一种划片机制造技术

本申请涉及一种划片机，包括壳体以及设于壳体内的底座、电机和电器件；底座的侧边朝向壳体内壁伸出设有第一伸出端，第一伸出端的端部设有接线盒，接线盒分别通过连接线与电机及电器件连接，且连接线贴合于壳体的内壁布置。划片机壳体内部各电器件之间的连接线路规整，便于安装和维修操作。便于安装和维修操作。便于安装和维修操作。

【技术实现步骤摘要】
一种划片机


[0001]本申请涉及半导体加工设备
，具体涉及一种划片机。

技术介绍

[0002]半导体晶圆的正面具有相互交叉的多条切割道，多条切割道所划分的各区域内形成器件，采用划片机沿着切割道对晶圆切割，即可得到各个器件。
[0003]划片机内由于电器件较多，各电器件之间通过连接线连接，导致划片机内部连接线路繁杂，对安装和维修造成不便。
[0004]因此，如何简化划片机内各电器件之间的连接线路，便于安装和维修操作，是本领域技术人员所需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]本申请的目的是提供一种划片机，使得划片机壳体内部各电器件之间的连接线路规整，便于安装和维修操作。
[0006]为解决上述技术问题，本申请提供一种划片机，包括壳体以及设于所述壳体内的底座、电机和电器件；所述底座的侧边朝向所述壳体内壁伸出设有第一伸出端，所述第一伸出端的端部设有接线盒，所述接线盒分别通过连接线与所述电机及所述电器件连接，且所述连接线贴合于所述壳体的内壁布置。
[0007]第一伸出端设置在底座的侧边，并靠近壳体的内壁设置，因此，该第一伸出端的端部与壳体的内壁之间的间距较小，接线盒设置在该第一伸出端的端部，连接线由接线盒引出后沿壳体的内壁布置，也就是说，连接线的一端与接线盒连接，另一端与电机或电器件连接，而连接线中间的部分贴合于壳体的内壁布置，如此一来，可有效减小连接线的整体长度，并使得壳体内走线更为规整，连接线占用空间较小，避免杂乱的布线对壳体内部各电器件的安装造成干扰，同时便于对壳体内各部件的维修操作。
[0008]不难理解，伸出端是指由底座侧边的部分向壳体的一侧伸出形成的，使得该第一伸出端的端部更靠近壳体的内壁，将接线盒设置在此处，以便于壳体内部走线，如此设置相较于将底座的侧边整体靠近壳体的方案来说，明显能够减小该底座的整体体积和重量，实现轻量化的同时还能降低成本、提高经济性。
[0009]可选地，所述接线盒为防水型接线盒。
[0010]可选地，所述底座的上端面设有立柱安装凸台和导轨安装凸台，所述立柱安装凸台和所述导轨安装凸台分别设有安装孔。
[0011]可选地，所述底座的侧边还向外伸出设有第二伸出端和第三伸出端，所述第二伸出端和所述第三伸出端分别位于所述底座相对的两侧边，且所述第二伸出端和所述第三伸出端分别设有所述立柱安装凸台。
[0012]可选地，还包括机架，所述底座固定于所述机架。
[0013]可选地，所述第一伸出端、所述第二伸出端和所述第三伸出端的端面分别固设有
连接件，所述连接件与所述机架固定连接。
[0014]可选地，所述底座呈十字型结构或T字型结构。
[0015]可选地，所述底座的上表面，沿边缘还向上设有凸缘。
[0016]可选地，所述凸缘一体成型于所述底座的上表面。
附图说明
[0017]图1是本申请所提供的划片机的底座的结构示意图；
[0018]图2是划片机内部的局部结构示意图。
[0019]附图1
‑
图2中，附图标记说明如下：
[0020]1‑
底座，11
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第一伸出端，12
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第二伸出端，13
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第三伸出端，14
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第四伸出端，15
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连接件，16
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立柱安装凸台，17
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导轨安装凸台，18
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安装孔，19
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凸缘；2
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电机；3
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接线盒；4
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机架；5
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导轨。
具体实施方式
[0021]为了使本领域的技术人员更好地理解本申请的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步的详细说明。
[0022]半导体晶圆的正面具有相互交叉的多条切割道，多条切割道所划分的各区域内形成器件，采用划片机沿着切割道对晶圆切割，即可得到各个器件。但划片机内由于电器件较多，各电器件之间通过连接线连接，导致划片机内部连接线路繁杂，排布不便，并对划片机内个电器件的安装和维修造成不便。
[0023]为解决上述问题，本实施例所提供的划片机包括壳体、底座1、电机2和电器件，其中，底座1、电机2和电器件均位于壳体内，电机2是指用于驱动划片机切割台移动的电机2，该切割台用于承载晶圆等工件，电器件是指该划片机内的控制器等器件。底座1的侧边朝向壳体的侧壁伸出设有第一伸出端11，该第一伸出端11的端部设置有接线盒3，接线盒3分别通过连接线与电机2以及电器件连接，并且连接线贴合于壳体的内壁布置。具体的，接线盒3如何通过连接线与电机2以及电器件连接，对于本领域技术人员来说，已是熟知的现有技术，为节约篇幅，在此不再赘述。
[0024]第一伸出端11设置在底座1的侧边，并靠近壳体的内壁设置，因此，该第一伸出端11的端部与壳体的内壁之间的间距较小，接线盒3设置在该第一伸出端11的端部，连接线由接线盒3引出后沿壳体的内壁布置，也就是说，连接线的一端与接线盒3连接，另一端与电机2或电器件连接，而连接线中间的部分贴合于壳体的内壁布置，如此一来，可有效减小连接线的整体长度，并使得壳体内走线更为规整，连接线占用空间较小，避免杂乱的布线对壳体内部各电器件的安装造成干扰，同时便于对壳体内各部件的维修操作。
[0025]不难理解，伸出端是指由底座1侧边的部分向壳体的一侧伸出形成的，使得该第一伸出端11的端部更靠近壳体的内壁，将接线盒3设置在此处，以便于壳体内部走线，如此设置相较于将底座1的侧边整体靠近壳体的方案来说，明显能够减小该底座1的整体体积和重量，实现轻量化的同时还能降低成本、提高经济性。
[0026]本实施例中的接线盒3为防水型接线盒，由于切割台位于底座1的上方，在对晶圆进行切割时，需要向切割部位喷射液体以进行冷却和清洗，因此，会有部分液体落到底座1
上，将接线盒3选用防水型接线盒，可保证接线安全，防止漏电，避免存在安全隐患。具体的，该防水型接线盒可选用现有技术中的具备防水功能的接线盒即可。
[0027]该接线盒3优选为多合一接线盒，如八合一接线盒等，多根连接线从电机2引出接入到接线盒3，然后再由一根连接线(可以是集合多根连接线)由接线盒3引出，并与电器件(如控制器)连接，从而减少走线，避免线路过多占用空间或者走线杂乱。
[0028]如图1所示，底座1的上端面还设有安装凸台，具体包括立柱安装凸台16和导轨安装凸台17，其中，立柱安装凸台16用于安装立柱，导轨安装凸台17用于安装导轨5，该导轨5是用于对切割台的移动方向进行导向的。各安装凸台分别设有安装孔18，以用于安装立柱和导轨5。具体的，该安装孔18可以是螺纹孔，通过螺栓安装立柱和导轨5即可，拆装较为方便。
[0029]在对该底座1进行加工时，仅需对安装凸台进行加工即可，因此，安装凸台的设置，能够减少对底座1上表面的加工面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种划片机，其特征在于，包括壳体以及设于所述壳体内的底座(1)、电机(2)和电器件；所述底座(1)的侧边朝向所述壳体内壁伸出设有第一伸出端(11)，所述第一伸出端(11)的端部设有接线盒(3)，所述接线盒(3)分别通过连接线与所述电机(2)及所述电器件连接，且所述连接线贴合于所述壳体的内壁布置。2.根据权利要求1所述的划片机，其特征在于，所述接线盒(3)为防水型接线盒。3.根据权利要求1所述的划片机，其特征在于，所述底座(1)的上端面设有立柱安装凸台(16)和导轨安装凸台(17)，所述立柱安装凸台(16)和所述导轨安装凸台(17)分别设有安装孔(18)。4.根据权利要求3所述的划片机，其特征在于，所述底座(1)的侧边还向外伸出设有第二伸出端(12)和第三伸出端(13)，所述第二伸出端(12)和所述第三伸出端(13)分...

【专利技术属性】
技术研发人员：李昌坤，嵇国兴，
申请(专利权)人：苏州镁伽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：