一种宽幅钼靶材轧制生产线及生产工艺制造技术

一种宽幅钼靶材轧制生产线及生产工艺，该方法在施工现场搭建现场地面拼装胎架，钢桁架桥各梁段从加工厂运输至施工现场，在现场地面拼装胎架上进行钢桁架桥各梁段的焊接、铆接拼装；在地面完成钢桁架桥的拼装后，通过双吊车抬吊的方法完成钢桁架桥在桥墩上的架设；该宽幅钼靶材轧制生产线及生产工艺省去了传统的搭建高空支撑架的施工流程，因此施工周期及施工成本均得到大幅降低，施工安全性也得到大幅提高；同时在地面进行钢桁架桥各梁段的栓接、焊接拼装时，对钢桁架桥梁拼装线性的测量及调整更加方便，使得施工难度得以降低，施工效率和施工质量也得以大幅提高。和施工质量也得以大幅提高。和施工质量也得以大幅提高。

【技术实现步骤摘要】
一种宽幅钼靶材轧制生产线及生产工艺


[0001]本专利技术涉及宽幅钼靶材轧制加工
，具体涉及一种宽幅钼靶材轧制生产线及生产工艺。

技术介绍

[0002]宽幅钼靶材主要应用在平板显示、光伏电池等生产领域，通过真空磁控溅射在玻璃基板或薄膜材料上形成功能薄膜，作为配线或半导体的阻挡层材料；宽幅钼靶材对材料纯度、内部微观晶粒结构等方面都有极其严苛的要求；其中宽幅钼靶材内部的微观晶粒结构主要通过两次加热轧制、并在两次加热轧制间增加纵向、横向间换向，使其内部晶粒均匀破碎并避免产生各向异性，但这种轧制工艺因两次加热轧制的加工量并不相同，因此最终成品的内部微观晶粒结构仍存在各向异性；究其原因，是现有宽幅钼靶材轧制生产线中配置的钼板胚换向装置为液压驱动的升降回转台结构，其升降、回转速度慢，在换向过程中钼板胚会产生较大的降温，而金属钼的塑性变形温度范围窄，因此不允许在一次加热轧制的各道次间进行换向。
[0003]另外，宽幅钼靶材在轧制生产过程中，为保证宽幅钼靶材在整个轧制长度范围内的微观晶粒结构一致，通常在轧制前需要用加热后的钼板胚在轧制生产线上往复进行一次空轧，以实现对轧辊的预热，但这种方式又会使钼板胚的表层温度与芯部温度间产生较大的温差，从而造成宽幅钼靶材成品的表层与芯层的微观晶粒结构的不一致，严重时还会因表层温度过低致使宽幅钼靶材在轧制过程中出现开裂，导致成品率下降而严重影响到企业的经济效益。

技术实现思路

[0004]为了克服
技术介绍
中的不足，本专利技术公开了一种宽幅钼靶材轧制生产线及生产工艺；其中在该宽幅钼靶材轧制生产线中，采用了若干个万向轮结构的转向平台，万向轮由轮毂电机直接驱动，因此转向平台换向速度快，解决了以往宽幅钼靶材轧制换向速度慢所导致的钼板胚降温大的问题，因此可以在一次加热轧制过程中实现多次换向，从而解决了宽幅钼靶材内部晶粒的各向异性问题；另外，在该宽幅钼靶材轧制生产线中，加热炉出料口与进料口之间还通过转向平台、辊道连接，构成了加热炉出料口与进料口之间的闭环输送结构；加热炉在对钼板胚加热时，同时加热有一块预热钢锭，钼板胚在轧制前，通过预热钢锭对辊道和四辊轧机的轧辊进行预热，避免用加热后的钼板胚对轧辊预热所导致的钼板胚表层与芯部存在较大的温差，从而解决了宽幅钼靶材成品表层与芯层的微观晶粒结构不一致的问题；预热后的轧辊在对钼板胚进行第一道次轧制时，还解决了原有的轧辊因温度偏低造成的在整个轧制长度范围内微观晶粒结构不一致问题。
[0005]为了实现所述专利技术目的，本专利技术采用如下技术方案：一种宽幅钼靶材轧制生产线，包括四辊轧机、加热炉、多辊热矫直机、转向平台；加热炉、转向平台、四辊轧机、多辊热矫直机依次通过辊道连接；加热炉出料口与进料口之间还通过转向平台、辊道连接，构成加热炉
出料口与进料口之间的闭环输送结构；同时四辊轧机与多辊热矫直机之间的连接辊道中间也设置有转向平台；转向品台采用若干个阵列设置的万向轮结构，万向轮由轮毂电机直接驱动，因此有极快的换向速度；在进行宽幅钼靶材轧制生产时，加热炉中同时放置有一块钼板胚和一块预热钢锭，预热钢锭放置在加热炉的出料口端；当钼板胚加热到设定温度时，首先通过预热钢锭对辊道和四辊轧机的轧辊进行预热，预热完成后，预热钢锭通过加热炉出料口与进料口之间的闭环输送结构送回加热炉中，钼板胚则进入四辊轧机进行轧制；由于钼板胚轧制前已对辊道和轧辊进行了预热，因此不需要钼板胚再对辊道和轧辊进行预热，保证了钼板胚表层与芯部的温差，从而解决了宽幅钼靶材成品表层与芯层的微观晶粒结构不一致的问题；另外，预热后的轧辊在对钼板胚进行第一道次轧制时，还解决了原来轧辊温度偏低造成的在整个轧制长度范围内微观晶粒结构不一致问题；还有，在钼板胚一次加热多道次往复轧制过程中，因万向轮结构的转向平台具有极高的换向速度，解决了以往宽幅钼靶材轧制换向速度慢所导致的钼板胚降温大的问题，因此可以实现在一次加热轧制过程中多次换向，从而解决了宽幅钼靶材内部晶粒的各向异性问题。
[0006]进一步的，转向平台包括转向平台支架、转向模组；转向模组设有若干个，其阵列设置在转向平台支架顶部；转向模组中呈120
°
阵列设置有三个转向模块；转向模块中设置有由轮毂电机驱动的万向轮；该转向平台采用模块化设计，具有加工简单、装配方便、维护快捷的优点；万向轮由轮毂电机直接驱动、闭环控制，具有转向速度快、控制灵活、转向控制精度高的优点。
[0007]一种基于所述宽幅钼靶材轧制生产线的生产工艺，钼板胚在加热炉中加热时，其前端设置有预热钢锭；钼板胚在轧制前，通过预热钢锭对辊道和四辊轧机的轧辊进行预热，解决了钼板胚对辊道和轧辊预热时，所导致的钼板胚表层与芯部存在较大温差的问题。
[0008]进一步的，辊道和四辊轧机的轧辊预热温度为350℃
‑
400℃；采用预热钢锭对辊道和轧辊进行预热时，由于无需考虑预热钢锭的温降，因此可用预热钢锭在轧制生产线上多次往复进行空轧预热，因此可准确控制辊道和轧辊的预热温度。
[0009]进一步的，钼板胚加热至1380℃
‑
1430℃时，进行一火轧制；一火轧制分为若干道次，每道次轧制完成后均对钼板胚转向90
°
后，再进行下一道次轧制；一火轧制完成后，钼板胚经过加热炉出料口与进料口之间的转向平台、辊道进入加热炉进行二次加热，钼板胚二次加热温度至1380℃
‑
1430℃时，进行二火轧制；二火轧制分为若干道次，每道次轧制完成后均对钼板胚转向90
°
后，再进行下一道次轧制。
[0010]进一步的，钼板胚轧制完成后，保持四辊轧机终轧时的辊隙，钼板胚最后通过四辊轧机进行一次整平，因此可省去原有轧制生产线的压平机，改善宽幅钼靶材轧制生产线的设备成本。
[0011]进一步的，钼板胚在轧制过程中，预热钢锭返回加热炉进行加热保温。
[0012]由于采用如上所述的技术方案，本专利技术具有如下有益效果：本专利技术公开的一种宽幅钼靶材轧制生产线及生产工艺，其中在该宽幅钼靶材轧制生产线中，采用了若干个万向轮结构的转向平台，万向轮由轮毂电机直接驱动，因此转向平台换向速度快，解决了以往宽幅钼靶材轧制换向速度慢所导致的钼板胚降温大的问题，因此可以在一次加热轧制过程中实现多次换向，从而解决了宽幅钼靶材内部晶粒的各向异性问题；另外，在该宽幅钼靶材轧制生产线中，加热炉出料口与进料口之间还通过转向平台、辊道连接，构成了加热炉出料口
与进料口之间的闭环输送结构；加热炉在对钼板胚加热时，同时加热有一块预热钢锭，钼板胚在轧制前，通过预热钢锭对辊道和四辊轧机的轧辊进行预热，避免用加热后的钼板胚对轧辊预热所导致的钼板胚表层与芯部存在较大的温差，从而解决了宽幅钼靶材成品表层与芯层的微观晶粒结构不一致的问题；预热后的轧辊在对钼板胚进行第一道次轧制时，还解决了原有的轧辊因温度偏低造成的在整个轧制长度范围内微观晶粒结构不一致问题。
附图说明
[0013]图1为宽幅钼靶材轧制生产线布置示意图；图2为转向平台外观示意图；图3为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种宽幅钼靶材轧制生产线，包括四辊轧机（1）、加热炉（2）、多辊热矫直机（3）、转向平台（4）；加热炉（2）、转向平台（4）、四辊轧机（1）、多辊热矫直机（3）依次通过辊道（5）连接；其特征是：加热炉（2）出料口与进料口之间还通过转向平台（4）、辊道（5）连接；四辊轧机（1）与多辊热矫直机（3）之间的连接辊道（5）中间设置有转向平台（4）。2.根据权利要求1所述宽幅钼靶材轧制生产线，其特征是：转向平台（4）包括转向平台支架（4.1）、转向模组（4.2）；转向模组（4.2）设有若干个，其阵列设置在转向平台支架（4.1）顶部；转向模组（4.2）中呈120
°
阵列设置有三个转向模块（4.2.2）；转向模块（4.2.2）中设置有由轮毂电机（4.2.2.2.1）驱动的万向轮（4.2.2.2.3）。3.一种基于权利要求1的宽幅钼靶材轧制生产工艺，其特征是：钼板胚（...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓德翼，邓锐，王德建，单鹏，黄飞虎，赵庆利，
申请(专利权)人：洛阳汇晶新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：