六氟乙烷，该方法具有原创性、原料无毒、廉价易得、副产物为少量四氟化碳，无其他沸点近似含氯化合物，粗产品易于提纯至电子级。
[0003]由上述所提出的方法可知，虽然上述制备方法提供了一种副产物较少且提纯效果好的电子级六氟乙烷的制备方法，但本申请人认为仍然存有以下的缺陷：
[0004]①
现有制备六氟乙烷的技术以及上述的制备方法中，在制备过程中均无法做到零废气的产生，即在制备六氟乙烷气体的过程中均会伴有废气的产生，从而需要一种能够处理和回收六氟乙烷制备过程中产生废气的装置，而在专利“CN210522115U”中提出了一种废气回收装置，该装置可以对废气中的带有有害的和酸性的气体和物质进行去除和沉淀，可提高工业有机废气处理过程中的燃烧效率和酸碱中和反应效率，而吸附填料对废气中的颗粒进行物理吸附，避免大量的颗粒进入到后续的罐内，同时在药池内设有碱液，便于操作，该废气回收装置使用吸附填料对有毒物质进行物理吸附，但由于吸附填料在使用时，无法很好地保证废气与吸附填料颗粒接触的充分性，从而导致吸附填料的吸附效率和利用率较低，进而导致对废气中的有毒物质的吸附效果较差；
[0005]此外，在专利号为CN103910599B，一种超高纯六氟乙烷的制备方法中，提出：可以用选自3A型分子筛、4A型分子筛、5A型分子筛、NaX型分子筛和活性炭中的一种、两种或三种以上组合的吸附剂脱除六氟乙烷粗品中的杂质，具体可以吸附六氟乙烷废弃物为：CFC
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13、HFC
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23、CFC
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115、HFC
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125、HFC
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143a和HFC
‑
152a，同时在现有名为“搅拌技术对活性炭吸附的影响”的文献中，提出可以通过搅拌吸附颗粒的方式提升吸附效果和效率的结论，但该方法暂没有具体应用在废气回收再利用处理的过程中；
[0006]②
此外，由于现有的废气回收装置中，在对废气中有毒物质吸附后，缺少后续的处理环节，从而可能会影响到后续工作人员对废气进行再利用的工作；
[0007]于是有鉴于此，本专利技术提出一种用于电子级六氟乙烷制备的废气回收再利用装置以弥补和改善现有技术的欠缺之处。
技术实现思路
[0008]为解决上述技术问题，本专利技术提供了用于电子级六氟乙烷制备的废气回收再利用装置，以解决上述
技术介绍
中提出的相应技术问题。
[0009]为达到以上目的，本专利技术采用的技术方案为：用于电子级六氟乙烷制备的废气回
收再利用装置，包括主舱体，所述主舱体为不锈钢材质，以保证主舱体的使用寿命，且主舱体的外表面设置有隔热层，以隔绝主舱体内部吸附过程中放出的热量，所述主舱体的下方焊接有底座，用于支撑主舱体以保证主舱体的稳定性，所述主舱体的上方右侧安装有压力表，其便于工作人员了解主舱体内部的气压数据，所述主舱体的下方设置有注气旋转吸附机构，所述主舱体的上方设置有气液回收机构，所述主舱体右侧方的中部设置有更换组件；
[0010]所述注气旋转吸附机构包括进气管、控制阀、连接口、排气盘、气嘴、引风叶轮、主吸附舱、副吸附舱、舱盖，所述主舱体的底部的中心位置连通有进气管，且进气管的左侧方安装有控制阀，并且控制阀的左侧方连通有连接口，所述进气管的上端延伸至主舱体的内部，所述进气管延伸至主舱体内部的部位连通有排气盘，所述排气盘的上表面均匀设置有气嘴，所述气嘴的正上方设置有引风叶轮，所述引风叶轮转动连接于主舱体的内部，该引风叶轮的底部安装有伺服电机，所述引风叶轮的正上方设置有主吸附舱，所述主吸附舱的内部安装有副吸附舱，所述副吸附舱的内部放置有吸附剂，该吸附剂具体可以为活性炭颗粒，所述副吸附舱的上方螺纹连接有舱盖。
[0011]进一步地，所述排气盘呈圆台形腔体结构，所述排气盘与气嘴互相连通。
[0012]进一步地，所述主吸附舱固定安装于主舱体的左侧方内壁，且主吸附舱呈半圆柱形腔体结构，所述主吸附舱的上下端面均呈网孔状。
[0013]进一步地，所述主吸附舱的内腔形状与副吸附舱的外形相互适配，所述副吸附舱的底面与舱盖的上端面均呈网孔状。
[0014]进一步地，所述气液回收机构包括：密封隔板、单向通阀、隔断板、冷凝管、进水口、分存舱，所述主吸附舱的正上方设置有密封隔板，且密封隔板的左右两侧对称安装有单向通阀，所述密封隔板的上端面中心位置固定连接有隔断板，所述隔断板的右侧方位于主舱体的内壁安装有冷凝管，且冷凝管上端的右侧方延伸至主舱体的外部固定连接有进水口，所述密封隔板的上方呈左右对称安装有两个分存舱，两个所述分存舱均匀主舱体的上方内部相连通，且分存舱与主舱体的连通部位均安装有单向阀，两个所述分存舱的上方均连通有导出管，所述导出管与分存舱的连通部位安装有阀门。
[0015]进一步地，所述密封隔板固定安装于主舱体的内壁，所述密封隔板为隔热材质。
[0016]进一步地，所述隔断板为隔热材质，所述密封隔板通过隔断板在主舱体内部的上方形成左右两个对称的回收单元。
[0017]进一步地，所述更换组件包括：缺口部、弧板、弧板、提把、插块、配合块，所述主舱体的右侧方开设有缺口部，所述缺口部的内部插设有弧板，所述弧板的外径尺寸与缺口部的内径尺寸相互适配，所述弧板的左侧方与副吸附舱呈固定连接，所述副吸附舱的底面中心位置固定连接有插块，且插块的外部套设有配合块，所述配合块的底面固定连接于引风叶轮的上端，所述配合块的上端面固定连接于主吸附舱的底面。
[0018]进一步地，所述缺口部与副吸附舱处在同一水平线上，以供弧板从缺口部处进出，且缺口部的内壁贴合有密封条。
[0019]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0020](1)利用引风叶旋转的同时带动主吸附舱和副吸附舱旋转，而在副吸附舱旋转后便会使其内部存放的活性炭颗粒吸附剂得到充分的搅拌，进而在废气进入到副吸附舱内腔的过程中，副吸附舱内部的活性炭颗粒会不断地进行搅拌，以此提高活性炭颗粒与废气的
接触反应的速率，并在活性炭颗粒的不断搅拌的情况下，最大限度地保证活性炭颗粒与废气的接触，从而能够提升副吸附舱内部活性炭的利用效率，同时提升处理废气的能力；
[0021](2)同时由于排气盘呈圆台形腔体结构，故而随着废气上移能够保证废气充分，且能够较为均匀地进入到副吸附舱的内部，从而保证废气与活性炭颗粒接触面积的均匀性，进而保证活性炭颗粒吸附废气中有毒物质的效率；
[0022](3)此外，电子级六氟乙烷本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.用于电子级六氟乙烷制备的废气回收再利用装置，包括主舱体(1)，其特征在于：所述主舱体(1)为不锈钢材质，且主舱体(1)的外表面设置有隔热层，所述主舱体(1)的下方焊接有底座(11)，所述主舱体(1)的上方右侧安装有压力表(12)，所述主舱体(1)的下方设置有注气旋转吸附机构(2)，所述主舱体(1)的上方设置有气液回收机构(3)，所述主舱体(1)右侧方的中部设置有更换组件(4)；所述注气旋转吸附机构(2)包括进气管(21)、控制阀(22)、连接口(23)、排气盘(24)、气嘴(25)、引风叶轮(26)、主吸附舱(27)、副吸附舱(28)、舱盖(29)，所述主舱体(1)的底部的中心位置连通有进气管(21)，且进气管(21)的左侧方安装有控制阀(22)，并且控制阀(22)的左侧方连通有连接口(23)，所述进气管(21)的上端延伸至主舱体(1)的内部，所述进气管(21)延伸至主舱体(1)内部的部位连通有排气盘(24)，所述排气盘(24)的上表面均匀设置有气嘴(25)，所述气嘴(25)的正上方设置有引风叶轮(26)，所述引风叶轮(26)转动连接于主舱体(1)的内部，所述引风叶轮(26)的正上方设置有主吸附舱(27)，所述主吸附舱(27)的内部安装有副吸附舱(28)，所述副吸附舱(28)的内部放置有吸附剂，所述副吸附舱(28)的上方螺纹连接有舱盖(29)。2.根据权利要求1所述的用于电子级六氟乙烷制备的废气回收再利用装置，其特征在于：所述排气盘(24)呈圆台形腔体结构，所述排气盘(24)与气嘴(25)互相连通。3.根据权利要求1所述的用于电子级六氟乙烷制备的废气回收再利用装置，其特征在于：所述主吸附舱(27)固定安装于主舱体(1)的左侧方内壁，且主吸附舱(27)呈半圆柱形腔体结构，所述主吸附舱(27)的上下端面均呈网孔状。4.根据权利要求3所述的用于电子级六氟乙烷制备的废气回收再利用装置，其特征在于：所述主吸附舱(27)的内腔形状与副吸附舱(28)的外形相互适配，所述副吸附舱(28)的底面与舱盖(29)的上端面均呈网孔状。5.根据权利要求4所述的用于电子级六氟乙烷制备的废气回收再利用装置，其特征在于：所述气液回收机构(3)包括：密封隔板(3...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄煜，吴光炘，罗昊卿，胡进军，
申请(专利权)人：福建省杭氟电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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