一种真空罗茨泵机组及其控制方法技术

本发明专利技术涉及一种真空罗茨泵机组及其控制方法，属真空设备技术领域。该机组包括罗茨泵、旋片式机械泵、交流接触器、电流过流保护器和变频器，变频器与罗茨泵的电机相连接，罗茨泵电机由变频器控制。本发明专利技术的真空罗茨泵机组的控制方法，是用变频器控制罗茨泵电机，变频器从启动到输出正常工作频率所需时间＝与罗茨泵机组相连的真空系统的真空度从大气到１０Ｐａ真空度所需的最短时间Ｘ（１±５０％）。本发明专利技术的方法和装置，使罗茨泵缓慢起动，避免了罗茨泵内部转动部件、支撑件和转轴密封件的机械冲击，达到完全平稳地运行，降低罗茨泵工作噪音，有效延长罗茨泵的使用寿命；同时避免罗茨泵启动时由于电动机瞬间过载而对电力网络造成的冲击和干扰。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种真空罗茨泵机组，该机组包括罗茨泵、旋片式机械泵、交流接触器、电流过流保护器，所述的罗茨泵与所述的旋片机械泵通过管道连接，所述的交流接触器和电流过流保护器依次与旋片式机械泵相连接；其特征在于该机组还包括变频器，所述的变频器与罗茨泵相连接，罗茨泵电机由变频器控制。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：董骐，文学春，刘相武，田俊瑞，罗蓉平，杜建，钟钢，
申请(专利权)人：北京丹鹏表面技术研究中心，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]