一种微泄漏检测装置及检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种微泄漏检测装置及检测方法，检测装置包括壳体、绝压传感器、微差压传感器和主电路板，所述壳体内部设置有压力腔，所述壳体的一端设置有连通压力腔的引压口；所述绝压传感器和微差压传感器均位于所述压力腔内，所述微差压传感器的负压端与所述压力腔相连通，所述微差压传感器的正压端连接有开关模块，用于实现正压端与压力腔的连通与隔绝；所述绝压传感器和微差压传感器均与主电路板电气相连。本发明专利技术可以排除温度不一致导致气压变化的不一致，保证测量精度，同时适用性广且自动化程度高。自动化程度高。自动化程度高。

【技术实现步骤摘要】
一种微泄漏检测装置及检测方法


[0001]本专利技术主要涉及压力测量
，具体涉及一种微泄漏检测装置及检测方法。

技术介绍

[0002]微泄漏检测的压力传感器测量的压力范围在
±
133Pa，压力较小，必须使用量程较小的压力芯片。对于大压力腔体的泄漏，使用压力参考腔进行差压的测量是一种很好的方法。
[0003]已有的测量方案可能有：同样采用微差压法进行测量，微差压传感器一端接事先封装好的参考压力，另外一端连接被测管道的压力。现有的微差压检漏方法，压力参考腔一般提前制作好，封装一个固定的压力，如600KPa，这个压力受温度影响较大，不同温度下封装同样的600kpa压力，温度在
‑
20℃～60℃波动时，参考腔内的压力受温度的变化和被测气体压力受温度的变化不同步，导致微差压有额外的输出，容易出现误判。由于差压变化不可知，差压波动可能较大(如参考腔在35度下进行封装，测试时在20度下测试，由于管道内和参考腔的气体常数不相同，导致差压波动大)，微差压传感器的量程无法做的更小，只能是100KPa左右，不利于微泄本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微泄漏检测装置，其特征在于，包括壳体、绝压传感器(5)、微差压传感器(13)和主电路板(8)，所述壳体内部设置有压力腔(2)，所述壳体的一端设置有连通压力腔(2)的引压口(17)；所述绝压传感器(5)和微差压传感器(13)均位于所述压力腔(2)内，所述微差压传感器(13)的负压端(20)与所述压力腔(2)相连通，所述微差压传感器(13)的正压端(19)连接有开关模块(15)，用于实现正压端(19)与压力腔(2)的连通与隔绝；所述绝压传感器(5)和微差压传感器(13)均与主电路板(8)电气相连。2.根据权利要求1所述的微泄漏检测装置，其特征在于，所述壳体内密封设置有接线板(6)，以使得壳体于引压口(17)的一端与接线板(6)一侧之间形成压力腔(2)，所述主电路板(8)则安装于接线板(6)另一侧的壳体内部；所述接线板(6)上烧结有可伐合金引针，所述绝压传感器(5)、微差压传感器(13)和开关模块(15)均通过接线板(6)上的可伐合金引针与所述主电路板(8)电气相连。3.根据权利要求2所述的微泄漏检测装置，其特征在于，所述壳体的另一端设置有顶盖(9)，所述顶盖(9)上安装有电连接器(10)，所述电连接器(10)与所述主电路板(8)电气相连。4.根据权利要求1或2或3所述的微泄漏检测装置，其特征在于，所述绝压传感器(5)和微差压传感器(13)均通过固定架(4)安装于压力腔(2)内，所述固定架(4)呈“十”字状，悬浮安装于壳体的内壁上。5.根据权利要求4所述的微泄漏检测装置，其特征在于，所述绝压传感器(5)和微差压传感器(13)与固定架(4)之间均设置有垫片(14)。6.根据权利要求1或2或...

【专利技术属性】
技术研发人员：金忠，蒋超，何峰，李松辉，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：发明
国别省市：