下载一种微泄漏检测装置及检测方法的技术资料

文档序号:37669007

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本发明公开了一种微泄漏检测装置及检测方法,检测装置包括壳体、绝压传感器、微差压传感器和主电路板,所述壳体内部设置有压力腔,所述壳体的一端设置有连通压力腔的引压口;所述绝压传感器和微差压传感器均位于所述压力腔内,所述微差压传感器的负压端与所述...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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