【技术实现步骤摘要】
一种清洗装置和清洗设备
[0001]本技术涉及工件清洗
，具体涉及一种清洗装置和清洗设备。
技术介绍
[0002]晶圆在生产过程中，生产设备会对晶圆进行加工，加工后的晶圆表面通常会附着有加工碎屑等杂物，因此，需要对晶圆进行清洗以去除其上附着的杂物。
[0003]目前的清洗装置是通过喷射清洗水进行清洗，但是一方面，清洗效果不佳，另一方面，清洗后会有清洗水附着在晶圆表面，难以去除。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题，本申请提供的清洗装置和清洗方法，可以提高清洗效果，以及减少或者消除附着在待清洗部件表面的清洗水。
[0005]本技术提供一种清洗装置，包括清洗台、摆臂水管、设置于所述摆臂水管上的雾化喷头以及喷嘴，所述雾化喷头连通所述摆臂水管以及气路，所述雾化喷头用于向所述清洗台上的所述喷嘴能够连通气路；所述清洗装置还包括驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述摆臂水管在所述清洗台的上方水平摆动。
[0006]在一种具体实施方式中，还包括安装组件，所述喷嘴通过所述安装组件固定至所述摆臂水...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种清洗装置，其特征在于，包括清洗台、摆臂水管、设置于所述摆臂水管上的雾化喷头以及喷嘴，所述雾化喷头连通所述摆臂水管以及气路，所述雾化喷头用于向所述清洗台上的所述喷嘴能够连通气路；所述清洗装置还包括驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述摆臂水管在所述清洗台的上方水平摆动。2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，还包括安装组件，所述喷嘴通过所述安装组件固定至所述摆臂水管，且所述喷嘴相对所述安装组件角度可调。3.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述安装组件包括固定块和调节板，所述固定块固定于所述摆臂水管，所述固定块设置有第一安装孔和第二安装孔，所述调节板包括弧形槽和第三安装孔；还包括第一螺栓和第二螺栓，所述第一螺栓插入所述弧形槽和所述第一安装孔，所述第二螺栓插入所述第三安装孔和所述第二安装孔，所述喷嘴固定于所述调节板，通过调节所述第一螺栓和所述弧形槽的相对位置调节所述喷嘴的角度。4.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，所述调节板设置有固定孔，所述喷嘴穿设所述固定孔并固定于所述调节板。5.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，还包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：李昌坤，钮成杰，
申请(专利权)人：苏州镁伽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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