一种铜箔及其制备方法和应用技术

技术编号:37703125 阅读:19 留言:0更新日期:2023-06-01 23:50
本申请公开了一种铜箔及其制备方法和应用,属于纳米结构金属材料工程技术领域。一种铜箔,所述铜箔的晶粒内部包括纳米孪晶组织;所述纳米孪晶组织包括相互平行的孪晶片层和/或相互交截的孪晶片层。该铜箔具有常温下稳定、优异的力学性能和物理性能。所述性能稳定是指,生箔经过烘烤(150℃,10min)处理或者常温下储存7天后,力学性能的衰减比例低于10%。该方法是直流电解沉积铜箔方法的改进,通过改变输出电流的波动幅度来影响铜的沉积过程,最后获得具有晶胞细腻、组织均匀细小、晶内孪晶片层互相交截的高密度纳米孪晶电解铜箔。片层互相交截的高密度纳米孪晶电解铜箔。片层互相交截的高密度纳米孪晶电解铜箔。

【技术实现步骤摘要】
一种铜箔及其制备方法和应用


[0001]本申请涉及一种铜箔及其制备方法和应用,属于纳米结构金属材料工程


技术介绍

[0002]电解铜箔的力学性能是制约其“极薄化”发展的一大瓶颈。传统的细晶强化理论认为强度和塑性不能兼顾,而纳米孪晶组织强化是一种新的强化手段。一方面,利用位错和孪晶界的有效交互作用,能够同时提高电解铜箔的强度、塑性。另一方面,由于孪晶界具有较弱的电子散射能力,即更低的电阻,因此能保持高的导电率。研究表明,降低孪晶片层厚度至纳米级别来提高孪晶密度,能有效提高强度、塑性以及导电性。
[0003]现有技术中关于制备具有纳米孪晶组织的铜箔,包括脉冲电解沉积以及直流沉积方法。卢磊等制备出具有强(111)取向的铜箔组织,纳米孪晶片层沿着(111)方向在纵向生长的柱状晶内部堆叠,将亚微米级的晶粒分割成厚度上呈纳米量级的孪晶/基体片层状结构,能够显著提高铜箔的抗拉强度。但是,单一方向生长的孪晶结构调控困难,对沉积厚度、沉积时间、基底的表面晶粒取向等有严格的要求。在极薄铜箔的应用上,该组织的优势减弱,因为铜箔厚度方向尺寸大大减小,本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种铜箔,其特征在于,所述铜箔的晶粒内部包括纳米孪晶组织;所述纳米孪晶组织包括相互平行的孪晶片层和/或相互交截的孪晶片层。2.根据权利要求1所述的铜箔,其特征在于,所述铜箔的厚度为3μm~100μm;优先地,所述铜箔的厚度为4μm~6μm;优先地,所述晶粒的尺寸为0.5μm~5μm;优先地,所述晶粒的取向随机/特定分布;优先地,相互交截的孪晶片层之间的夹角为45
°
~90
°
;优先地,孪晶片层的厚度为10nm~500nm;优先地,孪晶片层的间距为10nm~500nm。3.根据权利要求1所述的铜箔,其特征在于,含纳米孪晶组织的晶粒占全部晶粒组织的50%~80%;优先地,所述纳米孪晶组织中的孪晶界占全部晶界的比例为80%~90%。4.一种铜箔的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:将含有铜源的镀液,电化学反应得到所述铜箔;电化学反应中所用的输出电流为直流;所述直流在平均电流附近具有周期规律的微小波动。5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述铜源为二价铜盐;优选地,所述二价铜盐选自硫酸铜、氯化铜、甲基磺酸铜中的至少一种;优选地,所述镀液含有硫酸、氯离子、水;优选地,Cu
2+
在所述镀液中的浓度是80g/L~100g/L;优选地,当所述铜源为硫酸铜时,所述铜源在所述镀液中的...

【专利技术属性】
技术研发人员:盛银莹单大勇
申请(专利权)人:广东腐蚀科学与技术创新研究院
类型:发明
国别省市:

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