下载一种晶圆搬运机器人的测试系统的技术资料

文档序号:37678723

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本发明公开了一种晶圆搬运机器人的测试系统,包括搬运机器人和晶圆测试台架,所述晶圆测试台架包括位于台面上相对设置的两个支撑组件,所述支撑组件连接驱动件,所述驱动件能够带动支撑组件朝着远离或者靠近彼此的方向移动;所述支撑组件包括堆叠且间隙设置的...
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