废气处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种废气处理装置，包括：反应容器，包括容器本体以及盖设于所述容器本体开口处的盖体，所述容器本体内构造有同轴设置的第一腔室、第二腔室和第三腔室，所述第一腔室的底部与所述第二腔室连通，所述第二腔室的顶部与所述第三腔室连通，所述第三腔室的底部用于与水箱连通；废气管路，贯穿所述盖体进入所述第一腔室，所述废气管路设有进气口，用于向所述第一腔室通入废气；第一喷淋管路，与所述废气管路连通，用于向所述废气管路内通入喷淋水；加热器，贯穿所述盖体进入所述第二腔室。本发明专利技术的废气处理装置，废气管路位于第一腔室，加热器位于第二腔室，废气在三个腔室内的流动路径，有利于提升加热器的热量利用率和废气处理效率。理效率。理效率。

【技术实现步骤摘要】
废气处理装置


[0001]本专利技术涉及废气处理
，尤其涉及一种废气处理装置。

技术介绍

[0002]半导体生产过程中，会产生大量有毒有害的工艺废气，废气须与生产同步进行收集、治理和排放，废气处理设备是生产线上重要的设备，用于处理生产线上各个工序产生的废气。
[0003]现有技术中的废气处理设备，设备内设置反应腔，废气管路和加热设备位于同一反应腔室内，加热设备提供废气进行氧化还原反应所需的高温环境，废气由废气管路流入反应腔室内，由于气路的设置方式，废气在反应腔室内朝向一侧流动，导致废气与反应腔室内的热量不能充分地接触，造成热量利用率低，同时废气处理效率低。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种废气处理装置，用以解决现有的废气处理装置存在热量利用率低的问题。
[0005]本专利技术提供一种废气处理装置，包括：
[0006]反应容器，包括容器本体以及盖设于所述容器本体开口处的盖体，所述容器本体内构造有同轴设置的第一腔室、第二腔室和第三腔室，所述第一腔室的底部与所述第二腔室连通，所述第二腔室的顶部与所述第三腔室连通，所述第三腔室的底部用于与水箱连通；
[0007]废气管路，贯穿所述盖体进入所述第一腔室，所述废气管路设有进气口，用于向所述第一腔室通入废气；
[0008]第一喷淋管路，与所述废气管路连通，用于向所述废气管路内通入喷淋水；
[0009]加热器，贯穿所述盖体进入所述第二腔室。
[0010]根据本专利技术提供的一种废气处理装置，所述废气管路设有进水口，所述进水口位于所述盖体与所述进气口之间，所述进水口与所述第一喷淋管路连通。
[0011]根据本专利技术提供的一种废气处理装置，所述废气处理装置还包括冷却管路；
[0012]所述容器本体内还构造有第四腔室，所述第四腔室设于所述第一腔室的外侧，且与所述第一腔室同轴设置；所述冷却管路与所述第四腔室连通，用于向所述第四腔室通入冷却水。
[0013]根据本专利技术提供的一种废气处理装置，所述第四腔室的顶部与所述第一腔室连通，所述冷却水能够由所述第四腔室流入所述第一腔室。
[0014]根据本专利技术提供的一种废气处理装置，所述容器本体还包括溢流挡板，所述溢流挡板环向设于所述容器本体的内壁面，且位于所述第四腔室的顶端与所述盖体之间。
[0015]根据本专利技术提供的一种废气处理装置，所述废气处理装置还包括溢流器；
[0016]所述溢流器设于所述反应容器的底部，所述溢流器构造有同轴设置的溢流腔和冷却腔，所述溢流腔与所述第一腔室连通，所述冷却腔与所述第三腔室连通，且所述溢流腔与
所述冷却腔连通。
[0017]根据本专利技术提供的一种废气处理装置，所述溢流器包括同轴设置的第一筒体和第二筒体；
[0018]所述第一筒体的端部通过封板与所述第二筒体的外壁面连接，所述第一筒体的内壁面、所述封板以及所述第二筒体的外壁面围合形成所述溢流腔，所述第二筒体的内壁面围合形成所述冷却腔。
[0019]根据本专利技术提供的一种废气处理装置，所述溢流器还包括第二喷淋管路，所述第二喷淋管路与所述第二筒体连通，用于向所述冷却腔内通入喷淋水。
[0020]根据本专利技术提供的一种废气处理装置，所述废气处理装置还包括清洗组件；
[0021]所述清洗组件包括清洗管路和控制阀，所述清洗管路贯穿所述盖体进入所述第三腔室，所述清洗管路用于向所述第三腔室通入喷淋水，所述控制阀用于控制所述清洗管路的启闭。
[0022]根据本专利技术提供的一种废气处理装置，所述加热器包括多个加热件，多个所述加热件绕所述反应容器的轴线环向设于所述第二腔室内。
[0023]本专利技术提供的废气处理装置，容器本体内构造有同轴设置且相互连通的第一腔室、第二腔室和第三腔室，废气管路位于第一腔室，加热器位于第二腔室，废气沿废气管路进入第一腔室，第一喷淋管路通入的喷淋水对废气进行水洗，之后废气由第一腔室的底部流入第二腔室，废气在第二腔室内由底部朝向顶部流动的过程中进行充分的高温反应，进一步由第二腔室的顶部流入第三腔室内，然后流入水箱进行后续处理，废气在三个腔室内的流动路径，有利于提升加热器的热量利用率和废气处理效率。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本专利技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1是本专利技术提供的废气处理装置的结构示意图(箭头方向为废气流动方向)；
[0026]附图标记：1：反应容器；11：容器本体；111：第一腔室；112：第二腔室；113：第三腔室；114：第四腔室；115：溢流挡板；12：盖体；2：废气管路；21：进气口；22：进水口；3：第一喷淋管路；4：加热器；5：冷却管路；6：溢流器；61：溢流腔；62：冷却腔；63：第一筒体；64：第二筒体；65：第二喷淋管路；7：清洗组件；71：清洗管路；72：控制阀。
具体实施方式
[0027]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术中的附图，对本专利技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0028]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可
以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0029]下面结合图1描述本专利技术实施例的废气处理装置。
[0030]如图1所示，本专利技术实施例提供的废气处理装置，包括：反应容器1、废气管路2、第一喷淋管路3和加热器4，反应容器1包括容器本体11以及盖设于容器本体11开口处的盖体12，容器本体11内构造有同轴设置的第一腔室111、第二腔室112和第三腔室113，第一腔室111的底部与第二腔室112连通，第二腔室112的顶部与第三腔室113连通，第三腔室113的底部用于与水箱连通；废气管路2，贯穿盖体12进入第一腔室111，废气管路2设有进气口21，用于向第一腔室111通入废气；第一喷淋管路3，与废气管路2连通，用于向废气管路2内通入喷淋水；加热器4，贯穿盖体12进入第二腔室112。
[0031]具体地，反应容器1包括容器本体11和盖体12，容器本体11的顶端具有开口，盖体12盖设于容器本体11的开口处，盖体12与容器本体11可拆卸连接，便于安装及拆卸检修作业。容器本体11的形状根据需求设置，例如容器本体11呈柱状。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：反应容器，包括容器本体以及盖设于所述容器本体开口处的盖体，所述容器本体内构造有同轴设置的第一腔室、第二腔室和第三腔室，所述第一腔室的底部与所述第二腔室连通，所述第二腔室的顶部与所述第三腔室连通，所述第三腔室的底部用于与水箱连通；废气管路，贯穿所述盖体进入所述第一腔室，所述废气管路设有进气口，用于向所述第一腔室通入废气；第一喷淋管路，与所述废气管路连通，用于向所述废气管路内通入喷淋水；加热器，贯穿所述盖体进入所述第二腔室。2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述废气管路设有进水口，所述进水口位于所述盖体与所述进气口之间，所述进水口与所述第一喷淋管路连通。3.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述废气处理装置还包括冷却管路；所述容器本体内还构造有第四腔室，所述第四腔室设于所述第一腔室的外侧，且与所述第一腔室同轴设置；所述冷却管路与所述第四腔室连通，用于向所述第四腔室通入冷却水。4.根据权利要求3所述的废气处理装置，其特征在于，所述第四腔室的顶部与所述第一腔室连通，所述冷却水能够由所述第四腔室流入所述第一腔室。5.根据权利要求4所述的废气处理装置，其特征在于，所述容器本体还包括溢流挡板，所述溢流挡板环向设于所述容器本体的内...

【专利技术属性】
技术研发人员：王松，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：