一种可循环利用的混合磨料抛光膜的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种可循环利用的混合磨料抛光膜的制备方法，包括如下步骤：(1)将热塑性弹性体TPE加热至熔融状态，获得熔融态TPE；(2)将微米级硬质磨料与微米级稀土磨料混合均匀，制成混合磨料；(3)将混合磨料与熔融态TPE混合均匀；(4)将步骤(3)所得的物料进行挤出流延成型，即得所述混合磨料抛光膜。本发明专利技术制备的混合磨料抛光膜的应用范围广，普遍适用于陶瓷基材抛光、平坦石材表面抛光、半导体晶圆抛光以及大尺寸平面的精密加工，在有破损的情况下，可通过简单的加热至熔融状态后，再次经过挤出流延的方法再次成型，大大降低了制备成本。大大降低了制备成本。大大降低了制备成本。

【技术实现步骤摘要】
一种可循环利用的混合磨料抛光膜的制备方法


[0001]本专利技术属于超精密加工工具
，具体涉及一种可循环利用的混合磨料抛光膜的制备方法。

技术介绍

[0002]目前在超精密加工领域，尤其是抛光加工。化学机械抛光作为目前抛光加工主流方法，在抛光液中加入不同的化学试剂，通过磨粒与工件在化学试剂环境下产生部分化学反应，减小其表面硬度，可以提高加工表面质量，也能提高加工效率。在磨料的使用方面，有游离磨料抛光和固结磨料抛光两种。运用固结磨料抛光可以获得较好的表面质量，但是会产生划痕、对工具损坏严重等问题。而游离磨料因无法控制磨粒的轨迹，因此具有加工效率低，加工效果差的缺点。目前很多加工方法都是将高硬度磨料以固结的方式加在抛光膜中，再制作微米级稀土磨料的浆料，与各种化学试剂按比例混合制成抛光液，过程较为繁琐，同时不易储存。而微米级稀土磨料单独作为抛光磨料使用时，不论是使用固结法将磨料加在抛光膜中，还是制成游离态的浆料形式，加工效果都较差，无法达到目前对于晶片的表面加工做到无划痕、无表面缺陷的要求。同时，固结磨料的抛光膜在使用过后，会出现高分子材料与磨本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可循环利用的混合磨料抛光膜的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：(1)将热塑性弹性体TPE加热至熔融状态，获得熔融态TPE；(2)将微米级硬质磨料与微米级稀土磨料混合均匀，制成混合磨料，微米级硬质磨料的粒径大于微米级稀土磨料的粒径；(3)将混合磨料与熔融态TPE以20
‑
40wt％：60
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80wt％的比例混合均匀；(4)将步骤(3)所得的物料进行挤出流延成型，即得所述混合磨料抛光膜。2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述热塑性弹性体TPE包括苯乙烯类TPE、烯烃类TPE、二烯类TPE、氯乙烯类TPE和聚氨酯类TPE中的至少一种。3.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于：所述热塑性弹性体TPE为聚氨酯类TPE或烯烃类TPE。4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述微米级硬质...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆静，刘首麟，徐胜通，王嘉炜，柯聪明，罗求发，
申请(专利权)人：华侨大学，
类型：发明
国别省市：