【技术实现步骤摘要】
插片机及其插片方法
[0001]本专利技术涉及插片机
，具体涉及一种插片机及其插片方法。
技术介绍
[0002]插片机解决了硅片在清洗前手工装篮的问题，实现了自动分料、自动上料、自动入篮和自动换篮等动作。随着分选机效率的提升，对插片机的效率提升需求越来越迫切。
[0003]相关技术中，插片机进行换篮时，首先，将输送基片(例如硅片)的输送组件停机，然后，机械手升降以将放置在插片位上的、插满基片的满篮取走，之后，机械手再水平移动，使得空篮与插片位对齐；最后，机械手再次升降以将空篮放置在插片位上，完成换篮，输送组件再启动。上述换篮过程中，输送组件的停机时间至少包括机械手升降取满篮的时间、机械手平移使空篮与插片位对齐的时间、机械手升降将空篮放置在插片位上的时间和空篮下降至预备位的时间，输送组件的停机时间较长，导致插片机的工作效率较低。
技术实现思路
[0004]本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
[0005]为此，本专利技术的实施例提出一种插片机，以提高插片机的工作效率...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种插片机，其特征在于，包括：机架，所述机架具有沿第一水平方向布置的第一预存位和第一插片位；第一输送组件，所述第一输送组件设在所述机架上且对应所述第一插片位设置，所述第一输送组件用于沿第二水平方向输送基片，所述第二水平方向与所述第一水平方向相交；第一承载架和第二承载架，所述第一承载架和所述第二承载架沿所述第一水平方向布置且均用于放置篮具；第一升降部件，所述第一承载架和所述第二承载架均与所述第一升降部件连接，以驱动所述第一承载架和所述第二承载架升降；以及第一平移装置，所述第一平移装置设于所述机架，第二升降部件与所述第一平移装置连接，以驱动第一承载架和所述第二承载架在第一预存位和第一插片位之间切换。2.根据权利要求1所述的插片机，其特征在于，所述机架还具有沿所述第一水平方向布置的第二预存位和第二插片位，所述插片机还包括：第二输送组件，所述第二输送组件和所述第一输送组件沿所述第一水平方向间隔设置，所述第二输送组件设于所述机架且对应所述第二插片位设置，所述第二输送组件用于沿第二水平方向输送基片；第三承载架和第四承载架，所述第三承载架和所述第四承载架沿所述第一水平方向布置且均用于放置篮具；第二升降部件，所述第三承载架和所述第四承载架均与所述第二升降部件连接，以驱动所述第三承载架和所述第四承载架升降；以及第二平移装置，所述第二平移装置设于所述机架，所述第二升降部件与所述第二平移装置连接，以驱动所述第三承载架和所述第四承载架在第二预存位和第二插片位之间切换。3.根据权利要求2所述的插片机，其特征在于，所述第一预存位的数量为两个，在所述第一水平方向上，所述第一插片位设于两个所述第一预存位之间；和/或所述第二预存位的数量为两个，在所述第一水平方向上，所述第二插片位设于两个所述第二预存位之间。4.根据权利要求2所述的插片机，其特征在于，所述第一升降部件包括第一升降组件和第二升降组件，所述第一升降组件与所述第一承载架连接以驱动所述第一承载架升降，所述第二升降组件与所述第二承载架连接以驱动所述第二承载架升降；所述第二升降部件包括第三升降组件和第四升降组件，所述第三升降组件与所述第四承载架连接以驱动所述第三承载架升降，所述第四升降组件与所述第四承载架连接以驱动所述第四承载架升降。5.根据权利要求4所述的插片机，其特征在于，所述第一平移装置的数量为一个，所述第一升降组件和所述第二升降组件与同一所述第一平移装置连接；和/或所述第二平移装置的数量为一个，所述第三升降组件和所述第四升降组件与同一所述第二平移装置连接。6.根据权利要求2所述的插片机，其特征在于，所述第一承载架、所述第二承载架、所述第三承载架和所述第四承载架中的至少一个为定位承载架，所述定位承载架上设有定位组
件，所述定位组件用于对放置在所述定位承载架上的篮具进行定位。7.根据权利要求6所述的插片机，其特征在于，所述定位承载架上设有止抵部和顶推件，所述止抵部和所述顶推件沿所述第一水平方向间隔设置，所述顶推...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，李宏，张江水，谢龙辉，景健，王俊，
申请(专利权)人：浙江求是半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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