一种承板台、调平方法及显示器基板检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种承板台、调平方法及显示器基板检测装置，其属于检测技术领域，承板台包括支承框架、玻璃基板和调平组件，玻璃基板包括上下间隔设置的上玻璃基板和下玻璃基板，下玻璃基板与支承框架固定连接，调平组件包括调平螺母、球面垫片和锁紧螺钉，调平螺母与下玻璃基板螺纹连接，调平螺母的顶端开设有方形的调节孔；球面垫片夹设于调平螺母与上玻璃基板之间；锁紧螺钉穿设于球面垫片和调平螺母，锁紧螺钉至少能够锁紧上玻璃基板和下玻璃基板。显示器基板检测装置包括上述承板台。调平时，拆卸锁紧螺钉，将扳手的一端插入调节孔中，转动扳手，即可带动调平螺母转动，进而调节上玻璃基板的高低，调节方便，效率高。效率高。效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种承板台、调平方法及显示器基板检测装置


[0001]本专利技术涉及检测
，尤其涉及一种承板台、调平方法及显示器基板检测装置。

技术介绍

[0002]随着平板显示技术的不断发展，以主动有机发光显示器(AMOLED)为代表的平板显示器(FPD)依靠其低功耗、薄厚度、高艳丽等显示优势，逐渐成为中小智能显示终端的主流。
[0003]AMOLED显示器件中的有机发光材料是通过真空蒸镀设备将其蒸发到薄膜晶体管(TFT)阵列基板上。在蒸镀后需要通过平板量测设备对曝光项的关键工艺指标进行检测，以保证产品的良率。
[0004]现有的量测设备大都具有承载台，用于支撑待检测的基板。在对基板进行检测之前，需要对承载台进行调平。现有技术中通过螺栓调节承载台，随着基板的尺寸和规格越来越大，承载台越来越大、越来越重，当有多点需要调节时，调平难度大、精度低，对检测结果造成不利影响。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种承板台、调平方法及显示器基板检测装置，调节方便且调节精度高。
[0006]如上构思，本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种承板台，其特征在于，包括支承框架(21)、玻璃基板和调平组件(23)，所述玻璃基板包括上下间隔设置的上玻璃基板(221)和下玻璃基板(222)，所述下玻璃基板(222)与所述支承框架(21)固定连接，所述调平组件(23)包括：调平螺母(231)，与所述下玻璃基板(222)螺纹连接，所述调平螺母(231)的顶端开设有方形的调节孔(2311)；球面垫片(232)，夹设于所述调平螺母(231)与所述上玻璃基板(221)之间；锁紧螺钉，穿设于所述球面垫片(232)和所述调平螺母(231)，所述锁紧螺钉至少能够锁紧所述上玻璃基板(221)和所述下玻璃基板(222)。2.根据权利要求1所述的承板台，其特征在于，所述下玻璃基板(222)为一整块玻璃，所述上玻璃基板(221)为一整块玻璃或者为多块玻璃拼接组成。3.根据权利要求1所述的承板台，其特征在于，所述下玻璃基板(222)上设置有多个第一安装孔，所述上玻璃基板(221)上与所述第一安装孔对应的位置设置有第二安装孔；所述调平组件(23)还包括：第一嵌套(233)，固定于所述第一安装孔内，所述第一嵌套(233)上开设有第一螺纹孔，所述调平螺母(231)具有外螺纹，所述调平螺母(231)与所述第一嵌套(233)螺纹连接；第二嵌套(234)，固定于所述第二安装孔内，所述锁紧螺钉的螺帽能够与所述第二嵌套(234)抵接。4.根据权利要求3所述的承板台，其特征在于，所述支承框架(21)上与所述第一安装孔对应的位置开设有第二螺纹孔，所述锁紧螺钉能够与所述第二螺纹孔螺纹连接。5.根据权利要求3所述的承板台，其特征在于，所述第一螺纹孔为阶梯孔，包括第一螺纹部和第二螺纹部，所述第一螺纹部的内径大于所述第二螺纹部...

【专利技术属性】
技术研发人员：王保亮，朱岳彬，阮冬，李新振，张杰，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：