本实用新型专利技术涉及光学元件的吹气防尘，具体涉及光学元件吹气系统。光学元件吹气系统，包括：承载基体，承载基体上设有至少两处用于安装对应的光学元件的元件承载位；支撑座，固定在承载基体上，支撑座上设有至少一处吹气模块设置位；以及至少一个吹气模块，吹气模块具有进气口和吹气口，每个吹气模块的进气口用于与气源连通，吹气口朝向各自对应的至少一个所述元件承载位设置以通过所述吹气口向对应的光学元件吹气。由于采用了分布式的吹气模块，因此本实用新型专利技术中的光学装置可以根据光学元件的吹气需求设置不同的吹气模块，各光学元件的吹气作业互不影响，能够更好地满足不同光学元件对洁净度的要求。件对洁净度的要求。件对洁净度的要求。
【技术实现步骤摘要】
光学元件吹气系统及一种光学装置
[0001]本技术涉及光学元件的吹气防尘，具体涉及光学元件吹气系统。
技术介绍
[0002]在光机设备中，光路上存在很多光学元件，比如透镜、滤波片、偏振片、反射镜等。很多光学元件都属于精密元件，往往具有较高的洁净度要求，如果此类光学元件的表面被灰尘污染，则会造成光路中的光束发生不期望的散射、被遮挡等情况，从而造成光学检测失败等意外情况。
[0003]为了保证光学元件的洁净度，往往会采用吹气的方式进行光学元件表面的清洁作业。比如，在光机设备内部设置中央吹气系统，使用一个大的吹气面板从顶部向下通过大口径吹气口面向所有光学元件整体吹气。
[0004]中央吹气系统具有结构简单、吹气量大的优点。但是，中央吹气系统采用的是整体大面积吹气，各处吹气量相等，而光学元件的分布密集程度不同，不同光学元件需求的吹气量也不同，因此，中央吹气系统对分布较密的光学元件的吹气量将相对较少，对吹气量要求较高的光学元件的吹气量也相对较少，不易保证对应光学元件的洁净度需求。如果通过增大吹气量来满足所有光学元件的洁净度要求，无疑会增加用气量、设备功耗并会加快设备老化速度，导致成本升高。
技术实现思路
[0005]本技术主要解决的技术问题是现有的中央吹气系统不易可靠地保证所有光学元件的洁净度的问题。
[0006]第一方面，本技术提供了一种光学元件吹气系统，包括：
[0007]承载基体，所述承载基体上设有至少两处用于安装对应的光学元件的元件承载位；
[0008]支撑座，固定在承载基体上，所述支撑座上设有至少一处吹气模块设置位；
[0009]以及至少一个吹气模块，所述吹气模块具有进气口和吹气口；每个所述吹气模块的进气口用于与气源连通，吹气口朝向各自对应的至少一个所述元件承载位设置，以通过所述吹气口向对应的光学元件吹气。
[0010]在一种技术方案中，包括两个以上所述吹气模块，各个所述吹气模块沿着承载基体上与所述光学元件对应的光路走向分布。
[0011]在一种技术方案中，还包括流量调节装置，至少一个所述吹气模块的进气口连接至所述流量调节装置，所述流量调节装置能够对输送入对应吹气模块的吹气量大小进行调节。
[0012]在一种技术方案中，所述吹气模块可拆卸连接在所述吹气模块设置位处，且被配置为能够在所述吹气模块设置位处自由布设或拆除所述吹气模块。
[0013]在一种技术方案中，所述吹气模块上设有两处以上出气口以形成气孔阵列。
[0014]在一种技术方案中，所述吹气模块上设有与所述进气口相通的主供气通道、连接在所述主供气通道与所述出气口之间的分支供气通道；至少一部分所述分支供气通道的进口端沿主供气通道的周向分布在所述主供气通道的通道壁上。
[0015]在一种技术方案中，所述支撑座包括与所述承载基体间隔布置的承托板、连接在所述承托板与承载基体之间的支架，所述吹气模块安装在所述承托板上，承托板上设有供所述吹气口吹出的气流通过的排气口。
[0016]在一种技术方案中，所述支撑座为罩体结构，所述罩体结构的侧壁连接在所述承载基体上，所述吹气模块安装在罩体结构背向所述承载基体的一侧的封堵端上；所述罩体结构的侧壁上设有供光束通过并供吹入罩体结构内的气体排出的光路避让口。
[0017]在一种技术方案中，所述吹气模块可拆卸连接在所述支撑座背向所述承载基体的一侧，所述支撑座上设有用于避让所述吹气模块的吹气口的吹气避让口。
[0018]第二方面，本技术提供了一种光学装置，包括光学元件吹气系统，还包括设置在所述光学元件吹气系统的承载基体上的光学元件；
[0019]光学元件吹气系统包括：
[0020]承载基体，所述承载基体上设有至少两处用于安装对应的光学元件的元件承载位；
[0021]支撑座，固定在承载基体上，所述支撑座上设有至少一处吹气模块设置位；
[0022]以及至少一个吹气模块，所述吹气模块具有进气口和吹气口；每个所述吹气模块的进气口用于与气源连通，吹气口朝向各自对应的至少一个所述元件承载位设置，以通过所述吹气口向对应的光学元件吹气。
[0023]在一种技术方案中，包括两个以上所述吹气模块，各个所述吹气模块沿着承载基体上与所述光学元件对应的光路走向分布。
[0024]在一种技术方案中，还包括流量调节装置，至少一个所述吹气模块的进气口连接至所述流量调节装置，所述流量调节装置能够对输送入对应吹气模块的吹气量大小进行调节。
[0025]在一种技术方案中，所述吹气模块可拆卸连接在所述吹气模块设置位处，且被配置为能够在所述吹气模块设置位处自由布设或拆除所述吹气模块。
[0026]在一种技术方案中，所述吹气模块上设有两处以上出气口以形成气孔阵列。
[0027]在一种技术方案中，所述吹气模块上设有与所述进气口相通的主供气通道、连接在所述主供气通道与所述出气口之间的分支供气通道；至少一部分所述分支供气通道的进口端沿主供气通道的周向分布在所述主供气通道的通道壁上。
[0028]在一种技术方案中，所述支撑座包括与所述承载基体间隔布置的承托板、连接在所述承托板与承载基体之间的支架，所述吹气模块安装在所述承托板上，承托板上设有供所述吹气口吹出的气流通过的排气口。
[0029]在一种技术方案中，所述支撑座为罩体结构，所述罩体结构的侧壁连接在所述承载基体上，所述吹气模块安装在罩体结构背向所述承载基体的一侧的封堵端上；所述罩体结构的侧壁上设有供光束通过并供吹入罩体结构内的气体排出的光路避让口。
[0030]在一种技术方案中，所述吹气模块可拆卸连接在所述支撑座背向所述承载基体的一侧，所述支撑座上设有用于避让所述吹气模块的吹气口的吹气避让口。
[0031]本技术的有益效果：根据上述光学元件吹气系统和光学装置，由于采用了分布式的吹气模块，吹气模块通过支撑座固定在承载基体上，其吹气口能够朝向各自对应的至少一个所述元件承载位设置，因此本技术中的光学装置可以根据光学元件的吹气需求设置不同的吹气模块，各光学元件的吹气作业互不影响，能够更好地满足不同光学元件对洁净度的要求，从而避免个别对洁净度要求高的光学元件无法稳定可靠地保持洁净状态，更好地避免出现光学检测失败的意外情况。
[0032]进一步地，所述吹气模块沿着承载基体上与所述光学元件对应的光路走向分布，能够更好保证光路上光束的可靠传输，并且能够更有效地利用吹气模块实现对光学元件进行吹气。
[0033]进一步地，至少一个所述吹气模块可拆卸连接在对应的吹气模块设置位处，便于实现吹气模块的灵活调整、独立更换，满足不同的吹气需求。
附图说明
[0034]图1为本技术中一种光学装置的一个实施例的结构示意图；
[0035]图2为图1的结构分解图；
[0036]图3为吹气模块的吹气口的结构示意图；
[0037]图4为吹气模块的主供气通道与分支供气通道的连接关系示意图；...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.光学元件吹气系统，其特征在于，包括：承载基体(100)，所述承载基体(100)上设有至少两处用于安装对应的光学元件(400)的元件承载位(110)；支撑座(200)，固定在承载基体(100)上，所述支撑座(200)上设有至少一处吹气模块设置位；以及至少一个吹气模块(300)，所述吹气模块(300)具有进气口(330)和吹气口(340)；每个所述吹气模块(300)的进气口(330)用于与气源连通，吹气口(340)朝向各自对应的至少一个所述元件承载位(110)设置，以通过所述吹气口(340)向对应的光学元件(400)吹气。2.如权利要求1所述的光学元件吹气系统，其特征在于，包括两个以上所述吹气模块(300)，各个所述吹气模块(300)沿着承载基体(100)上与所述光学元件(400)对应的光路走向分布。3.如权利要求1或2所述的光学元件吹气系统，其特征在于，还包括流量调节装置，至少一个所述吹气模块(300)的进气口连接至所述流量调节装置，所述流量调节装置能够对输送入对应吹气模块的吹气量大小进行调节。4.如权利要求1或2所述的光学元件吹气系统，其特征在于，所述吹气模块(300)可拆卸连接在所述吹气模块设置位处，且被配置为能够在所述吹气模块设置位处自由布设或拆除所述吹气模块(300)。5.如权利要求1或2所述的光学元件吹气系统，其特征在于，所述吹气模块(300)上设有两处以上出气口(340)以形成气孔阵列。6.如权利要求5所述的光学元件吹气系统，其特征在于，所述吹气模块(300)上设有与所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王先炉，杨乐，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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