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一种位移量检测装置及其使用方法制造方法及图纸
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文档序号:37678524
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本发明提供了一种位移量检测装置及其使用方法,包括激光发射器,用于发射激光光束,提供频率相同、振动方向一致的相同光源;球面反射镜与待测设备呈二自由度连接,用于反射所述激光发射器发射的光束;支撑平台用于承载所述球面反射镜,使所述球面反射镜在水平...
该专利属于北京风行致远科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京风行致远科技有限公司授权不得商用。
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