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本发明公开了一种低色差的气体复合镀膜方法及装置，涉及镀膜技术领域，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室内侧设置有用于安装基材使用的承载台，所述真空镀膜室的内壁设置有镀膜组件，其特征在于：还包括脱附处理组件；所述脱附处理组件具有两个工作状态；第一工...
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