提高法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片模态分离比的结构制造技术

本发明专利技术涉及微机电系统技术领域，尤其涉及一种提高法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片模态分离比的结构，包括固定镜面、可动镜面和支承座，所述可动镜面包括MEMS弹簧质量结构和第二光学薄膜；所述MEMS弹簧质量结构包括双层支撑梁结构、MEMS质量块和固定框架，所述双层支撑梁结构呈全对称设置；所述第二光学薄膜设置于MEMS质量块上。本发明专利技术能明显的提高芯片面外扭转模态频率和面外振动模态频率的比值，可显著抑制非敏感轴方向加速度信号作用下MEMS质量块面外扭转造成的交叉灵敏度以及对传感器灵敏度和量程的影响，保证了法布里珀罗腔固定镜面和可动镜面的平行度，也解决了测量过程中模态相互干扰的问题。态相互干扰的问题。态相互干扰的问题。

【技术实现步骤摘要】
提高法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片模态分离比的结构


[0001]本专利技术涉及微机电系统
，具体为一种提高法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片模态分离比的结构。

技术介绍

[0002]加速度传感器可实现加速度、速度、位置的测量，是汽车安全、地震检测、惯性导航等应用领域的关键部件。近些年，由于微纳制造技术的飞速发展以及该技术可大批量生产、价格低廉、良率高等固有优势，具有精度高、体积小、功耗低等优点的MEMS加速度传感器正在逐步占据传统的加速度传感器的市场，成为了加速度传感器的一大类。随着人们对MEMS加速度传感器性能要求的进一步提高，人们将光学检测技术和MEMS结构集成于一体形成光学MEMS加速度传感器，该种加速度传感器具有很高的灵敏度和检测精度，同时具有抗电磁干扰等优点。
[0003]在现在的工业应用中，实用化的光学MEMS加速度传感器大多是光纤MEMS加速度传感器，其特点是光纤作为导光介质与MEMS结构相结合。但是该种类型的光学MEMS加速度传感器灵敏度较低，并且其光源体积较大，不符合传感器微型化、集成化的方向。集成式光学MEMS本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提高法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片模态分离比的结构，其特征在于，包括固定镜面(1)、可动镜面(2)和支承座(3)，所述可动镜面(2)悬空设置于固定镜面(1)和支承座(3)之间，所述可动镜面(2)、固定镜面(1)共同形成法布里珀罗腔体(10)；所述固定镜面(1)包括透光固体平板(8)和第一光学薄膜(6)，所述可动镜面(2)包括MEMS弹簧质量结构(12)和第二光学薄膜(11)，所述第二光学薄膜(11)设置于MEMS弹簧质量结构(12)靠近第一光学薄膜(6)的一侧；所述MEMS弹簧质量结构(12)包括双层支撑梁结构(5)、MEMS质量块(7)和固定框架(4)，所述MEMS质量块(7)通过双层支撑梁结构(5)与固定框架(4)连接，所述双层支撑梁结构(5)呈全对称设置；所述第二光学薄膜(11)设置于MEMS质量块(7)上。2.根据权利要求1所述的提高法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片模态分离比的结构，其特征在于，所述透光固体平板(8)靠近可动镜面(2)的一侧设有第一凹槽(9)，所述第一凹槽(13)用于给MEMS弹簧质量结构(12)提供移动空间。3.根据权利要求2所述的提高法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片模态分离比的结构，其特征在于，所述第一光学薄膜(6)设置于第一凹槽(9)底壁上。4.根据权利要求1所述的提高法布里珀罗MEMS...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦学勇，李博，赵明辉，齐永宏，蒋庄德，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：