一种划片机制造技术

技术编号:37646985 阅读:35 留言:0更新日期:2023-05-25 10:14
本申请涉及一种划片机,包括壳体以及设于壳体内的底座、电机和电器件;底座的侧边朝向壳体内壁伸出设有第一伸出端,第一伸出端的端部设有接线盒,接线盒分别通过连接线与电机及电器件连接,且连接线贴合于壳体的内壁布置。划片机壳体内部各电器件之间的连接线路规整,便于安装和维修操作。便于安装和维修操作。便于安装和维修操作。

【技术实现步骤摘要】
一种划片机


[0001]本申请涉及半导体加工设备
,具体涉及一种划片机。

技术介绍

[0002]半导体晶圆的正面具有相互交叉的多条切割道,多条切割道所划分的各区域内形成器件,采用划片机沿着切割道对晶圆切割,即可得到各个器件。
[0003]划片机内由于电器件较多,各电器件之间通过连接线连接,导致划片机内部连接线路繁杂,对安装和维修造成不便。
[0004]因此,如何简化划片机内各电器件之间的连接线路,便于安装和维修操作,是本领域技术人员所需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]本申请的目的是提供一种划片机,使得划片机壳体内部各电器件之间的连接线路规整,便于安装和维修操作。
[0006]为解决上述技术问题,本申请提供一种划片机,包括壳体以及设于所述壳体内的底座、电机和电器件;所述底座的侧边朝向所述壳体内壁伸出设有第一伸出端,所述第一伸出端的端部设有接线盒,所述接线盒分别通过连接线与所述电机及所述电器件连接,且所述连接线贴合于所述壳体的内壁布置。
[0007]第一伸出端设置在底座的侧边,并靠近壳本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种划片机,其特征在于,包括壳体以及设于所述壳体内的底座(1)、电机(2)和电器件;所述底座(1)的侧边朝向所述壳体内壁伸出设有第一伸出端(11),所述第一伸出端(11)的端部设有接线盒(3),所述接线盒(3)分别通过连接线与所述电机(2)及所述电器件连接,且所述连接线贴合于所述壳体的内壁布置。2.根据权利要求1所述的划片机,其特征在于,所述接线盒(3)为防水型接线盒。3.根据权利要求1所述的划片机,其特征在于,所述底座(1)的上端面设有立柱安装凸台(16)和导轨安装凸台(17),所述立柱安装凸台(16)和所述导轨安装凸台(17)分别设有安装孔(18)。4.根据权利要求3所述的划片机,其特征在于,所述底座(1)的侧边还向外伸出设有第二伸出端(12)和第三伸出端(13),所述第二伸出端(12)和所述第三伸出端(13)分...

【专利技术属性】
技术研发人员:李昌坤嵇国兴
申请(专利权)人:苏州镁伽科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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