专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
上海广川科技有限公司
>
一种晶圆搬运机器人的测试系统技术方案
>技术资料下载
下载一种晶圆搬运机器人的测试系统的技术资料
文档序号:37678723
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种晶圆搬运机器人的测试系统,包括搬运机器人和晶圆测试台架,所述晶圆测试台架包括位于台面上相对设置的两个支撑组件,所述支撑组件连接驱动件,所述驱动件能够带动支撑组件朝着远离或者靠近彼此的方向移动;所述支撑组件包括堆叠且间隙设置的...
该专利属于上海广川科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海广川科技有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。