一种清洗装置和清洗设备制造方法及图纸

本申请公开一种清洗装置和清洗设备，包括清洗台、摆臂水管、设置于所述摆臂水管上的雾化喷头以及喷嘴，所述雾化喷头连通所述摆臂水管以及气路，所述雾化喷头用于向所述清洗台上的所述喷嘴能够连通气路；所述清洗装置还包括驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述摆臂水管在所述清洗台的上方水平摆动。可以提高清洗效果，以及减少或者消除附着在待清洗部件表面的清洗水。清洗水。清洗水。

【技术实现步骤摘要】
一种清洗装置和清洗设备


[0001]本技术涉及工件清洗
，具体涉及一种清洗装置和清洗设备。

技术介绍

[0002]晶圆在生产过程中，生产设备会对晶圆进行加工，加工后的晶圆表面通常会附着有加工碎屑等杂物，因此，需要对晶圆进行清洗以去除其上附着的杂物。
[0003]目前的清洗装置是通过喷射清洗水进行清洗，但是一方面，清洗效果不佳，另一方面，清洗后会有清洗水附着在晶圆表面，难以去除。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本申请提供的清洗装置和清洗方法，可以提高清洗效果，以及减少或者消除附着在待清洗部件表面的清洗水。
[0005]本技术提供一种清洗装置，包括清洗台、摆臂水管、设置于所述摆臂水管上的雾化喷头以及喷嘴，所述雾化喷头连通所述摆臂水管以及气路，所述雾化喷头用于向所述清洗台上的所述喷嘴能够连通气路；所述清洗装置还包括驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述摆臂水管在所述清洗台的上方水平摆动。
[0006]在一种具体实施方式中，还包括安装组件，所述喷嘴通过所述安装组件固定至所述摆臂水管，且所述喷嘴相对所述安装组件角度可调。
[0007]在一种具体实施方式中，所述安装组件包括固定块和调节板，所述固定块固定于所述摆臂水管，所述固定块设置有第一安装孔和第二安装孔，所述调节板包括弧形槽和第三安装孔；还包括第一螺栓和第二螺栓，所述第一螺栓插入所述弧形槽和所述第一安装孔，所述第二螺栓插入所述第三安装孔和所述第二安装孔，所述喷嘴固定于所述调节板，通过调节所述第一螺栓和所述弧形槽的相对位置调节所述喷嘴的角度。
[0008]在一种具体实施方式中所述调节板设置有固定孔，所述喷嘴穿设所述固定孔并固定于所述调节板。
[0009]在一种具体实施方式中还包括驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述喷嘴转动以调节角度。
[0010]在一种具体实施方式中所述气路包括第一管路，所述喷嘴设置有第三接头，所述第三接头用于连通所述第一管路。
[0011]在一种具体实施方式中所述气路包括第二管路，所述清洗装置还包括第一接头、第二接头，所述雾化喷头通过所述第一接头连接所述摆臂水管，所述雾化喷头通过所述第二接头连通所述第二管路。
[0012]在一种具体实施方式中所述摆臂水管包括第一管体和第二管体，所述第一管体的轴线和所述第二管体的轴线所成角度为130
°‑
135
°
。
[0013]在一种具体实施方式中，所述喷嘴设置在所述第二管体与所述第一管体相接的一端。
[0014]本申请还提供一种清洗设备，包括上述任一项所述的清洗设备，所述清洗设备还包括清洗筒，所述清洗装置位于所述清洗筒内。
[0015]本申请方案在对待清洗工件进行清洗时，可以先通过雾化喷头向待清洗工件的上表面喷水雾，以去除待清洗工件上表面的碎屑等杂物，在雾化喷头向待清洗工件喷水雾的同时，摆臂水管可以摆动，从而确保雾化喷头可以清洗到待清洗工件上表面的任意区域，为加强清洗效果，雾化喷头可以在待清洗工件的上方往复摆动。在清洗完成后，可以关闭雾化喷头，然后在保持摆臂水管摆动的同时，向喷嘴通气使得喷嘴向待清洗工件的上表面喷气，以吹走待清洗工件上表面的水珠，从而减少或者避免清洗水附着在待清洗工件的上表面。雾化喷头喷射水雾易于冲洗干净杂物颗粒，而且附着在待清洗工件上表面的水更容易形成水珠，相较于冲洗水形成的水渍，水珠更易于由喷嘴吹走、吹干。
附图说明
[0016]图1为本申请实施例中清洗装置的示意图；
[0017]图2为图1中A部位的放大图；
[0018]图3是图2中调节板的示意图。
[0019]图1
‑
3中附图标记说明如下：
[0020]1‑
清洗台；
[0021]2‑
摆臂水管；21
‑
第一管体；22
‑
第二管体；
[0022]3‑
喷嘴；
[0023]4‑
雾化喷头；
[0024]5‑
第一接头；
[0025]6‑
安装组件；61
‑
固定块；611
‑
卡套；612
‑
封板；62
‑
调节板；62a
‑
弧形槽；62b
‑
第三安装孔；62c
‑
固定孔；63
‑
第三螺栓；64
‑
第一螺栓；65
‑
第二螺栓；
[0026]7‑
第二接头；
[0027]8‑
第三接头。
具体实施方式
[0028]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步的详细说明。
[0029]请参考图1，图1为本申请实施例中清洗装置的示意图。
[0030]该实施例中的清洗装置，包括清洗台1，清洗台1用于支撑待清洗工件，待清洗工件例如是晶圆，清洗台1相应地可以包括图1所示的圆形台面，当然，待清洗工件也可以是其他需要清洗的工件，待清洗工件可以固定到清洗台1上。清洗装置还包括摆臂水管2、设置于摆臂水管2上的雾化喷头4以及喷嘴3，其中，雾化喷头4连通摆臂水管2以及气路，摆臂水管2向雾化喷头4提供水，气路向雾化喷头4提供气体，高速气流和水混合产生雾化的效果，例如，高速气体带动水撞击后产生雾状微粒，即产生所需的水雾。此外，喷嘴3也能够连通气路，即喷嘴3仅用于喷射气流。而，摆臂水管2则能够在清洗台1的上方水平摆动，相应地带动雾化喷头4以及喷嘴3在清洗台1的上方摆动，在清洗过程中可以是往复摆动。
[0031]在对待清洗工件进行清洗时，可以先通过雾化喷头4向清洗台1上支撑的待清洗工
件的上表面喷水雾，以去除待清洗工件上表面的碎屑等杂物，在雾化喷头4向待清洗工件喷水雾的同时，摆臂水管2可以同步摆动，使得雾化喷头4在待清洗工件的上方摆动，从而确保雾化喷头4可以清洗到待清洗工件上表面的任意区域，摆臂水管2可以往复摆动以加强清洗效果。在清洗完成后，可以关闭雾化喷头4，然后在保持摆臂水管2摆动的同时，向喷嘴3通气使得喷嘴3向待清洗工件的上表面喷气，由于摆臂水管2保持摆动，因此喷嘴3同样可在待清洗工件的上方摆动，以吹走待清洗工件上表面的水珠，从而减少或者避免清洗水附着在待清洗工件的上表面。同样，摆臂水管2可以往复摆动，使得待清洗工件上表面的水珠更容易被吹走，从而提高吹干效果和吹干效率。
[0032]可以继续参考图2理解，图2为图1中A部位的放大图。
[0033]该实施例中的清洗装置还包括安装组件6，喷嘴3通过安装组件6固定至摆臂水管2，且喷嘴3相对安装组件6角度可调，以改变喷嘴3指向待清洗部件的角度和位置。喷嘴3设置为角度可调，则可以工艺需求，在水雾清洗完毕后，将喷嘴3调节到所需的角度进行喷吹，使得喷嘴3在摆臂水管2摆动的过程中能够确保喷气的范围全面覆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洗装置，其特征在于，包括清洗台、摆臂水管、设置于所述摆臂水管上的雾化喷头以及喷嘴，所述雾化喷头连通所述摆臂水管以及气路，所述雾化喷头用于向所述清洗台上的所述喷嘴能够连通气路；所述清洗装置还包括驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述摆臂水管在所述清洗台的上方水平摆动。2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，还包括安装组件，所述喷嘴通过所述安装组件固定至所述摆臂水管，且所述喷嘴相对所述安装组件角度可调。3.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述安装组件包括固定块和调节板，所述固定块固定于所述摆臂水管，所述固定块设置有第一安装孔和第二安装孔，所述调节板包括弧形槽和第三安装孔；还包括第一螺栓和第二螺栓，所述第一螺栓插入所述弧形槽和所述第一安装孔，所述第二螺栓插入所述第三安装孔和所述第二安装孔，所述喷嘴固定于所述调节板，通过调节所述第一螺栓和所述弧形槽的相对位置调节所述喷嘴的角度。4.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，所述调节板设置有固定孔，所述喷嘴穿设所述固定孔并固定于所述调节板。5.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：李昌坤，钮成杰，
申请(专利权)人：苏州镁伽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：