一种激光反射式加速度传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种激光反射式加速度传感器，包括测量主机和可固定在被测物上的标靶装置，所述测量主机固定在三坐标可调执行机构上，所述测量主机包括测量光路，所述测量光路包括参考光束和测量光束，所述测量光束经所述标靶装置反射后汇入所述测量光路。本发明专利技术基于多普勒频移效应进行差频干涉测量加速度，通过记录干涉条纹的移动量还原振动加速度矢量。具有感知加速度及振动频率快、不受温度和电磁环境影响的优点，适合恶劣环境中如火焰、侵蚀性流体内，高电压、强电磁、高温高热、旋转工况等场景下难以开展接触式测量的部件振动加速度测量。测量。测量。

【技术实现步骤摘要】
一种激光反射式加速度传感器


[0001]本专利技术涉及加速度测量
，尤其是涉及一种激光反射式加速度传感器。

技术介绍

[0002]加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器，常见的加速度传感器多为压电陶瓷等电类结构来实现，虽然技术成熟，相对成本低廉，但是具有灵敏度低，温度适应范围有限，并且对电磁干扰难以屏蔽等诸多不足之处。随着激光传感器的发展，激光传感器成为现代传感测量领域的非常重要的一部分，其相对于传统的电类传感器具有非常明显的优势：测量精度、灵敏度高，不受电磁干扰，适应温度范围大，结构轻便，易于组网等。在众多领域已经取代传统的电类传感器，并且具有更广泛的应用前景。
[0003]但是现有的监测加速度传感器不能实现X、Y、Z三方向加速度矢量的测量，感知加速度及振动频率慢，同时受温度和电磁环境影响，不适合在恶劣环境中如火焰、侵蚀性流体内、在高压电、强电磁、高温高热、旋转工况等场景下进行部件振动加速度测量。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种激光反射式加速度传感器，可以实现X、Y、Z三方向加速度矢量的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光反射式加速度传感器，其特征在于，包括测量主机和可固定在被测物上的标靶装置，所述测量主机固定在三坐标可调执行机构上，所述测量主机包括测量光路，所述测量光路包括参考光束和测量光束，所述测量光束经所述标靶装置反射后汇入所述测量光路。2.根据权利要求1所述的激光反射式加速度传感器，其特征在于，所述测量光路包括激光发射器、分光镜、参考光路反光镜和光电管，所述激光发射器发射的光束经过所述分光镜分为所述参考光束和所述测量光束，所述测量光束经所述标靶装置反射后，在所述分光镜的作用下，所述测量光束与所述参考光束一起汇入所述光电管换为电信号。3.根据权利要求1所述的激光反射式加速度传感器，其特征在于，所述测量主机包括一个或多个所述测量光路。4.根据权利要求2所述的激光反射式加速度传感器，其特征在于，所述激光发射器、所述分光镜、所述参考光路反光镜和所述光电管集成安装在所述三坐标可调...

【专利技术属性】
技术研发人员：张光军，李雪峰，田蕴卿，甄志红，李松强，
申请(专利权)人：北京风行致远科技有限公司，
类型：发明
国别省市：