一种晶圆搬运机器人的测试系统技术方案

本发明专利技术公开了一种晶圆搬运机器人的测试系统，包括搬运机器人和晶圆测试台架，所述晶圆测试台架包括位于台面上相对设置的两个支撑组件，所述支撑组件连接驱动件，所述驱动件能够带动支撑组件朝着远离或者靠近彼此的方向移动；所述支撑组件包括堆叠且间隙设置的支撑板，所述支撑板用于承载晶圆的边缘。本发明专利技术提供的一种晶圆搬运机器人的测试系统，能够兼容不同尺寸和型号的晶圆搬运，进而实现搬运机器人中不同种类末端执行器的开发测试，以提高搬运机器人的测试效率和测试兼容性。搬运机器人的测试效率和测试兼容性。搬运机器人的测试效率和测试兼容性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆搬运机器人的测试系统


[0001]本专利技术涉及晶圆测试搬运领域，尤其涉及一种晶圆搬运机器人的测试系统。

技术介绍

[0002]随着高端集成电路晶圆制造的迅猛发展，晶圆搬运机器人在晶圆的制造过程中发挥了越来越重要的作用，机器人搬运的精确度和准确度的要求也越来越高。新设备在投入前都需要大量试验数据的验证支撑，市场上目前没有专门对应机器人测试的设备，不同尺寸的晶圆，不同的晶圆间隔，不同的取放片数，多变化的场景等多变化的因素，基于此背景设计了适应多场景的搬运机器人的多功能测试台架。
[0003]目前晶圆搬运机器人设备的模拟验证大多采用FOUP盒和自治单一治具来进行，针对不同型号和尺寸的晶圆，需要设置对应的放置台架，或者需要在台架上设置对应的晶圆放置盒，当对晶圆搬运机器人测试的时候，需要频繁更换台架或者晶圆放置盒，不利于测试效率的提升；同时现有的测试台架无法对晶圆搬运机器人的偏移量进行测试，无法准确评估晶圆搬运机器人的性能。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆搬运机器人的测试系统，包括搬运机器人和晶圆测试台架，其特征在于，所述晶圆测试台架包括位于台面上相对设置的两个支撑组件，所述支撑组件连接驱动件，所述驱动件能够带动支撑组件朝着远离或者靠近彼此的方向移动；所述支撑组件包括堆叠且间隙设置的支撑板，所述支撑板用于承载晶圆的边缘。2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运机器人的测试系统，其特征在于，所述驱动件包括直线电机和拖链，所述支撑组件固定在所述拖链的末端，同时，所述拖链的末端固定连接所述直线电机的输出端。3.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运机器人的测试系统，其特征在于，所述支撑组件还包括固定板，所述支撑板和固定板堆叠且间隔设置，所述固定板位于所述支撑板的上方；所述支撑板在水平方向上的截面面积大于所述固定板在水平方向上的截面面积。4.根据权利要求3所述的一种晶圆搬运机器人的测试系统，其特征在于，所述固定板靠近晶圆的一侧设置有与晶圆边缘相适配的弧形缺口。5.根据权利要求4所述的一种晶圆搬运机器...

【专利技术属性】
技术研发人员：周伟强，武一鸣，杨琦，刘恩龙，曲泉铀，张平，王贺明，中岛隆志，川辺哲也，张菊，贾豪，李家璇，苗义，朱骏驰，王晨旭，张文磊，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：发明
国别省市：