【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】隧道结的p
‑
型层的激活
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]根据35 U.S.C.Section 119(e),本申请要求以下待审和共同受让的申请的权益:
[0003]美国临时申请序列No.63/064,113,由Panpan Li,Hongjian Li,Michael Iza,Shuji Nakamura和Steven P.DenBaars于2020年8月11日提交,标题为“ACTIVATION OF P
‑
TYPE LAYERS OF TUNNEL JUNCTIONS”,律师案卷号G&C 30794.0782USP1(UC 2021
‑
551
‑
1);
[0004]该申请通过引用并入本文中。
技术介绍
1.
[0005]本专利技术涉及制造具有通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)生长的外延隧道结(junction)的微尺寸发光二极管(μLED)的方法。
[0006]2.相关技术的描述
[0007](注:本申请引用了许多不同的出版物,如贯穿说明书通过中括号(bracket)中的一个或多个参考号例如[x]所示。根据这些参考号排序的这些不同出版物的列表可在下文标题为“参考文献”的部分中找到。这些出版物中的每一个均通过引用并入本文中。)
[0008]当前商用的III
‑
氮化物发光二极管(LED)和激光二极管(LD)利用n
‑
型区域、产生光的有源区域(a ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.方法,该方法包括:制造III
‑
氮化物发光二极管(LED)结构,其中:所述III
‑
氮化物LED结构包括至少一个隧道结(TJ),所述隧道结包括p
‑
型III
‑
氮化物层;n
‑
型III
‑
氮化物隧道结层;和在所述p
‑
型III
‑
氮化物层和所述n
‑
型III
‑
氮化物隧道结层之间的In
x
Al
y
Ga
z
N插入层,其中0<x≤1,0≤y<1,0≤z≤1,且x+y+z=1。2.权利要求1所述的方法,其中所述p
‑
型III
‑
氮化物层和所述n
‑
型III
‑
氮化物隧道结层包括GaN,并且所述In
x
Al
y
Ga
z
N插入层具有比所述GaN更低的能量带隙。3.权利要求1所述的方法,其中通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)生长所述In
x
Al
y
Ga
z
N插入层和所述n
‑
型III
‑
氮化物隧道结层。4.权利要求1所述的方法,其中所述In
x
Al
y
Ga
z
N插入层为n
‑
型掺杂的,具有>1x 10
19
cm
‑3的供体浓度。5.权利要求4所述的方法,其中所述供体为硅(Si)或锗(Ge)。6.权利要求1所述的方法,其中所述In
x
Al
y
Ga
z
N插入层为p
‑
型掺杂的,具有>1x 10
19
cm
‑3的供体浓度。7.权利要求6所述的方法,其中所述供体为镁(Mg)或锌(Zn)。8.权利要求1所述的方法,其中通过使氢通过所述n
‑
型III
‑
氮化物隧道结层中的接入点或通过台面的侧壁除去来激活所述p
‑
型III
‑
氮化物层。9.权利要求8所述的方法,其中通过热退火来激活所述p
‑
型III
‑
氮化物层。10.权利要求8所述的方法,其中使用选择性区域生长(SAG)或外延横向过度生长(ELOG)来制备所述n
‑
型III
‑
氮化物隧道结层中的接入点。11.权利要求8所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:P,
申请(专利权)人:加利福尼亚大学董事会,
类型:发明
国别省市:
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