本申请涉及一种划片机的检测装置及划片机，包括支撑部、安装部、固定部和用于检测切割刀磨损情况的传感器，传感器安装于安装部；支撑部包括第一支撑件、第二支撑件以及形成于第一支撑件和第二支撑件之间的安装空间，安装空间用于安装安装部；第一支撑件设有容置槽，第一支撑件朝向安装空间的一侧还设有限位槽，安装部设有限位凸起，限位凸起的一端位于限位槽内，固定部设于容置槽，并抵接于限位凸起的另一端。该检测装置能够对划片机的切割刀的磨损情况进行检测。情况进行检测。情况进行检测。
【技术实现步骤摘要】
一种划片机的检测装置及划片机
[0001]本申请涉及半导体加工设备
，具体涉及一种划片机的检测装置及划片机。
技术介绍
[0002]半导体晶圆的正面具有相互交叉的多条切割道，多条切割道所划分的各区域内形成器件，划片机的切割刀沿着切割道对晶圆切割，即可得到各个器件。但切割刀对晶圆切割后会产生磨损，而如何检测切割刀的磨损情况，是本领域技术人员所需要解决的技术问题。
技术实现思路
[0003]本申请的目的是提供一种划片机的检测装置及划片机，能够对划片机的切割刀的磨损情况进行检测。
[0004]为解决上述技术问题，本申请提供一种划片机的检测装置，包括支撑部、安装部、固定部和用于检测切割刀磨损情况的传感器，所述传感器安装于所述安装部；所述支撑部包括第一支撑件、第二支撑件以及形成于所述第一支撑件和所述第二支撑件之间的安装空间，所述安装空间用于安装所述安装部；所述第一支撑件设有容置槽，所述第一支撑件朝向所述安装空间的一侧还设有限位槽，所述安装部设有限位凸起，所述限位凸起的一端位于所述限位槽内，所述固定部设于所述容置槽，并抵接于所述限位凸起的另一端。
[0005]当将传感器通过安装部安装于支撑部的安装空间内后，该安装部还能够通过限位凸起、限位槽以及设于容置槽内的固定部固定，从而保证该传感器的安装位置稳定，确保检测结果的准确性。并且，当需要对传感器的位置进行调节，或者更换传感器时，仅需先解除固定部对安装部的限位作用，即可调节或更换传感器，操作较为方便。
[0006]容置槽的设置用于安装固定部，将固定部安装于容置槽可使得该检测装置的整体结构更为规整，简化外部结构，并且可减少占用空间。
[0007]通过本实施例所提供的检测装置能够对划片机的切割刀的磨损情况进行检测，便于对切割刀的状态进行监测，方便及时维修和更换。
[0008]可选地，所述固定部包括固定座和弹性件，所述固定座包括第一端和第二端，所述固定座与所述第一支撑件可枢转连接，且所述固定座的枢转轴位于所述第一端和所述第二端之间，所述弹性件位于所述容置槽并与所述第一端连接，所述弹性件能够作用于所述第一端，使所述固定座绕所述枢转轴转动至所述第二端抵接于所述限位凸起。
[0009]可选地，所述固定座呈T字形结构，所述T字形结构的两条横边的端部分别形成所述第一端和所述第二端，所述T字形的竖边与所述容置槽的槽壁可枢转连接。
[0010]可选地，所述第一端和所述容置槽的槽底中，至少一者设有定位槽，所述弹性件的端部抵接于所述定位槽内。
[0011]可选地，所述弹性件为弹簧。
[0012]可选地，所述第二端设有与所述限位凸起相适配的卡槽。
[0013]可选地，所述支撑部还包括支撑座，所述第一支撑件和所述第二支撑件均固设于所述支撑座。
[0014]可选地，所述安装部设有至少两个安装孔，所述传感器通过所述安装孔和连接螺栓固定于所述安装部。
[0015]可选地，所述安装孔为条形孔，且各所述条形孔平行设置。
[0016]本申请还提供了一种划片机，包括如上所述的检测装置。
[0017]具有如上所述的检测装置的划片机，其技术效果与上述检测装置的技术效果类似，为节约篇幅，在此不再赘述。
附图说明
[0018]图1是本申请所提供的划片机的检测装置的结构示意图；
[0019]图2是图1中第一支撑件的结构示意图；
[0020]图3是图1中固定座的结构示意图；
[0021]图4是图1中安装部的结构示意图。
[0022]附图1
‑
图4中，附图标记说明如下：
[0023]1‑
支撑部，11
‑
第一支撑件，111
‑
容置槽，112
‑
限位槽，12
‑
第二支撑件；
[0024]2‑
安装部，21
‑
限位凸起，22
‑
安装孔，23
‑
螺栓；
[0025]3‑
固定部，31
‑
固定座，311
‑
第一端，312
‑
第二端，313
‑
卡槽，314
‑
枢转轴，32
‑
弹性件；
[0026]4‑
传感器；
[0027]5‑
定位槽。
具体实施方式
[0028]为了使本领域的技术人员更好地理解本申请的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步的详细说明。
[0029]半导体晶圆的正面具有相互交叉的多条切割道，多条切割道所划分的各区域内形成器件，划片机的切割刀沿着切割道对晶圆切割，即可得到各个器件。但是在通过切割刀对晶圆切割后会产生磨损，本实施例提供了一种划片机的检测装置及划片机，其中，划片机包括检测装置，该检测装置能够对该切割刀的磨损情况进行检测，以便于及时更换或维修。
[0030]具体的，本实施例所提供的划片机的检测装置，如图1所示，包括支撑部1、安装部2、传感器4和固定部3，其中，传感器4用于检测切割刀的磨损情况，该传感器4安装于安装部2；支撑部1包括第一支撑件11和第二支撑件12，第一支撑件11和第二支持件能够在二者之间围合形成安装空间，该安装空间用于安装安装部2，而安装部2用于安装传感器4，因此，传感器4能够通过安装部2安装于安装空间内，以对切割刀的磨损情况进行检测。
[0031]如图1
‑
图4所示，第一支撑件11还设有容置槽111和限位槽112，其中，固定部3设于容置槽111内，限位槽112设置在第一支撑件11朝向安装空间的一侧，安装部2对应设有限位凸起21，安装时，安装部2位于安装空间内，限位凸起21的一端能够刚好位于限位槽112内，固定部3能够抵接于限位凸起21的另一端，以对安装部2进行限位，防止安装部2与安装空间脱离。
[0032]具体的，传感器4用于检测切割刀的磨损情况，具体可采用光纤传感器即可，通过光线传感器检测切割刀的边缘状态，包括切割刀的磨损量以及是否破损等。支撑部1的位置可根据切割刀的实际情况设置即可，使得传感器4通过安装部2安装于支撑部1后，能够对切割刀进行检测。
[0033]当将传感器4通过安装部2安装于支撑部1的安装空间内后，该安装部2还能够通过限位凸起21、限位槽112以及设于容置槽111内的固定部3固定，从而保证该传感器4的安装位置稳定，确保检测结果的准确性。并且，当需要对传感器4的位置进行调节，或者更换传感器4时，仅需先解除固定部3对安装部2的限位作用，即可调节或更换传感器4，操作较为方便。
[0034]容置槽111的设置用于安装固定部3，将固定部3安装于容置槽111可使得该检测装置的整体结构更为规整，简化外部结构，并且可减少占用空间。
[0035]通过本实施例所提供的检测装置能够对划片机的切割刀的磨损情况进行检测，便于对切割刀的状态本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种划片机的检测装置，其特征在于，包括支撑部(1)、安装部(2)、固定部(3)和用于检测切割刀磨损情况的传感器(4)，所述传感器(4)安装于所述安装部(2)；所述支撑部(1)包括第一支撑件(11)、第二支撑件(12)以及形成于所述第一支撑件(11)和所述第二支撑件(12)之间的安装空间，所述安装空间用于安装所述安装部(2)；所述第一支撑件(11)设有容置槽(111)，所述第一支撑件(11)朝向所述安装空间的一侧还设有限位槽(112)，所述安装部(2)设有限位凸起(21)，所述限位凸起(21)的一端位于所述限位槽(112)内，所述固定部(3)设于所述容置槽(111)，并抵接于所述限位凸起(21)的另一端。2.根据权利要求1所述的划片机的检测装置，其特征在于，所述固定部(3)包括固定座(31)和弹性件(32)，所述固定座(31)包括第一端(311)和第二端(312)，所述固定座(31)与所述第一支撑件(11)可枢转连接，且所述固定座(31)的枢转轴(314)位于所述第一端(311)和所述第二端(312)之间，所述弹性件(32)位于所述容置槽(111)并与所述第一端(311)连接，所述弹性件(32)能够作用于所述第一端(311)，使所述固定座(31)绕所述枢转轴(314)转动至所述第二端(312)抵接于所述限位凸起(21)。3.根据权利要求2所述的划片机的检测装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱良辰，嵇国兴，
申请(专利权)人：苏州镁伽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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