本发明专利技术公开了一种低色差的气体复合镀膜方法及装置，涉及镀膜技术领域，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室内侧设置有用于安装基材使用的承载台，所述真空镀膜室的内壁设置有镀膜组件，其特征在于：还包括脱附处理组件；所述脱附处理组件具有两个工作状态；第一工作状态：所述脱附处理组件成闭合状态对基材进行密封内置，以配合对基材中吸附的杂质气体进行解析脱附。本发明专利技术通过，通过脱附处理组件实现对需要进行镀膜加工的基材进行内置密封，然后对基材中吸附杂质气体进行解析脱附，当解析脱附完成后，脱附处理组件张开使得基材呈裸露状态，可以对基材直接进行镀膜加工处理，防止镀膜时基材析出杂质气体对基材上薄膜的纯度和颜色有造成影响。有造成影响。有造成影响。
【技术实现步骤摘要】
一种低色差的气体复合镀膜方法及装置
[0001]本专利技术涉及镀膜
，具体为一种低色差的气体复合镀膜方法及装置。
技术介绍
[0002]公知的，随着科技的发展，在对工件表面进行镀膜时，尤其是一些特殊的、加工精度高的产品进行镀膜时，会选择真空镀膜的方式，以形成沉积层分布较为均匀的工件，真空镀膜为在真空状态下进行的镀膜，具体包括很多种类，如真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]如申请公布号为CN115466928A，申请公布日为2022年12月13日，名称为《复合镀膜设备、复合镀膜方法以及镀膜工件》的专利技术专利，其公开的复合镀膜设备具体结构包括腔体，内部具有镀膜空间；工件架，转动设置于腔体，所述工件架位于镀膜空间内；电弧靶模块；所述电弧靶模块设置于所述腔体侧壁，所述电弧靶模块用于产生电弧阴极等离子体；磁控靶模块；所述磁控靶模块设置于所述腔体侧壁，所述磁控靶模块用于产生磁控溅射等离子体；控制器，所述控制器用于控制所述电弧靶模块与所述磁控靶模块的启闭，其公开的复合镀膜方法具体为在至少一个镀膜时间内对工件本体的表面进行沉积镀膜，在任一镀膜时间内开启电弧靶模块与磁控靶模块中的至少一个；其中，相邻的镀膜时间内，所述电弧靶模块的启闭状态不同，和/或，所述磁控靶模块的启闭状态不同。
[0004]包括上述申请在内的现有技术的不足之处在于，任何固体材料(包括基材)在大气环境下都会溶解和吸附一些杂质气体，当材料置于真空状态时就会因为脱附、解析而出气，其出气的速率与材料中的气体含量成正比，导致在进行真空镀膜时在不断析出一些杂质气体，抽真空时,首先抽走的是容器中的大气(这部份气体很快被抽走，然后是基材表面解吸的气体、材料内部向表面扩散出来的气体，这些杂质气体的存在会对基材上薄膜的纯度和颜色有较大的影响，从而产生色差，同时影响膜层附着力。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的是提供一种低色差的气体复合镀膜方法及装置，以解决现有技术中的上述不足之处。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种低色差的气体复合镀膜装置，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室内侧设置有用于安装基材使用的承载台，所述真空镀膜室的内壁设置有镀膜组件，其特征在于：还包括脱附处理组件；所述脱附处理组件具有两个工作状态；第一工作状态：所述脱附处理组件成闭合状态对基材进行密封内置，以配合对基材中吸附的杂质气体进行解析脱附；第二工作状态：所述脱附处理组件成张开状态，以使得基材裸露进行镀膜加工。
[0007]作为上述技术方案的进一步描述：所述脱附处理组件包括设置在承载台上的组合夹套机构以及脱附基座；所述脱附基座用于安装基材，且脱附基座上具有抽气通道，所述组
合夹套机构用于对脱附基座上的基材进行内置密封或张开裸露。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述：所述组合夹套机构包括安装座，且安装座上对称转动连接有两个夹持爪，所述夹持爪内壁固定有套座，且套座的内壁安装有加热器。
[0009]作为上述技术方案的进一步描述：所述脱附基座包括设置在承载台上的安装基座，所述基材固定在安装基座的顶部，所述安装基座的顶部位于基材的外侧开设有抽气孔。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：所述安装基座内侧设置有导气管与抽气孔连通，且导气管通过另一端通过连接管延伸至承载台的底部，所述真空镀膜室的底部设置有真空泵，且真空泵与连接管连通。
[0011]作为上述技术方案的进一步描述：所述组合夹套机构以及脱附基座在承载台设置有多组，还包括调节机构，所述调节机构与各所述组合夹套机构传动连接，且调节机构用于同步驱动各所述组合夹套机构对基材内置密封或张开裸露往复切换。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述：所述调节机构上还设置有镀膜汇流板，当所述调节机构驱动各所述组合夹套机构对基材张开裸露时，所述调节机构同步带动镀膜汇流板成V型组合在相邻两个组合夹套机构之间，对镀膜的靶材粒子进行汇流聚合至基材区域。
[0013]作为上述技术方案的进一步描述：所述组合夹套机构中活动设置有封堵组件，且封堵组件与调节机构传动连接，当所述传动机构驱动各所述组合夹套机构对基材张开裸露时，所述调节机构同步驱动封堵机构对组合夹套机构张开后尾端开口进行封堵。
[0014]一种低色差的气体复合镀膜方法，其基于上述的一种低色差的气体复合镀膜装置，包括以下步骤：
[0015]步骤1：将需要进行镀膜处理的基材安装在正空真空镀膜室中的承载台上；
[0016]步骤2：通过脱附处理组件将安装后的基材进行密封内置，并对基材进行解析脱附处理；
[0017]步骤3：基材解析脱附处理后，脱附处理组件打开使得基材成裸露状态，然后对基材进行镀膜加工
[0018]作为上述技术方案的进一步描述：所述步骤2对基材进行解析脱附处理具体为对密封内置的基材进行加热负压解析脱附，去除基材吸附的杂质气体。
[0019]本专利技术提供了一种低色差的气体复合镀膜方法及装置。具备以下有益效果：
[0020]本专利技术提供的一种低色差的气体复合镀膜装置通过在真空镀膜室内侧设置有脱附处理组件，通过脱附处理组件实现对需要进行镀膜加工的基材进行内置密封，然后对基材中吸附杂质气体进行解析脱附，当解析脱附完成后，脱附处理组件张开使得基材呈裸露状态，从而可以对基材直接进行镀膜加工处理，防止在进行真空镀膜加工时，基材析出杂质气体对基材上薄膜的纯度和颜色有造成影响，降低镀膜色差，同时提高膜层的质量和附着力。
[0021]由于一种低色差的气体复合镀膜装置具有上述有益效果，基于一种低色差的气体复合镀膜装置的一种低色差的气体复合镀膜方法显然也具有上述有益效果。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术中记载的一
些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本专利技术实施例提供的一种低色差的气体复合镀膜装置的结构示意图；
[0024]图2为本专利技术实施例提供的一种低色差的气体复合镀膜装置的内部结构示意图；
[0025]图3为本专利技术实施例提供的脱附处理组件的结构示意图；
[0026]图4为本专利技术实施例提供的组合夹套机构的结构示意图；
[0027]图5为本专利技术实施例提供的脱附基座的结构示意图；
[0028]图6为本专利技术实施例提供的承载台的内部结构示意图；
[0029]图7为本专利技术实施例提供的脱附处理组件的在第一工作状态的示意图；
[0030]图8为本专利技术实施例提供的脱附处理组件的在第二工作状态的结构示意图；
[0031]图9为本专利技术实施例提供的镀膜汇流板与调节机构的装配结构示意图；
[0032]图10为本专利技术实施例提供本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种低色差的气体复合镀膜装置，包括真空镀膜室(1)，所述真空镀膜室(1)内侧设置有用于安装基材(31)使用的承载台(3)，所述真空镀膜室(1)的内壁设置有镀膜组件(13)，其特征在于：还包括脱附处理组件(4)；所述脱附处理组件(4)具有两个工作状态；第一工作状态：所述脱附处理组件(4)成闭合状态对基材(31)进行密封内置，以配合对基材(31)中吸附的杂质气体进行解析脱附；第二工作状态：所述脱附处理组件(4)成张开状态，以使得基材(31)裸露进行镀膜加工。2.根据权利要求1所述的一种低色差的气体复合镀膜装置，其特征在于，所述脱附处理组件(4)包括设置在承载台(3)上的组合夹套机构(41)以及脱附基座(42)；所述脱附基座(42)用于安装基材(31)，且脱附基座(42)上具有抽气通道，所述组合夹套机构(41)用于对脱附基座(42)上的基材(31)进行内置密封或张开裸露。3.根据权利要求2所述的一种低色差的气体复合镀膜装置，其特征在于，所述组合夹套机构(41)包括安装座(411)，且安装座(411)上对称转动连接有两个夹持爪(412)，所述夹持爪(412)内壁固定有套座(413)，且套座(413)的内壁安装有加热器(415)。4.根据权利要求2所述的一种低色差的气体复合镀膜装置，其特征在于，所述脱附基座(42)包括设置在承载台(3)上的安装基座(421)，所述基材(31)固定在安装基座(421)的顶部，所述安装基座(421)的顶部位于基材(31)的外侧开设有抽气孔(422)。5.根据权利要求4所述的一种低色差的气体复合镀膜装置，其特征在于，所述安装基座(421)内侧设置有导气管(423)与抽气孔(422)连通，且导气管(423)通过另一端通过连接管(424)延伸至承载台(3)的底部，所述真空镀膜室(1)的底部设置有真空泵(5)，且真空泵(5)与连接管(424)连通。6.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：李守安，周继贤，邢长丰，李小康，胡永伟，何宗阳，
申请(专利权)人：滁州嘉美精密工业有限公司，
类型：发明
国别省市：
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