一种新型真空设备用传动辊道制造技术

本实用新型专利技术涉及镀膜技术应用领域，公开了一种新型真空设备用传动辊道，包括传动辊，所述传动辊的外壁一端固定连接有辊筒，所述辊筒的外壁固定连接有上下对称的O型圈，所述传动辊的内部中心处设置与销轴，所述辊筒的内壁设置有第一绝缘套，所述第一绝缘套的下表面一侧设置有第一轴头，所述第一轴头的下表面设置有第二绝缘套，所述第二绝缘套设置在辊筒的内部，所述传动辊的外壁另一端设置有第二轴头。本实用新型专利技术中，通过传动辊道的轴头与辊筒通过绝缘套的连接，使轴头与辊筒起到绝缘；在通过销轴为使轴头与辊筒牢固固定，绝缘套采用绝缘材料，绝缘性和稳定性好。绝缘性和稳定性好。绝缘性和稳定性好。

【技术实现步骤摘要】
一种新型真空设备用传动辊道


[0001]本技术涉及镀膜技术应用领域，具体为一种新型真空设备用传动辊道。

技术介绍

[0002]真空镀膜传动系统是真空镀膜设备的核心部件，各种真空镀膜工艺都必须在真空室中进行，在真空镀膜室中安装不同的功能部件，真空镀膜设备的传动系统带动基板就能实现不同的镀膜工艺，真空镀膜设备传动系统的结构设计应便于加工制造和内部构件的组装，工作时应便于操作，且应具有良好的传动平稳性，才能保证镀膜基板的加工质量，真空传动系统中传动辊道的结构设计是整个传动系统的关键部件，起到至关重要。真空辊道的绝缘性能、绝缘的稳定性等直接影响着镀膜设备生产的产品质量性能；
[0003]目前真空镀膜设备传动辊道绝缘性差、绝缘不稳定，不能灵活互换，加工制造、装配困难、传动稳定性差，造成镀膜产品质量差，镀膜维护次数频繁，获得的产品质量不稳定，产能效率低，使用成本高，不能满足目前高质量镀膜工艺生产需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种新型真空设备用传动辊道。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种新型真空设备用传动辊道，包括传动辊，所述传动辊的外壁一端固定连接有辊筒，所述辊筒的外壁固定连接有上下对称的O型圈，所述传动辊的内部中心处设置与销轴，所述辊筒的内壁设置有第一绝缘套。
[0006]作为上述技术方案的进一步描述：
[0007]所述第一绝缘套的下表面一侧设置有第一轴头，所述第一轴头的下表面设置有第二绝缘套。/>[0008]作为上述技术方案的进一步描述：
[0009]所述第二绝缘套设置在辊筒的内部。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：
[0011]所述传动辊的外壁另一端设置有第二轴头。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述：
[0013]所述辊筒的内部开设有阻隔槽。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述：
[0015]所述第二绝缘套和第一绝缘套均采用绝缘材料。
[0016]作为上述技术方案的进一步描述：
[0017]所述第一轴头和第二轴头的之间设置有传动辊，所述第一绝缘套和第二绝缘套的之间设置有第二轴头。
[0018]本技术具有如下有益效果：
[0019]1、本技术中，通过传动辊道的轴头与辊筒通过绝缘套的连接，使轴头与辊筒起到绝缘；在通过销轴为使轴头与辊筒牢固固定，绝缘套采用绝缘材料，绝缘性和稳定性好。
[0020]2、本技术中，通过轴头与辊筒连接的绝缘套结构采用多环式结构和内镶嵌式结构，防止在镀膜室内镀膜溅射时溅射物溅射到绝缘套上，从而致使轴头与辊筒导通，绝缘性能消失，使镀膜基片在传送过程中异常放电或打火，致使镀膜产品有质量缺陷。
[0021]3、本技术中，通过辊筒的滚轮装有氟橡胶O型圈，O型圈与基片直接传动接触同时起到第一道绝缘作用，O型圈采用氟橡胶耐温度达到300℃，摩擦性好。
附图说明
[0022]图1为本技术提出的一种新型真空设备用传动辊道的立体结构示意图；
[0023]图2为本技术提出的一种新型真空设备用传动辊道的传动辊抛面示意图；
[0024]图3为2中A处放大图；
[0025]图4为2中B处放大图；
[0026]图5为本技术提出的一种新型真空设备用传动辊道的第一绝缘套示意图图；
[0027]图6为本技术提出的一种新型真空设备用传动辊道的阻隔槽示意图。
[0028]图例说明：
[0029]1、传动辊；2、辊筒；3、滚轮；4、O型圈；5、销轴；6、第一绝缘套；7、第一轴头；8、第二绝缘套；9、阻隔槽；10、第二轴头。
具体实施方式
[0030]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]参照图1
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6，本技术提供的一种实施例：一种新型真空设备用传动辊道，包括传动辊1，传动辊1的外壁一端固定连接有辊筒2，辊筒2的外壁固定连接有上下对称的O型圈4，传动辊1的内部中心处设置与销轴5，辊筒2的内壁设置有第一绝缘套6，绝缘套采用绝缘材料，绝缘性和稳定性好，O型圈4采用氟橡胶耐温度达到300℃，摩擦性好。
[0032]第一绝缘套6的下表面一侧设置有第一轴头7，第一轴头7的下表面设置有第二绝缘套8，第二绝缘套8设置在辊筒2的内部，通过设置绝缘套进行隔离，避免轴头与辊筒导通，传动辊1的外壁另一端设置有第二轴头10，辊筒2的内部开设有阻隔槽9，进行防止堵塞的效果，第二绝缘套8和第一绝缘套6均采用绝缘材料，第一轴头7和第二轴头10的之间设置有传动辊1，第一绝缘套6和第二绝缘套8的之间设置有第二轴头10。
[0033]工作原理：当需要使用到本装置进行工作的说时候，首先将传动辊1的轴头与滚轮3通过第一绝缘套6和第二绝缘套8进行连接，使第一轴头7和第二轴头10与辊筒2起到绝缘，为第一轴头7和第二轴头10与辊筒2牢固固定，采用销轴5穿过辊筒2与轴头，销轴5中与轴头接触的地方通过绝缘套隔离，避免轴头与辊筒2导通，绝缘套采用绝缘材料，绝缘性和稳定性好，第一轴头7和第二轴头10与辊筒2连接的绝缘套结构采用多环式结构，防止在镀膜室
内镀膜溅射时溅射物溅射到绝缘套上，从而致使第一轴头7和第二轴头10与辊筒2导通，绝缘性能消失，使镀膜基片在传送过程中异常放电或打火，致使镀膜产品有质量缺陷，第一轴头7和第二轴头10与辊筒2连接的绝缘套采用内镶嵌式结构，防止在镀膜室内镀膜溅射时溅射物溅射到绝缘套上，从而致使轴头与辊筒导通，绝缘性能消失，使镀膜基片在传送过程中异常放电或打火，致使镀膜产品有质量缺陷，辊筒2的滚轮3装有氟橡胶O型圈4，O型圈4与基片直接传动接触同时起到第一道绝缘作用，O型圈4采用氟橡胶耐温度达到300℃，摩擦性好。
[0034]最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型真空设备用传动辊道，包括传动辊(1)，其特征在于：所述传动辊(1)的外壁一端固定连接有辊筒(2)，所述辊筒(2)的外壁固定连接有上下对称的O型圈(4)，所述传动辊(1)的内部中心处设置与销轴(5)，所述辊筒(2)的内壁设置有第一绝缘套(6)。2.根据权利要求1所述的一种新型真空设备用传动辊道，其特征在于：所述第一绝缘套(6)的下表面一侧设置有第一轴头(7)，所述第一轴头(7)的下表面设置有第二绝缘套(8)。3.根据权利要求2所述的一种新型真空设备用传动辊道，其特征在于：所述第二绝缘套(8)设置在辊筒(2)的内部。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：张俊峰，赵子东，张志阳，魏庆瑄，
申请(专利权)人：上海子创镀膜技术有限公司，
类型：新型
国别省市：