预镀组件及电镀设备制造技术

技术编号:37541277 阅读:13 留言:0更新日期:2023-05-12 16:10
本实用新型专利技术公开了一种预镀组件及电镀设备,预镀组件用于对导电基膜的侧边区域进行电镀,预镀组件包括:预镀阳极件和预镀阴极夹。预镀阳极件适于与导电基膜的侧边区域相对设置,预镀阴极夹沿导电基膜的运输方向可移动,预镀阴极夹用于夹持导电基膜,所述预镀阴极夹的夹持面导电。其中,位于预镀阳极件的相对两端且与运输方向相垂直的两个界面为预镀界面,两个预镀界面之间区域为预镀区,预镀阴极夹至少在预镀区内移动以夹持导电基膜。本申请的预镀组件在保证达到足够镀层厚度的同时,能够缩短预镀区的长度。镀区的长度。镀区的长度。

【技术实现步骤摘要】
预镀组件及电镀设备


[0001]本技术涉及电镀
,尤其涉及一种预镀组件及电镀设备。

技术介绍

[0002]现有的电镀设备中,通过设置预镀组件以提高导电基膜的镀层厚度,有利于提高导电基膜后续电镀的电流强度,提高对导电基膜的整体电镀效率。
[0003]而在现有的预镀组件中,邻近导电基膜设置有预镀阳极,通常采用运输导电基膜的导电辊作为阴极,而由于导电辊接触镀液容易在导电辊镀膜,损坏导电基膜的膜面,导电辊需要与镀液保持一定距离,导致作为阴极的导电辊与预镀阳极之间的距离较远,导电基膜上的电流均匀性较差,导致预镀的电流难以升高,使电镀效率较低。为了通过预镀达到足够的镀层厚度和镀层均匀性,往往需要通过增大电镀区域的长度。

技术实现思路

[0004]本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本申请提出一种电镀设备的预镀组件,所述预镀组件在保证达到足够镀层厚度的同时,能够缩短预镀区的长度。
[0005]本申请还提出一种具有上述预镀组件的电镀设备。
[0006]根据本技术实施例的电镀设备的预镀组件,所述预镀组件用于对导电基膜的侧边区域进行电镀,所述预镀组件包括:
[0007]预镀阳极件,所述预镀阳极件适于与所述导电基膜的所述侧边区域设置;
[0008]预镀阴极夹,所述预镀阴极夹沿所述导电基膜的运输方向可移动,所述预镀阴极夹用于夹持所述导电基膜,所述预镀阴极夹的夹持面导电;
[0009]其中,位于所述预镀阳极件的相对两端且与所述运输方向相垂直的两个界面为预镀界面,两个所述预镀界面之间区域为预镀区,所述预镀阴极夹至少在所述预镀区内移动以夹持所述导电基膜。
[0010]根据本技术实施例的电镀设备的预镀组件,预镀阴极夹在导电基膜的侧边区域进行夹持,预镀阳极件也对应导电基膜的侧边区域设置,预镀阴极夹与预镀阳极件之间的距离较小,进而电流在导电基膜中的流径较短,使预镀阴极夹与预镀阳极件之间的电流较为均匀,且电流的流动损失较小,能够提高电镀的电流强度,从而提高电镀效率,在导电基膜的运输方向上缩短预镀所需的长度。
[0011]在一些实施例中,所述的电镀设备的预镀组件还包括第一传动机构,所述第一传动机构包括:第一传动带,所述第一传动带至少部分沿所述运输方向移动,所述第一传动带上设有多个所述预镀阴极夹,多个所述预镀阴极夹沿所述第一传动带的长度方向排布;至少两个第一传动轮,所述第一传动带为环形,所述第一传动带卷绕连接在至少两个所述第一传动轮上;第一运输电机,所述第一运输电机连接至少一个所述第一传动轮,以驱动所述第一传动轮转动。由此,预镀阴极夹随第一传动带往复转动,使预镀阴极夹能够循环夹持运
输导电基膜
[0012]在一些实施例中,所述预镀阳极件为两组,两组所述预镀阳极件对应所述导电基膜的两个所述侧边区域设置。由此,能够同时对导电基膜的两个侧边区域同时进行电镀,提高电镀效率。
[0013]进一步地,每组所述预镀阳极件均包括两个所述预镀阳极件,同组两个所述预镀阳极件沿高度方向间隔设置,以使所述导电基膜位于同组两个所述预镀阳极件之间。由此,当通过预镀阳极件和预镀阴极夹对导电基膜进行电镀时,能够同时对导电基膜一个侧边区域的两面同时进行电镀,能够进一步提高电镀效率,有利于缩短导电基膜预镀所需的距离。
[0014]在一些实施例中,在所述导电基膜的宽度方向上,所述预镀阳极件的尺寸大于等于所述预镀阴极夹的夹持面尺寸。由此,能够提高预镀阴极夹靠近位置的预镀效果。
[0015]在一些实施例中,所述预镀阴极夹为两组,两组所述预镀阴极夹分别夹持在所述导电基膜的两个所述侧边区域上。由此,预镀阴极夹能够更稳定的带动导电基膜移动。此外,两组预镀阴极夹分别用于对导电基膜的两个侧边区域进行电镀,能够同时对两个侧边区域的电镀,提高电镀效率。
[0016]在一些具体实施例中,所述预镀阳极件为阳极网,所述阳极网为长条形,且沿所述运输方向延伸设置。由此,能够保证每一个预镀阴极夹在预镀阳极之间均具有足够的电镀时间,进而保证导电基膜的侧边区域经过预镀后能够具有足够的镀层厚度。
[0017]根据本技术实施例的电镀设备,包括:电镀槽,所述电镀槽的两侧为入槽侧和出槽侧;主镀阳极,所述主镀阳极设于所述电镀槽中;主镀阴极夹,所述主镀阴极夹沿所述导电基膜的运输方向可移动,所述主镀阴极夹用于夹持所述导电基膜的所述侧边区域,所述主镀阴极夹的夹持面导电;预镀组件,为上述实施例所述的电镀设备的预镀组件,所述预镀阳极件设于所述电镀槽中,所述预镀阳极件位于所述主镀阳极和所述入槽侧之间。
[0018]根据本技术实施例的电镀设备,通过采用上述的预镀组件,预镀组件的预镀效率较高,在保证预镀能够达到足够镀层厚度的同时,能够缩短预镀区的长度,从而缩短电镀设备在导电基膜运输方向上的长度,有利于减小设备体积。
[0019]在一些实施例中,所述导电基膜的所述侧边区域包括交替的主镀夹区和预镀夹区;所述主镀阴极夹夹持在所述主镀夹区上,所述预镀阴极夹夹持在所述预镀夹区上。由此,能够保证主镀阴极夹夹持在导电基膜时,主镀夹区处具有足够的电流承载能力。同时,当主镀阴极夹夹持在主镀夹区进行电镀时,能够增加预镀夹区的镀膜厚度,使导电基膜侧边区域的镀膜厚度更为均匀。
[0020]进一步地,所述主镀阴极夹为多个,至少部分所述主镀阴极夹沿所述运输方向间隔排布。由此,多个主镀阴极夹能够同时夹持导电基膜的侧边区域并进行电镀,在稳定移动导电基膜的同时,能够提高电镀效率。
[0021]在一些实施例中,在沿所述运输方向上,相邻两个所述预镀阴极夹之间的空隙尺寸,大于等于所述主镀阴极夹的尺寸。由此,当主镀阴极夹夹持在导电基膜时,通过调整主镀阴极夹的加持位置,使主镀阴极夹能够避开预镀过程中被预镀阴极夹夹持产生的未镀膜区域,保证导电基膜的镀层覆盖率。
[0022]在一些实施例中,所述的电镀设备还包括第二传动机构,所述第二传动机构包括:第二传动带,所述第二传动带至少部分沿所述运输方向移动,所述第二传动带上设有多个
所述主镀阴极夹,多个所述主镀阴极夹沿所述第二传动带的长度方向排布;至少两个第二传动轮,所述第二传动带为环形,所述第二传动带卷绕连接在至少两个所述第二传动轮上;第二运输电机,所述第二运输电机连接至少一个所述第二传动轮,以驱动所述第二传动轮转动。由此,在第二运输电机的驱动下,第二传动轮带动第二传动带转动,使第二传动带上的多个主镀阴极夹能够随第二传动带沿其长度方向移动,进而在主镀阴极夹能够带动导电基膜沿第二传动带的长度方向运输。同时,主镀阴极夹随第二传动带往复转动,使主镀阴极夹能够循环夹持导电基膜。
[0023]本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0024]本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
[0025]图1是根据本实用新本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电镀设备的预镀组件,其特征在于,所述预镀组件用于对导电基膜(10)的侧边区域进行电镀,所述预镀组件包括:预镀阳极件(11),所述预镀阳极件(11)适于与所述导电基膜(10)的所述侧边区域相对设置;预镀阴极夹(12),所述预镀阴极夹(12)沿所述导电基膜(10)的运输方向可移动,所述预镀阴极夹(12)用于夹持所述导电基膜(10),所述预镀阴极夹(12)的夹持面导电;其中,位于所述预镀阳极件(11)的相对两端且与所述运输方向相垂直的两个界面为预镀界面(L1),两个所述预镀界面(L1)之间区域为预镀区,所述预镀阴极夹(12)至少在所述预镀区内移动以夹持所述导电基膜(10)。2.根据权利要求1所述的电镀设备的预镀组件,其特征在于,还包括第一传动机构(13),所述第一传动机构(13)包括:第一传动带(131),所述第一传动带(131)至少部分沿所述运输方向移动,所述第一传动带(131)上设有多个所述预镀阴极夹(12),多个所述预镀阴极夹(12)沿所述第一传动带(131)的长度方向排布;至少两个第一传动轮(132),所述第一传动带(131)为环形,所述第一传动带(131)卷绕连接在至少两个所述第一传动轮(132)上;第一运输电机(133),所述第一运输电机(133)连接至少一个所述第一传动轮(132),以驱动所述第一传动轮(132)转动。3.根据权利要求1所述的电镀设备的预镀组件,其特征在于,所述预镀阳极件(11)为两组,两组所述预镀阳极件(11)对应所述导电基膜(10)的两个所述侧边区域设置。4.根据权利要求3所述的电镀设备的预镀组件,其特征在于,每组所述预镀阳极件(11)均包括两个所述预镀阳极件(11),同组两个所述预镀阳极件(11)沿高度方向间隔设置,以使所述导电基膜(10)位于同组两个所述预镀阳极件(11)之间。5.根据权利要求1所述的电镀设备的预镀组件,其特征在于,在所述导电基膜(10)的宽度方向上,所述预镀阳极件(11)的尺寸大于等于所述预镀阴极夹(12)的夹持面尺寸。6.根据权利要求1所述的电镀设备的预镀组件,其特征在于,所述预镀阴极夹(12)为两组,两组所述预镀阴极夹(12)分别夹持在所述导电基膜(10)的两个所述侧边...

【专利技术属性】
技术研发人员:林挺箫陈嘉圣张汉都
申请(专利权)人:厦门海辰新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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