一种位移量检测装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种位移量检测装置及其使用方法，包括激光发射器，用于发射激光光束，提供频率相同、振动方向一致的相同光源；球面反射镜与待测设备呈二自由度连接，用于反射所述激光发射器发射的光束；支撑平台用于承载所述球面反射镜，使所述球面反射镜在水平面内移动；PSD位置传感器用于接收所述球面反射镜反射的光束。本发明专利技术基于光杠杆原理进行信号放大处理的高精度位移检测装置，通过记录PSD位置传感器上的光点移动，能够还原待测设备在水平面上的位移情况。不受温度和电磁环境影响的优点，适合恶劣环境中如火焰、侵蚀性流体内，可以在高电压、强电磁、高温高热等场景下进行位移量的高精度测量。量的高精度测量。量的高精度测量。

【技术实现步骤摘要】
一种位移量检测装置及其使用方法


[0001]本专利技术涉及位移检测
，尤其是涉及一种位移量检测装置及其使用方法。

技术介绍

[0002]现有技术中，高精度位移量检测一般采用高精度传感器进行量测，这些高精度传感器设备难以完成对一个监测对象在水平方向的两个位移矢量的测量，容易受到待测设备垂直方向振动的影响，而且这些高精度传感器设备受温度和电磁环境影响，不适合恶劣环境中如火焰、侵蚀性流体内使用，难以在高电压、强电磁、高温高热等场景开展接触式测量部件位移量的高精度测量。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种位移量检测装置及其使用方法，不受待测设备垂直方向振动的影响，能够还原待测设备在水平面上的位移情况，不受温度和电磁环境影响。
[0004]根据本专利技术的一个目的，本专利技术提供一种位移量检测装置，包括：
[0005]激光发射器，用于发射激光光束；
[0006]提供频率相同、振动方向一致的相同光源；
[0007]球面反射镜，与待测设备呈二自由度连接，用于反射所述激光发射器发射的光束本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种位移量检测装置，其特征在于，包括：激光发射器，用于发射激光光束；提供频率相同、振动方向一致的相同光源；球面反射镜，与待测设备呈二自由度连接，用于反射所述激光发射器发射的光束；支撑平台，用于承载所述球面反射镜，使所述球面反射镜在水平面内移动；PSD位置传感器，用于接收所述球面反射镜反射的光束。2.根据权利要求1所述的位移量检测装置，其特征在于，所述激光发射器可发射频率相同、振动方向一致的相同光源。3.根据权利要求1所述的位移量检测装置，其特征在于，所述球面反射镜作为光杠杆设备，所述球面反射镜呈半球型。4.根据权利要求1所述的位移量检测装置，其特征在于，所述球面反射镜通过连接导杆与所述待测设备连接。5.根据权利要求1所述的位移量检测装置，其特征在于，所述球面反射镜可在静止的所述支撑平台上随所述待测设备在水平面上X、Y方向同步位移，但不可垂直上下移动。6.根据权利要求1所述的位移量检测装置，其特征在于，所述PSD位置传感器与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾广学，张晓亮，任慧琴，孔繁杰，李松强，
申请(专利权)人：北京风行致远科技有限公司，
类型：发明
国别省市：